ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿಯ ಸಂಪೂರ್ಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ

ಪ್ರತಿ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪನ್ನದ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ನೂರಾರು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ಬೇಕಾಗುತ್ತವೆ. ನಾವು ಸಂಪೂರ್ಣ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಎಂಟು ಹಂತಗಳಾಗಿ ವಿಂಗಡಿಸುತ್ತೇವೆ:ವೇಫರ್ಸಂಸ್ಕರಣೆ-ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ-ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ-ಎಚ್ಚುವಿಕೆ-ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಠೇವಣಿ-ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆ-ಪ್ರಸರಣ-ಐಯಾನ್ ಇಂಪ್ಲಾಂಟೇಶನ್.
ಅರೆವಾಹಕಗಳು ಮತ್ತು ಸಂಬಂಧಿತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ಮತ್ತು ಗುರುತಿಸಲು ನಿಮಗೆ ಸಹಾಯ ಮಾಡಲು, ಮೇಲಿನ ಪ್ರತಿಯೊಂದು ಹಂತಗಳನ್ನು ಒಂದೊಂದಾಗಿ ಪರಿಚಯಿಸಲು ನಾವು ಪ್ರತಿ ಸಂಚಿಕೆಯಲ್ಲಿ WeChat ಲೇಖನಗಳನ್ನು ತಳ್ಳುತ್ತೇವೆ.
ಹಿಂದಿನ ಲೇಖನದಲ್ಲಿ, ರಕ್ಷಿಸುವ ಸಲುವಾಗಿ ಎಂದು ಉಲ್ಲೇಖಿಸಲಾಗಿದೆವೇಫರ್ವಿವಿಧ ಕಲ್ಮಶಗಳಿಂದ, ಆಕ್ಸೈಡ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ತಯಾರಿಸಲಾಯಿತು - ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ. ಇಂದು ನಾವು ರೂಪುಗೊಂಡ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಫಿಲ್ಮ್ನೊಂದಿಗೆ ವೇಫರ್ನಲ್ಲಿ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವಿನ್ಯಾಸ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಅನ್ನು ಛಾಯಾಚಿತ್ರ ಮಾಡುವ "ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ" ಅನ್ನು ಚರ್ಚಿಸುತ್ತೇವೆ.

 

ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ

 

1. ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಎಂದರೇನು

ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿಯು ಚಿಪ್ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಪ್ರದೇಶಗಳನ್ನು ಮಾಡುವುದು.
ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದಿಂದ ಹೊರಸೂಸುವ ಬೆಳಕನ್ನು ಮಾದರಿಯೊಂದಿಗೆ ಮುಖವಾಡದ ಮೂಲಕ ಫೋಟೋರೆಸಿಸ್ಟ್ನೊಂದಿಗೆ ಲೇಪಿತ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಬಹಿರಂಗಪಡಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಬೆಳಕನ್ನು ನೋಡಿದ ನಂತರ ಅದರ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸುತ್ತದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಮುಖವಾಡದ ಮೇಲಿನ ಮಾದರಿಯನ್ನು ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ಗೆ ನಕಲಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ರೇಖಾಚಿತ್ರದ ಕಾರ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ. ಇದು ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿಯ ಪಾತ್ರವಾಗಿದ್ದು, ಕ್ಯಾಮೆರಾದಲ್ಲಿ ಚಿತ್ರಗಳನ್ನು ತೆಗೆಯುವಂತೆಯೇ ಇರುತ್ತದೆ. ಕ್ಯಾಮರಾದಿಂದ ತೆಗೆದ ಫೋಟೋಗಳನ್ನು ಫಿಲ್ಮ್ನಲ್ಲಿ ಮುದ್ರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಫೋಟೋಗಳನ್ನು ಕೆತ್ತುವುದಿಲ್ಲ, ಆದರೆ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ರೇಖಾಚಿತ್ರಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಘಟಕಗಳು.

ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಒಂದು ನಿಖರವಾದ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಯಂತ್ರ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವಾಗಿದೆ

ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಎನ್ನುವುದು ಚಿತ್ರ ಮಾಹಿತಿ ವಾಹಕವಾಗಿ 2000 ರಿಂದ 4500 ಆಂಗ್‌ಸ್ಟ್ರೋಮ್‌ಗಳ ತರಂಗಾಂತರದೊಂದಿಗೆ ನೇರಳಾತೀತ ಬೆಳಕನ್ನು ಬಳಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಗ್ರಾಫಿಕ್ಸ್‌ನ ರೂಪಾಂತರ, ವರ್ಗಾವಣೆ ಮತ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಫೋಟೋರೆಸಿಸ್ಟ್ ಅನ್ನು ಮಧ್ಯಂತರ (ಇಮೇಜ್ ರೆಕಾರ್ಡಿಂಗ್) ಮಾಧ್ಯಮವಾಗಿ ಬಳಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅಂತಿಮವಾಗಿ ಚಿತ್ರವನ್ನು ರವಾನಿಸುತ್ತದೆ. ಚಿಪ್ (ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಚಿಪ್) ಅಥವಾ ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಲೇಯರ್‌ಗೆ ಮಾಹಿತಿ.
ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿಯು ಆಧುನಿಕ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್, ಮೈಕ್ರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ಮಾಹಿತಿ ಉದ್ಯಮಗಳ ಅಡಿಪಾಯವಾಗಿದೆ ಎಂದು ಹೇಳಬಹುದು ಮತ್ತು ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ನೇರವಾಗಿ ಈ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಮಟ್ಟವನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸುತ್ತದೆ.
1959 ರಲ್ಲಿ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳ ಯಶಸ್ವಿ ಆವಿಷ್ಕಾರದ ನಂತರದ 60 ವರ್ಷಗಳಲ್ಲಿ, ಅದರ ಗ್ರಾಫಿಕ್ಸ್‌ನ ರೇಖೆಯ ಅಗಲವನ್ನು ಸುಮಾರು ನಾಲ್ಕು ಆರ್ಡರ್‌ಗಳ ಪರಿಮಾಣದಿಂದ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಏಕೀಕರಣವನ್ನು ಆರಕ್ಕೂ ಹೆಚ್ಚು ಆರ್ಡರ್‌ಗಳಿಂದ ಸುಧಾರಿಸಲಾಗಿದೆ. ಈ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳ ತ್ವರಿತ ಪ್ರಗತಿಯು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿಯ ಬೆಳವಣಿಗೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗಿದೆ.

(ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯ ವಿವಿಧ ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು)

 

2. ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿಯ ಮೂಲ ತತ್ವಗಳು

ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ವಸ್ತುಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್‌ಗಳನ್ನು ಉಲ್ಲೇಖಿಸುತ್ತವೆ, ಇದನ್ನು ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್‌ಗಳು ಎಂದೂ ಕರೆಯುತ್ತಾರೆ, ಇವು ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿಯಲ್ಲಿ ಅತ್ಯಂತ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ವಸ್ತುಗಳಾಗಿವೆ. ಈ ರೀತಿಯ ವಸ್ತುವು ಬೆಳಕಿನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ (ಗೋಚರ ಬೆಳಕು, ನೇರಳಾತೀತ ಬೆಳಕು, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಕಿರಣ, ಇತ್ಯಾದಿ.) ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ. ದ್ಯುತಿರಾಸಾಯನಿಕ ಕ್ರಿಯೆಯ ನಂತರ, ಅದರ ಕರಗುವಿಕೆಯು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಬದಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಅವುಗಳಲ್ಲಿ, ಡೆವಲಪರ್ನಲ್ಲಿ ಧನಾತ್ಮಕ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ನ ಕರಗುವಿಕೆಯು ಹೆಚ್ಚಾಗುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಪಡೆದ ಮಾದರಿಯು ಮುಖವಾಡದಂತೆಯೇ ಇರುತ್ತದೆ; ನಕಾರಾತ್ಮಕ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಇದಕ್ಕೆ ವಿರುದ್ಧವಾಗಿದೆ, ಅಂದರೆ, ಡೆವಲಪರ್‌ಗೆ ಒಡ್ಡಿಕೊಂಡ ನಂತರ ಕರಗುವಿಕೆ ಕಡಿಮೆಯಾಗುತ್ತದೆ ಅಥವಾ ಕರಗುವುದಿಲ್ಲ, ಮತ್ತು ಪಡೆದ ಮಾದರಿಯು ಮುಖವಾಡಕ್ಕೆ ವಿರುದ್ಧವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಎರಡು ರೀತಿಯ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್‌ಗಳ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳು ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿವೆ. ಧನಾತ್ಮಕ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಒಟ್ಟು 80% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು.

