ಕುಲುಮೆಯ ಕೊಳವೆಯ ಉಪಕರಣದ ಆಂತರಿಕ ರಚನೆಯನ್ನು ವಿವರವಾಗಿ ವಿವರಿಸಲಾಗಿದೆ

ಮೇಲೆ ತೋರಿಸಿರುವಂತೆ, ಒಂದು ವಿಶಿಷ್ಟವಾಗಿದೆ

ಮೊದಲಾರ್ಧ:

▪ ತಾಪನ ಅಂಶ (ತಾಪನ ಸುರುಳಿ):

ಕುಲುಮೆಯ ಕೊಳವೆಯ ಸುತ್ತಲೂ ಇದೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಪ್ರತಿರೋಧ ತಂತಿಗಳಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ, ಕುಲುಮೆಯ ಕೊಳವೆಯ ಒಳಭಾಗವನ್ನು ಬಿಸಿಮಾಡಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

▪ ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಟ್ಯೂಬ್:

ಬಿಸಿ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಕುಲುಮೆಯ ಕೋರ್, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಯಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಬಲ್ಲದು ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕವಾಗಿ ಜಡವಾಗಿ ಉಳಿಯುತ್ತದೆ.

▪ ಗ್ಯಾಸ್ ಫೀಡ್:

ಕುಲುಮೆಯ ಕೊಳವೆಯ ಮೇಲ್ಭಾಗದಲ್ಲಿ ಅಥವಾ ಬದಿಯಲ್ಲಿದೆ, ಇದು ಕುಲುಮೆಯ ಕೊಳವೆಯ ಒಳಭಾಗಕ್ಕೆ ಆಮ್ಲಜನಕ ಅಥವಾ ಇತರ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಸಾಗಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

▪ SS ಫ್ಲೇಂಜ್:

ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಟ್ಯೂಬ್ಗಳು ಮತ್ತು ಗ್ಯಾಸ್ ಲೈನ್ಗಳನ್ನು ಸಂಪರ್ಕಿಸುವ ಘಟಕಗಳು, ಸಂಪರ್ಕದ ಬಿಗಿತ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ.

▪ ಗ್ಯಾಸ್ ಫೀಡ್ ಲೈನ್‌ಗಳು:

ಅನಿಲ ಪ್ರಸರಣಕ್ಕಾಗಿ ಅನಿಲ ಪೂರೈಕೆ ಪೋರ್ಟ್ಗೆ MFC ಅನ್ನು ಸಂಪರ್ಕಿಸುವ ಪೈಪ್ಗಳು.

▪ MFC (ಮಾಸ್ ಫ್ಲೋ ಕಂಟ್ರೋಲರ್):

ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಅನಿಲದ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಯ ಕೊಳವೆಯೊಳಗೆ ಅನಿಲದ ಹರಿವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುವ ಸಾಧನ.

▪ ಗಾಳಿ:

ಕುಲುಮೆಯ ಕೊಳವೆಯ ಒಳಗಿನಿಂದ ಉಪಕರಣದ ಹೊರಭಾಗಕ್ಕೆ ನಿಷ್ಕಾಸ ಅನಿಲವನ್ನು ಹೊರಹಾಕಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಕೆಳಗಿನ ಭಾಗ:

▪ ಹೋಲ್ಡರ್‌ನಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳು:

ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಏಕರೂಪದ ಶಾಖವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ವಿಶೇಷ ಹೋಲ್ಡರ್ನಲ್ಲಿ ಇರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

▪ ವೇಫರ್ ಹೋಲ್ಡರ್:

ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಹಿಡಿದಿಡಲು ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

▪ ಪೀಠ:

ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಹೋಲ್ಡರ್ ಅನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ರಚನೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ನಿರೋಧಕ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ.

▪ ಎಲಿವೇಟರ್:

ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ಲೋಡ್ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ಇಳಿಸಲು ವೇಫರ್ ಹೋಲ್ಡರ್‌ಗಳನ್ನು ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಟ್ಯೂಬ್‌ಗಳ ಒಳಗೆ ಮತ್ತು ಹೊರಗೆ ಎತ್ತಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

▪ ವೇಫರ್ ಟ್ರಾನ್ಸ್ಫರ್ ರೋಬೋಟ್:

ಫರ್ನೇಸ್ ಟ್ಯೂಬ್ ಸಾಧನದ ಬದಿಯಲ್ಲಿದೆ, ಪೆಟ್ಟಿಗೆಯಿಂದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಮತ್ತು ಅದನ್ನು ಕುಲುಮೆಯ ಟ್ಯೂಬ್‌ನಲ್ಲಿ ಇರಿಸಲು ಅಥವಾ ಸಂಸ್ಕರಿಸಿದ ನಂತರ ಅದನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಇದನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.