ಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್ ಮಾಲಿನ್ಯ ಮತ್ತು ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ವಿಧಾನವನ್ನು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುವುದು

ಇದು ವೀರ್ಯ ಮಾಡಿದಾಗವ್ಯಾಪಾರ ಸುದ್ದಿ, ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯ ವಿಸ್ತಾರತೆಯನ್ನು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುವುದು ಅಗತ್ಯವಾಗಿದೆ. ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವೇಫರ್ ಈ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಅಂಶವಾಗಿದೆ, ಆದರೆ ಅವುಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಅಶುದ್ಧತೆಯಿಂದ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಎದುರಿಸುತ್ತವೆ. ಈ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು, ಪರಮಾಣು, ಸಾವಯವ ಪದಾರ್ಥಗಳು, ಲೋಹೀಯ ಅಂಶ ಅಯಾನು ಮತ್ತು ಆಕ್ಸೈಡ್ ಅನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದ್ದು, ತಯಾರಿಕೆಯ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನದ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರಬಹುದು.

ಕಣಗಳುಉದಾಹರಣೆಗೆ ಪಾಲಿಮರ್ ಮತ್ತು ವೇಫರ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ ಇಂಟರ್‌ಮೋಲಿಕ್ಯುಲರ್ ಬಲದ ಮೇಲೆ ಎಚ್ಚಣೆ ಅಶುದ್ಧತೆಯ ನಂಬಿಕೆ, ಸಾಧನದ ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.ಸಾವಯವ ಕಲ್ಮಶಗಳುವೇಫರ್‌ನಲ್ಲಿ ಹೋಮೋ ಸ್ಕಿನ್ ಆಯಿಲ್ ಮತ್ತು ಮೆಷಿನ್ ಆಯಿಲ್ ಫಾರ್ಮ್ ಮೂವಿಯಂತೆ, ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ.ಲೋಹದ ಅಂಶ ಅಯಾನುಗಳುಲೋಹೀಯ ಅಂಶ ಅಯಾನು ಸಂಕೀರ್ಣದ ರಚನೆಯ ಮೂಲಕ ಕಬ್ಬಿಣ ಮತ್ತು ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಅನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ.ಆಕ್ಸೈಡ್ಗಳುತಯಾರಿಕೆಯ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನವನ್ನು ಅಡ್ಡಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ದುರ್ಬಲಗೊಳಿಸಿದ ಹೈಡ್ರೋಫ್ಲೋರಿಕ್ ಆಮ್ಲದಲ್ಲಿ ನೆನೆಸಿ ತೆಗೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.

ರಾಸಾಯನಿಕ ವಿಧಾನಗಳುಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಮತ್ತು ಜರ್ಕ್ ಮಾಡಲು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ದ್ರಾವಣದ ಮುಳುಗುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಸ್ಕ್ರಬ್‌ನಂತಹ ತೇವಾಂಶ ರಾಸಾಯನಿಕ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ತಂತ್ರವು ಚಾಲ್ತಿಯಲ್ಲಿದೆ. ಸೂಪರ್ಸಾನಿಕ್ ಮತ್ತು ಮೆಗಾಸಾನಿಕ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ವಿಧಾನವು ಅಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಮಾರ್ಗಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. ಒಣ ರಾಸಾಯನಿಕ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ, ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಮತ್ತು ಅನಿಲ ಹಂತದ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವೇಫರ್ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಸಹ ಕಾರ್ಯವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ.