코팅 공정 생산 시 일반 실리콘 웨이퍼의 캐리어로서흑연 보트구조상 일정한 간격을 두고 다수의 보트 웨이퍼가 있고, 인접한 두 보트 웨이퍼 사이의 간격이 매우 좁으며, 빈 도어 양쪽에 실리콘 웨이퍼가 배치되어 있습니다.
흑연 보트의 소재인 흑연은 전도성과 열전도율이 좋기 때문에 인접한 두 보트 사이에 교류 전압을 인가해 양극과 음극을 형성한다. 챔버에 특정 기압과 가스가 있으면 두 보트 사이에 글로우 방전이 발생합니다. 글로우 방전은 공간에서 SiH4 및 NH3 가스를 분해하여 Si 및 N 이온을 형성하고 결합하여 SiNx 분자를 형성할 수 있습니다. 코팅 목적을 달성하기 위해 실리콘 웨이퍼 표면에 증착됩니다.
태양전지 반사방지 코팅의 캐리어로서 흑연 보트의 구조와 크기는 실리콘 웨이퍼의 변환 효율과 생산 효율에 직접적인 영향을 미칩니다. 수년간의 기술 연구 개발을 거쳐 VET Energy는 이제 고급 생산 장비, 성숙한 기술 설계자 및 경험이 풍부한 생산 직원을 보유하고 있으며 재료는 수입 원자재입니다. 현재 당사에서 생산하는 흑연 보트는 고효율이라는 장점이 있습니다. 구조가 간단하고 흑연 보트 사이의 거리가 적당하여 실리콘 웨이퍼의 코팅이 균일해지고 품질이 향상됩니다.실리콘 웨이퍼, 태양 에너지 변환 효율을 높게 만듭니다. VET에너지는 현재 시장에 필요한 모든 종류의 잉크보트를 보유하고 있습니다.
태양광 패널용 고순도 PECVD 흑연 보트
게시 시간: 2021년 4월 8일