ಮೇಲಿನವು ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಕೀಮ್ಯಾಟಿಕ್ ರೇಖಾಚಿತ್ರವಾಗಿದೆ

 

(1) ಅಂಟಿಸುವುದು:

ಅಂದರೆ, ಏಕರೂಪದ ದಪ್ಪ, ಬಲವಾದ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ನಲ್ಲಿ ಯಾವುದೇ ದೋಷಗಳಿಲ್ಲದ ಫೋಟೋರೆಸಿಸ್ಟ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸುವುದು. ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ನಡುವಿನ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು, ಹೆಕ್ಸಾಮೆಥೈಲ್ಡಿಸಿಲಾಜೆನ್ (ಎಚ್‌ಎಮ್‌ಡಿಎಸ್) ಮತ್ತು ಟ್ರಿಮೆಥೈಲ್‌ಸಿಲ್ಡಿಎಥೈಲಮೈನ್ (ಟಿಎಮ್‌ಎಸ್‌ಡಿಇಎ) ನಂತಹ ವಸ್ತುಗಳೊಂದಿಗೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಮೊದಲು ಮಾರ್ಪಡಿಸುವುದು ಅಗತ್ಯವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ನಂತರ, ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಸ್ಪಿನ್ ಲೇಪನದಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

(2) ಪೂರ್ವ ಬೇಕಿಂಗ್:

ಸ್ಪಿನ್ ಲೇಪನದ ನಂತರ, ಫೋಟೋರೆಸಿಸ್ಟ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಇನ್ನೂ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪ್ರಮಾಣದ ದ್ರಾವಕವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಬೇಯಿಸಿದ ನಂತರ, ದ್ರಾವಕವನ್ನು ಸಾಧ್ಯವಾದಷ್ಟು ಕಡಿಮೆ ತೆಗೆಯಬಹುದು. ಪೂರ್ವ-ಬೇಕಿಂಗ್ ನಂತರ, ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ನ ವಿಷಯವು ಸುಮಾರು 5% ಗೆ ಕಡಿಮೆಯಾಗುತ್ತದೆ.

(3) ಮಾನ್ಯತೆ:

ಅಂದರೆ, ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಬೆಳಕಿಗೆ ಒಡ್ಡಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಈ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಫೋಟೊರಿಯಾಕ್ಷನ್ ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಪ್ರಕಾಶಿತ ಭಾಗ ಮತ್ತು ಪ್ರಕಾಶಿಸದ ಭಾಗದ ನಡುವಿನ ಕರಗುವಿಕೆಯ ವ್ಯತ್ಯಾಸವು ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ.

(4) ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಮತ್ತು ಗಟ್ಟಿಯಾಗುವುದು:

ಉತ್ಪನ್ನವು ಡೆವಲಪರ್‌ನಲ್ಲಿ ಮುಳುಗಿದೆ. ಈ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಧನಾತ್ಮಕ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ನ ಬಹಿರಂಗ ಪ್ರದೇಶ ಮತ್ತು ನಕಾರಾತ್ಮಕ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ನ ಬಹಿರಂಗಪಡಿಸದ ಪ್ರದೇಶವು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯಲ್ಲಿ ಕರಗುತ್ತದೆ. ಇದು ಮೂರು ಆಯಾಮದ ಮಾದರಿಯನ್ನು ಪ್ರಸ್ತುತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯ ನಂತರ, ಚಿಪ್ ಒಂದು ಹಾರ್ಡ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಆಗಲು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಚಿಕಿತ್ಸೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅಗತ್ಯವಿದೆ, ಇದು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ತಲಾಧಾರಕ್ಕೆ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ನ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಮತ್ತಷ್ಟು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

