ಫ್ಯಾನ್-ಔಟ್ ವೇಫರ್-ಲೆವೆಲ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್‌ಗಾಗಿ ಯುವಿ ಸಂಸ್ಕರಣೆ

ಫ್ಯಾನ್ ಔಟ್ ವೇಫರ್ ಲೆವೆಲ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ (FOWLP) ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ವೆಚ್ಚ-ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ವಿಧಾನವಾಗಿದೆ. ಆದರೆ ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ವಿಶಿಷ್ಟ ಅಡ್ಡಪರಿಣಾಮಗಳು ವಾರ್ಪಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಚಿಪ್ ಆಫ್‌ಸೆಟ್. ವೇಫರ್ ಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಪ್ಯಾನಲ್ ಮಟ್ಟದ ಫ್ಯಾನ್ ಔಟ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ನಿರಂತರ ಸುಧಾರಣೆಯ ಹೊರತಾಗಿಯೂ, ಮೋಲ್ಡಿಂಗ್‌ಗೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದ ಈ ಸಮಸ್ಯೆಗಳು ಇನ್ನೂ ಅಸ್ತಿತ್ವದಲ್ಲಿವೆ.

ಕ್ಯೂರಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಮೋಲ್ಡಿಂಗ್ ನಂತರ ತಂಪಾಗಿಸುವ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ದ್ರವ ಸಂಕೋಚನ ಮೋಲ್ಡಿಂಗ್ ಸಂಯುಕ್ತದ (LCM) ರಾಸಾಯನಿಕ ಕುಗ್ಗುವಿಕೆಯಿಂದ ವಾರ್ಪಿಂಗ್ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ. ವಾರ್ಪಿಂಗ್‌ಗೆ ಎರಡನೇ ಕಾರಣವೆಂದರೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಚಿಪ್, ಮೋಲ್ಡಿಂಗ್ ವಸ್ತು ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ನಡುವಿನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ (CTE) ಗುಣಾಂಕದಲ್ಲಿನ ಅಸಾಮರಸ್ಯ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಫಿಲ್ಲರ್ ವಿಷಯದೊಂದಿಗೆ ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯ ಮೋಲ್ಡಿಂಗ್ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡದಲ್ಲಿ ಮಾತ್ರ ಬಳಸಬಹುದೆಂಬ ಕಾರಣದಿಂದಾಗಿ ಆಫ್ಸೆಟ್ ಆಗಿದೆ. ತಾತ್ಕಾಲಿಕ ಬಂಧದ ಮೂಲಕ ಚಿಪ್ ಅನ್ನು ವಾಹಕಕ್ಕೆ ಜೋಡಿಸಿದಂತೆ, ಹೆಚ್ಚುತ್ತಿರುವ ತಾಪಮಾನವು ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಮೃದುಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಅದರ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ದುರ್ಬಲಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಚಿಪ್ ಅನ್ನು ಸರಿಪಡಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಆಫ್‌ಸೆಟ್‌ಗೆ ಎರಡನೇ ಕಾರಣವೆಂದರೆ ಮೋಲ್ಡಿಂಗ್‌ಗೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಒತ್ತಡವು ಪ್ರತಿ ಚಿಪ್‌ನಲ್ಲಿ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಸೃಷ್ಟಿಸುತ್ತದೆ.

ಈ ಸವಾಲುಗಳಿಗೆ ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಕಂಡುಕೊಳ್ಳುವ ಸಲುವಾಗಿ, DELO ಸರಳವಾದ ಅನಲಾಗ್ ಚಿಪ್ ಅನ್ನು ವಾಹಕದ ಮೇಲೆ ಬಂಧಿಸುವ ಮೂಲಕ ಕಾರ್ಯಸಾಧ್ಯತೆಯ ಅಧ್ಯಯನವನ್ನು ನಡೆಸಿತು. ಸೆಟಪ್ ವಿಷಯದಲ್ಲಿ, ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ತಾತ್ಕಾಲಿಕ ಬಂಧದ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯಿಂದ ಲೇಪಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಚಿಪ್ ಅನ್ನು ಮುಖಾಮುಖಿಯಾಗಿ ಇರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ತರುವಾಯ, ಕಡಿಮೆ ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯ DELO ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸಲಾಯಿತು ಮತ್ತು ವಾಹಕ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುವ ಮೊದಲು ನೇರಳಾತೀತ ವಿಕಿರಣದಿಂದ ಗುಣಪಡಿಸಲಾಯಿತು. ಅಂತಹ ಅನ್ವಯಗಳಲ್ಲಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯ ಥರ್ಮೋಸೆಟ್ಟಿಂಗ್ ಮೋಲ್ಡಿಂಗ್ ಸಂಯೋಜನೆಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

