설명
1). 장기간 프로세스 중에 "컬러 렌즈"가 없는지 확인하기 위해 "컬러 렌즈" 기술을 제거하기 위해 채택되었습니다.
2). 고순도, 낮은 불순물 함량 및 고강도를 갖춘 SGL 수입 흑연 소재로 제작되었습니다.
3). 강력한 내식성과 내마모성을 갖춘 세라믹 조립체에 99.9% 세라믹을 사용합니다.
4). 정밀 가공 장비를 사용하여 각 부품의 정확성을 보장합니다.
사양
목 | 유형 | 넘버 웨이퍼 캐리어 |
PECVD 흑연 보트 — 156 시리즈 | 156-13 흑연 보트 | 144 |
156-19 흑연 보트 | 216 | |
156-21 흑연 보트 | 240 | |
156-23 흑연 보트 | 308 | |
PECVD 흑연 보트 — 125 시리즈 | 125-15 그래파이트 보트 | 196 |
125-19 흑연 보트 | 252 | |
125-21 그래파이트 보트 | 280 |
더 많은 제품