태양전지 생산라인의 PECVD에 사용되는 흑연 보트
태양전지를 생산하려면 텍스처링, 확산, 에칭, 코팅, 스크린 인쇄, 소결 등 6가지 주요 공정이 필요합니다. 태양 전지 제조에서 PECVD 튜브 코팅 공정은 흑연 보트를 작업 본체로 사용합니다. 코팅 공정은 플라즈마 강화 화학 기상 증착을 사용하여 실리콘 웨이퍼 전면에 실리콘 질화물 필름을 증착하여 햇빛 반사와 실리콘 웨이퍼 표면을 줄입니다.
PECVD 흑연 보트의 특징:
1). 장기간 프로세스 중에 "콜로 렌즈"가 없는지 확인하기 위해 "컬러 렌즈" 기술을 제거하기 위해 채택되었습니다.
2). 순도가 높고 불순물 함량이 낮으며 강도가 높은 수입 흑연 소재로 제작되었습니다.
3). 강력한 내식성과 내마모성을 갖춘 세라믹 조립체에 99.9% 세라믹을 사용합니다.
4). 정밀 가공 장비를 사용하여 각 부품의 정확성을 보장합니다.
사양
| 목 | 유형 | 넘버 웨이퍼 캐리어 |
| PEVCD 흑연 보트 --- 156 시리즈 | 156-13 흑연 보트 | 144 |
| 156-19 흑연 보트 | 216 | |
| 156-21 흑연 보트 | 240 | |
| 156-23 흑연 보트 | 308 | |
| PEVCD 흑연 보트 --- 125 시리즈 | 125-15 그래파이트 보트 | 196 |
| 125-19 흑연 보트 | 252 | |
| 125-21 그래파이트 보트 | 280 |
닝보 VET 에너지 기술 유한 회사는 흑연, 탄화 규소, 세라믹, SiC 코팅, TaC 코팅, 유리 탄소와 같은 표면 처리를 포함한 고급 첨단 재료, 재료 및 기술의 생산 및 판매에 중점을 둔 하이테크 기업입니다. 코팅, 열분해 탄소 코팅 등이 제품은 광전지, 반도체, 신 에너지, 야금 등에 널리 사용됩니다.
우리의 기술 팀은 국내 최고의 연구 기관에서 왔으며 제품 성능과 품질을 보장하기 위해 여러 특허 기술을 개발했으며 고객에게 전문적인 재료 솔루션을 제공할 수도 있습니다.