DELO ಪ್ರಯೋಗದಲ್ಲಿ ಥರ್ಮೋಸೆಟ್ಟಿಂಗ್ ಮೋಲ್ಡಿಂಗ್ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು UV ಕ್ಯೂರ್ಡ್ ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ವಾರ್‌ಪೇಜ್ ಅನ್ನು ಹೋಲಿಸಿದೆ, ಮತ್ತು ಫಲಿತಾಂಶಗಳು ಥರ್ಮೋಸೆಟ್ಟಿಂಗ್ ನಂತರ ಕೂಲಿಂಗ್ ಅವಧಿಯಲ್ಲಿ ವಿಶಿಷ್ಟವಾದ ಮೋಲ್ಡಿಂಗ್ ವಸ್ತುಗಳು ವಾರ್ಪ್ ಆಗುತ್ತವೆ ಎಂದು ತೋರಿಸಿದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಹೀಟಿಂಗ್ ಕ್ಯೂರಿಂಗ್ ಬದಲಿಗೆ ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶದ ನೇರಳಾತೀತ ಕ್ಯೂರಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಬಳಸುವುದರಿಂದ ಮೋಲ್ಡಿಂಗ್ ಕಾಂಪೌಂಡ್ ಮತ್ತು ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ನಡುವಿನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಗುಣಾಂಕದ ಅಸಾಮರಸ್ಯದ ಪ್ರಭಾವವನ್ನು ಬಹಳವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಬಹುದು, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಸಾಧ್ಯವಾದಷ್ಟು ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಮಾಣದಲ್ಲಿ ವಾರ್ಪಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ನೇರಳಾತೀತ ಕ್ಯೂರಿಂಗ್ ವಸ್ತುಗಳ ಬಳಕೆಯು ಫಿಲ್ಲರ್‌ಗಳ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಸ್ನಿಗ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಯಂಗ್‌ನ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ ಅನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಪರೀಕ್ಷೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾದ ಮಾದರಿಯ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯ ಸ್ನಿಗ್ಧತೆ 35000 mPa · s, ಮತ್ತು ಯಂಗ್‌ನ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ 1 GPa ಆಗಿದೆ. ತಾಪನದ ಅನುಪಸ್ಥಿತಿ ಅಥವಾ ಮೋಲ್ಡಿಂಗ್ ವಸ್ತುಗಳ ಮೇಲೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡದ ಕಾರಣ, ಚಿಪ್ ಆಫ್‌ಸೆಟ್ ಅನ್ನು ಸಾಧ್ಯವಾದಷ್ಟು ಕಡಿಮೆಗೊಳಿಸಬಹುದು. ಒಂದು ವಿಶಿಷ್ಟವಾದ ಮೋಲ್ಡಿಂಗ್ ಸಂಯುಕ್ತವು ಸುಮಾರು 800000 mPa · s ನ ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಎರಡು ಅಂಕೆಗಳ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ ಯಂಗ್ಸ್ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ ಅನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ.

ಒಟ್ಟಾರೆಯಾಗಿ, ದೊಡ್ಡ-ಪ್ರದೇಶದ ಮೋಲ್ಡಿಂಗ್‌ಗಾಗಿ UV ಕ್ಯೂರ್ಡ್ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಬಳಸುವುದು ಚಿಪ್ ಲೀಡರ್ ಫ್ಯಾನ್ ಔಟ್ ವೇಫರ್ ಲೆವೆಲ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಪ್ರಯೋಜನಕಾರಿಯಾಗಿದೆ ಎಂದು ತೋರಿಸಿದೆ, ಆದರೆ ವಾರ್‌ಪೇಜ್ ಮತ್ತು ಚಿಪ್ ಆಫ್‌ಸೆಟ್ ಅನ್ನು ಸಾಧ್ಯವಾದಷ್ಟು ಕಡಿಮೆಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಬಳಸಿದ ವಸ್ತುಗಳ ನಡುವಿನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕಗಳಲ್ಲಿ ಗಮನಾರ್ಹ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳ ಹೊರತಾಗಿಯೂ, ತಾಪಮಾನ ವ್ಯತ್ಯಾಸದ ಅನುಪಸ್ಥಿತಿಯ ಕಾರಣದಿಂದಾಗಿ ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಇನ್ನೂ ಅನೇಕ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಜೊತೆಗೆ, UV ಕ್ಯೂರಿಂಗ್ ಕ್ಯೂರಿಂಗ್ ಸಮಯ ಮತ್ತು ಶಕ್ತಿಯ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಬಹುದು.

ಥರ್ಮಲ್ ಕ್ಯೂರಿಂಗ್ ಬದಲಿಗೆ ಯುವಿ ಫ್ಯಾನ್-ಔಟ್ ವೇಫರ್-ಲೆವೆಲ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್‌ನಲ್ಲಿ ವಾರ್‌ಪೇಜ್ ಮತ್ತು ಡೈ ಶಿಫ್ಟ್ ಅನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ

ಥರ್ಮಲ್ ಕ್ಯೂರ್ಡ್, ಹೈ-ಫಿಲ್ಲರ್ ಕಾಂಪೌಂಡ್ (ಎ) ಮತ್ತು ಯುವಿ ಕ್ಯೂರ್ಡ್ ಕಾಂಪೌಂಡ್ (ಬಿ) ಬಳಸಿ 12-ಇಂಚಿನ ಲೇಪಿತ ವೇಫರ್‌ಗಳ ಹೋಲಿಕೆ