ಮೇಲೆ ತೋರಿಸಿರುವಂತೆ, ಒಂದು ವಿಶಿಷ್ಟವಾಗಿದೆ
ಮೊದಲಾರ್ಧ:
ತಾಪನ ಅಂಶ (ತಾಪನ ಸುರುಳಿ) : ಕುಲುಮೆಯ ಕೊಳವೆಯ ಸುತ್ತಲೂ ಇದೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಪ್ರತಿರೋಧ ತಂತಿಗಳಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ, ಕುಲುಮೆಯ ಕೊಳವೆಯ ಒಳಭಾಗವನ್ನು ಬಿಸಿಮಾಡಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಟ್ಯೂಬ್: ಬಿಸಿ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಕುಲುಮೆಯ ತಿರುಳು, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಯಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಬಲ್ಲದು ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕವಾಗಿ ಜಡವಾಗಿ ಉಳಿಯುತ್ತದೆ.
ಗ್ಯಾಸ್ ಫೀಡ್: ಕುಲುಮೆಯ ಕೊಳವೆಯ ಮೇಲ್ಭಾಗದಲ್ಲಿ ಅಥವಾ ಬದಿಯಲ್ಲಿದೆ, ಇದು ಕುಲುಮೆಯ ಕೊಳವೆಯ ಒಳಭಾಗಕ್ಕೆ ಆಮ್ಲಜನಕ ಅಥವಾ ಇತರ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಸಾಗಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
SS ಫ್ಲೇಂಜ್: ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಟ್ಯೂಬ್ಗಳು ಮತ್ತು ಗ್ಯಾಸ್ ಲೈನ್ಗಳನ್ನು ಸಂಪರ್ಕಿಸುವ ಘಟಕಗಳು, ಸಂಪರ್ಕದ ಬಿಗಿತ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಗ್ಯಾಸ್ ಫೀಡ್ ಲೈನ್ಸ್: ಗ್ಯಾಸ್ ಟ್ರಾನ್ಸ್ಮಿಷನ್ಗಾಗಿ MFC ಅನ್ನು ಗ್ಯಾಸ್ ಸರಬರಾಜು ಪೋರ್ಟ್ಗೆ ಸಂಪರ್ಕಿಸುವ ಪೈಪ್ಗಳು.
MFC (ಮಾಸ್ ಫ್ಲೋ ಕಂಟ್ರೋಲರ್) : ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಅನಿಲದ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಯೊಳಗೆ ಅನಿಲದ ಹರಿವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುವ ಸಾಧನ.
ತೆರಪಿನ: ಕುಲುಮೆಯ ಕೊಳವೆಯ ಒಳಗಿನಿಂದ ಉಪಕರಣದ ಹೊರಭಾಗಕ್ಕೆ ನಿಷ್ಕಾಸ ಅನಿಲವನ್ನು ಹೊರಹಾಕಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಕೆಳಗಿನ ಭಾಗ
ಹೋಲ್ಡರ್‌ನಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳು: ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಏಕರೂಪದ ಶಾಖವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ವಿಶೇಷ ಹೋಲ್ಡರ್‌ನಲ್ಲಿ ಇರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ವೇಫರ್ ಹೋಲ್ಡರ್: ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಹಿಡಿದಿಡಲು ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಪೀಠ: ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಹೋಲ್ಡರ್ ಅನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ರಚನೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ನಿರೋಧಕ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ.
ಎಲಿವೇಟರ್: ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ಲೋಡ್ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ಇಳಿಸಲು ವೇಫರ್ ಹೋಲ್ಡರ್‌ಗಳನ್ನು ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಟ್ಯೂಬ್‌ಗಳ ಒಳಗೆ ಮತ್ತು ಹೊರಗೆ ಎತ್ತಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ವೇಫರ್ ಟ್ರಾನ್ಸ್‌ಫರ್ ರೋಬೋಟ್: ಫರ್ನೇಸ್ ಟ್ಯೂಬ್ ಸಾಧನದ ಬದಿಯಲ್ಲಿದೆ, ಬಾಕ್ಸ್‌ನಿಂದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಮತ್ತು ಅದನ್ನು ಕುಲುಮೆಯ ಟ್ಯೂಬ್‌ನಲ್ಲಿ ಇರಿಸಲು ಅಥವಾ ಸಂಸ್ಕರಿಸಿದ ನಂತರ ಅದನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಇದನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ಶೇಖರಣಾ ಏರಿಳಿಕೆ: ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಪೆಟ್ಟಿಗೆಯನ್ನು ಸಂಗ್ರಹಿಸಲು ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ಶೇಖರಣಾ ಏರಿಳಿಕೆಯನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ರೋಬೋಟ್ ಪ್ರವೇಶಕ್ಕಾಗಿ ತಿರುಗಿಸಬಹುದು.
ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್: ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ಅನ್ನು ಸಂಸ್ಕರಿಸಲು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಸಂಗ್ರಹಿಸಲು ಮತ್ತು ವರ್ಗಾಯಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಏಪ್ರಿಲ್-22-2024