(5) ಎಚ್ಚಣೆ:

ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ವಸ್ತುವನ್ನು ಕೆತ್ತಲಾಗಿದೆ. ಇದು ದ್ರವ ಆರ್ದ್ರ ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಅನಿಲ ಒಣ ಎಚ್ಚಣೆ ಒಳಗೊಂಡಿದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಸಿಲಿಕಾನ್ನ ಆರ್ದ್ರ ಎಚ್ಚಣೆಗಾಗಿ, ಹೈಡ್ರೋಫ್ಲೋರಿಕ್ ಆಮ್ಲದ ಆಮ್ಲೀಯ ಜಲೀಯ ದ್ರಾವಣವನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ; ತಾಮ್ರದ ಆರ್ದ್ರ ಎಚ್ಚಣೆಗಾಗಿ, ನೈಟ್ರಿಕ್ ಆಮ್ಲ ಮತ್ತು ಸಲ್ಫ್ಯೂರಿಕ್ ಆಮ್ಲದಂತಹ ಬಲವಾದ ಆಮ್ಲ ದ್ರಾವಣವನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಒಣ ಎಚ್ಚಣೆಯು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯ ಅಯಾನು ಕಿರಣಗಳನ್ನು ವಸ್ತುವಿನ ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ಹಾನಿ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ಅದನ್ನು ಕೆತ್ತಲು ಬಳಸುತ್ತದೆ.

(6) ಡಿಗಮ್ಮಿಂಗ್:

ಅಂತಿಮವಾಗಿ, ಮಸೂರದ ಮೇಲ್ಮೈಯಿಂದ ಫೋಟೋರೆಸಿಸ್ಟ್ ಅನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಬೇಕಾಗಿದೆ. ಈ ಹಂತವನ್ನು ಡಿಗಮ್ಮಿಂಗ್ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಎಲ್ಲಾ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಸುರಕ್ಷತೆಯು ಪ್ರಮುಖ ವಿಷಯವಾಗಿದೆ. ಚಿಪ್ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಮುಖ್ಯ ಅಪಾಯಕಾರಿ ಮತ್ತು ಹಾನಿಕಾರಕ ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಅನಿಲಗಳು ಕೆಳಕಂಡಂತಿವೆ:

 

1. ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಪೆರಾಕ್ಸೈಡ್

ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಪೆರಾಕ್ಸೈಡ್ (H2O2) ಪ್ರಬಲ ಆಕ್ಸಿಡೆಂಟ್ ಆಗಿದೆ. ನೇರ ಸಂಪರ್ಕವು ಚರ್ಮ ಮತ್ತು ಕಣ್ಣಿನ ಉರಿಯೂತ ಮತ್ತು ಸುಡುವಿಕೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು.

 

2. ಕ್ಸೈಲೀನ್

ಕ್ಸೈಲೀನ್ ಒಂದು ದ್ರಾವಕ ಮತ್ತು ಡೆವಲಪರ್ ಆಗಿದ್ದು ಇದನ್ನು ಋಣಾತ್ಮಕ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇದು ದಹಿಸಬಲ್ಲದು ಮತ್ತು ಕೇವಲ 27.3℃ (ಅಂದಾಜು ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶ) ಕಡಿಮೆ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಗಾಳಿಯಲ್ಲಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯು 1%-7% ಆಗಿದ್ದರೆ ಅದು ಸ್ಫೋಟಕವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಕ್ಸಿಲೀನ್ ಜೊತೆ ಪುನರಾವರ್ತಿತ ಸಂಪರ್ಕವು ಚರ್ಮದ ಉರಿಯೂತವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು. ಕ್ಸೈಲೀನ್ ಆವಿಯು ಸಿಹಿಯಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ಏರ್‌ಪ್ಲೇನ್ ಟ್ಯಾಕ್‌ನ ವಾಸನೆಯನ್ನು ಹೋಲುತ್ತದೆ; ಕ್ಸೈಲೀನ್‌ಗೆ ಒಡ್ಡಿಕೊಳ್ಳುವುದರಿಂದ ಕಣ್ಣು, ಮೂಗು ಮತ್ತು ಗಂಟಲಿನ ಉರಿಯೂತ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ. ಅನಿಲವನ್ನು ಉಸಿರಾಡುವುದರಿಂದ ತಲೆನೋವು, ತಲೆತಿರುಗುವಿಕೆ, ಹಸಿವಿನ ಕೊರತೆ ಮತ್ತು ಆಯಾಸ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ.

