퍼니스 튜브 장비의 내부 구조가 자세히 설명되어 있습니다.

위에 보이는 것처럼 전형적인

전반:

▪ 발열체(가열코일) :

일반적으로 저항선으로 만들어진 퍼니스 튜브 주변에 위치하며, 퍼니스 튜브 내부를 가열하는 데 사용됩니다.

▪ 석영관:

고온을 견딜 수 있고 화학적으로 불활성을 유지할 수 있는 고순도 석영으로 만들어진 고온 산화로의 핵심입니다.

▪ 가스 공급:

로 튜브의 상부 또는 측면에 위치하여 로 튜브 내부로 산소나 기타 가스를 운반하는 데 사용됩니다.

▪ SS 플랜지:

석영 튜브와 가스 라인을 연결하는 구성 요소로 연결의 견고성과 안정성을 보장합니다.

▪ 가스 공급 라인:

가스 전달을 위해 MFC와 가스 공급 포트를 연결하는 파이프입니다.

▪ MFC(질량유량조절기) :

석영관 내부의 가스 흐름을 제어하여 필요한 가스의 양을 정밀하게 조절하는 장치입니다.

▪ 통풍구:

퍼니스 튜브 내부의 배기 가스를 장비 외부로 배출하는 데 사용됩니다.

하부:

▪ 홀더의 실리콘 웨이퍼:

실리콘 웨이퍼는 산화 중에 균일한 열을 보장하기 위해 특수 홀더에 보관됩니다.

▪ 웨이퍼 홀더:

실리콘 웨이퍼를 고정하고 공정 중에 실리콘 웨이퍼가 안정적으로 유지되도록 하는 데 사용됩니다.

▪ 받침대:

일반적으로 고온에 강한 재질로 만들어진 실리콘 웨이퍼 홀더를 고정하는 구조입니다.

▪ 엘리베이터:

실리콘 웨이퍼의 자동 로딩 및 언로딩을 위해 웨이퍼 홀더를 석영 튜브 안팎으로 들어 올리는 데 사용됩니다.

▪ 웨이퍼 이송 로봇:

퍼니스 튜브 장치 측면에 위치하며 상자에서 실리콘 웨이퍼를 자동으로 꺼내 퍼니스 튜브에 넣거나 처리 후 제거하는 데 사용됩니다.

▪ 카세트 보관 캐러셀:

카세트 보관 회전목마는 실리콘 웨이퍼가 들어 있는 상자를 보관하는 데 사용되며 로봇이 접근할 수 있도록 회전할 수 있습니다.

▪ 웨이퍼 카세트:

웨이퍼 카세트는 처리할 실리콘 웨이퍼를 보관하고 운반하는 데 사용됩니다.