 

3. ಹೆಕ್ಸಾಮೆಥೈಲ್ಡಿಸಿಲಾಜೆನ್ (HMDS)

ಉತ್ಪನ್ನದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್‌ನ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ಹೆಕ್ಸಾಮೆಥೈಲ್ಡಿಸಿಲಾಜೆನ್ (HMDS) ಅನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಪ್ರೈಮರ್ ಲೇಯರ್ ಆಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇದು ದಹಿಸಬಲ್ಲದು ಮತ್ತು 6.7 ° C ನ ಫ್ಲ್ಯಾಷ್ ಪಾಯಿಂಟ್ ಹೊಂದಿದೆ. ಗಾಳಿಯಲ್ಲಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯು 0.8%-16% ಆಗಿದ್ದರೆ ಅದು ಸ್ಫೋಟಕವಾಗಿರುತ್ತದೆ. HMDS ಅಮೋನಿಯಾವನ್ನು ಬಿಡುಗಡೆ ಮಾಡಲು ನೀರು, ಆಲ್ಕೋಹಾಲ್ ಮತ್ತು ಖನಿಜ ಆಮ್ಲಗಳೊಂದಿಗೆ ಬಲವಾಗಿ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸುತ್ತದೆ.

 

4. ಟೆಟ್ರಾಮೆಥೈಲಾಮೋನಿಯಮ್ ಹೈಡ್ರಾಕ್ಸೈಡ್

ಟೆಟ್ರಾಮೆಥೈಲಾಮೋನಿಯಮ್ ಹೈಡ್ರಾಕ್ಸೈಡ್ (TMAH) ಅನ್ನು ಧನಾತ್ಮಕ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿಗಾಗಿ ಡೆವಲಪರ್ ಆಗಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇದು ವಿಷಕಾರಿ ಮತ್ತು ನಾಶಕಾರಿ. ನುಂಗಿದರೆ ಅಥವಾ ಚರ್ಮದೊಂದಿಗೆ ನೇರ ಸಂಪರ್ಕದಲ್ಲಿದ್ದರೆ ಅದು ಮಾರಕವಾಗಬಹುದು. TMAH ಧೂಳು ಅಥವಾ ಮಂಜಿನ ಸಂಪರ್ಕವು ಕಣ್ಣುಗಳು, ಚರ್ಮ, ಮೂಗು ಮತ್ತು ಗಂಟಲಿನ ಉರಿಯೂತವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು. TMAH ನ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಇನ್ಹಲೇಷನ್ ಸಾವಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.

 

5. ಕ್ಲೋರಿನ್ ಮತ್ತು ಫ್ಲೋರಿನ್

ಕ್ಲೋರಿನ್ (Cl2) ಮತ್ತು ಫ್ಲೋರಿನ್ (F2) ಎಕ್ಸೈಮರ್ ಲೇಸರ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಆಳವಾದ ನೇರಳಾತೀತ ಮತ್ತು ತೀವ್ರ ನೇರಳಾತೀತ (EUV) ಬೆಳಕಿನ ಮೂಲಗಳಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಎರಡೂ ಅನಿಲಗಳು ವಿಷಕಾರಿಯಾಗಿರುತ್ತವೆ, ತಿಳಿ ಹಸಿರು ಬಣ್ಣದಲ್ಲಿ ಕಂಡುಬರುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಬಲವಾದ ಕಿರಿಕಿರಿಯುಂಟುಮಾಡುವ ವಾಸನೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ. ಈ ಅನಿಲದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಇನ್ಹಲೇಷನ್ ಸಾವಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಫ್ಲೋರೈಡ್ ಅನಿಲವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಫ್ಲೋರಿನ್ ಅನಿಲವು ನೀರಿನೊಂದಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸಬಹುದು. ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಫ್ಲೋರೈಡ್ ಅನಿಲವು ಬಲವಾದ ಆಮ್ಲವಾಗಿದ್ದು ಅದು ಚರ್ಮ, ಕಣ್ಣುಗಳು ಮತ್ತು ಉಸಿರಾಟದ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ಕೆರಳಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸುಟ್ಟಗಾಯಗಳು ಮತ್ತು ಉಸಿರಾಟದ ತೊಂದರೆಯಂತಹ ರೋಗಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು. ಫ್ಲೋರೈಡ್‌ನ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಮಾನವ ದೇಹಕ್ಕೆ ವಿಷವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು, ಇದು ತಲೆನೋವು, ವಾಂತಿ, ಅತಿಸಾರ ಮತ್ತು ಕೋಮಾದಂತಹ ರೋಗಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ.

 

6. ಆರ್ಗಾನ್

ಆರ್ಗಾನ್ (Ar) ಒಂದು ಜಡ ಅನಿಲವಾಗಿದ್ದು ಅದು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಮಾನವ ದೇಹಕ್ಕೆ ನೇರ ಹಾನಿಯನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುವುದಿಲ್ಲ. ಸಾಮಾನ್ಯ ಸಂದರ್ಭಗಳಲ್ಲಿ, ಜನರು ಉಸಿರಾಡುವ ಗಾಳಿಯು ಸುಮಾರು 0.93% ಆರ್ಗಾನ್ ಅನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಈ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಮಾನವ ದೇಹದ ಮೇಲೆ ಯಾವುದೇ ಸ್ಪಷ್ಟ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಬೀರುವುದಿಲ್ಲ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಕೆಲವು ಸಂದರ್ಭಗಳಲ್ಲಿ, ಆರ್ಗಾನ್ ಮಾನವ ದೇಹಕ್ಕೆ ಹಾನಿ ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು.
ಕೆಲವು ಸಂಭವನೀಯ ಸನ್ನಿವೇಶಗಳು ಇಲ್ಲಿವೆ: ಸೀಮಿತ ಜಾಗದಲ್ಲಿ, ಆರ್ಗಾನ್ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಹೆಚ್ಚಾಗಬಹುದು, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಗಾಳಿಯಲ್ಲಿ ಆಮ್ಲಜನಕದ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಹೈಪೋಕ್ಸಿಯಾವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ. ಇದು ತಲೆತಿರುಗುವಿಕೆ, ಆಯಾಸ ಮತ್ತು ಉಸಿರಾಟದ ತೊಂದರೆಯಂತಹ ರೋಗಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಆರ್ಗಾನ್ ಒಂದು ಜಡ ಅನಿಲವಾಗಿದೆ, ಆದರೆ ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡದಲ್ಲಿ ಸ್ಫೋಟಿಸಬಹುದು.

 

7. ನಿಯಾನ್

ನಿಯಾನ್ (Ne) ಸ್ಥಿರವಾದ, ಬಣ್ಣರಹಿತ ಮತ್ತು ವಾಸನೆಯಿಲ್ಲದ ಅನಿಲವಾಗಿದ್ದು, ನಿಯಾನ್ ಅನಿಲವು ಮಾನವ ಉಸಿರಾಟದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಭಾಗವಹಿಸುವುದಿಲ್ಲ, ಆದ್ದರಿಂದ ನಿಯಾನ್ ಅನಿಲದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ಉಸಿರಾಡುವುದರಿಂದ ಹೈಪೋಕ್ಸಿಯಾ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ. ನೀವು ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ಹೈಪೋಕ್ಸಿಯಾ ಸ್ಥಿತಿಯಲ್ಲಿದ್ದರೆ, ನೀವು ತಲೆನೋವು, ವಾಕರಿಕೆ ಮತ್ತು ವಾಂತಿ ಮುಂತಾದ ಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಅನುಭವಿಸಬಹುದು. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ನಿಯಾನ್ ಅನಿಲವು ಬೆಂಕಿ ಅಥವಾ ಸ್ಫೋಟವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಲು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಇತರ ಪದಾರ್ಥಗಳೊಂದಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸಬಹುದು.

 

8. ಕ್ಸೆನಾನ್ ಅನಿಲ

ಕ್ಸೆನಾನ್ ಅನಿಲ (Xe) ಸ್ಥಿರ, ಬಣ್ಣರಹಿತ ಮತ್ತು ವಾಸನೆಯಿಲ್ಲದ ಅನಿಲವಾಗಿದ್ದು ಅದು ಮಾನವ ಉಸಿರಾಟದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಭಾಗವಹಿಸುವುದಿಲ್ಲ, ಆದ್ದರಿಂದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಕ್ಸೆನಾನ್ ಅನಿಲವನ್ನು ಉಸಿರಾಡುವುದರಿಂದ ಹೈಪೋಕ್ಸಿಯಾ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ. ನೀವು ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ಹೈಪೋಕ್ಸಿಯಾ ಸ್ಥಿತಿಯಲ್ಲಿದ್ದರೆ, ನೀವು ತಲೆನೋವು, ವಾಕರಿಕೆ ಮತ್ತು ವಾಂತಿ ಮುಂತಾದ ಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಅನುಭವಿಸಬಹುದು. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ನಿಯಾನ್ ಅನಿಲವು ಬೆಂಕಿ ಅಥವಾ ಸ್ಫೋಟವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಲು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಇತರ ಪದಾರ್ಥಗಳೊಂದಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸಬಹುದು.

 

9. ಕ್ರಿಪ್ಟಾನ್ ಅನಿಲ

ಕ್ರಿಪ್ಟಾನ್ ಅನಿಲ (Kr) ಸ್ಥಿರವಾದ, ಬಣ್ಣರಹಿತ ಮತ್ತು ವಾಸನೆಯಿಲ್ಲದ ಅನಿಲವಾಗಿದ್ದು ಅದು ಮಾನವ ಉಸಿರಾಟದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಭಾಗವಹಿಸುವುದಿಲ್ಲ, ಆದ್ದರಿಂದ ಕ್ರಿಪ್ಟಾನ್ ಅನಿಲದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ಉಸಿರಾಡುವುದರಿಂದ ಹೈಪೋಕ್ಸಿಯಾ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ. ನೀವು ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ಹೈಪೋಕ್ಸಿಯಾ ಸ್ಥಿತಿಯಲ್ಲಿದ್ದರೆ, ನೀವು ತಲೆನೋವು, ವಾಕರಿಕೆ ಮತ್ತು ವಾಂತಿ ಮುಂತಾದ ಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಅನುಭವಿಸಬಹುದು. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಕ್ಸೆನಾನ್ ಅನಿಲವು ಬೆಂಕಿ ಅಥವಾ ಸ್ಫೋಟವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಲು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಇತರ ಪದಾರ್ಥಗಳೊಂದಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸಬಹುದು. ಆಮ್ಲಜನಕದ ಕೊರತೆಯೊಂದಿಗೆ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಉಸಿರಾಡುವಿಕೆಯು ಹೈಪೋಕ್ಸಿಯಾವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು. ನೀವು ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ಹೈಪೋಕ್ಸಿಯಾ ಸ್ಥಿತಿಯಲ್ಲಿದ್ದರೆ, ನೀವು ತಲೆನೋವು, ವಾಕರಿಕೆ ಮತ್ತು ವಾಂತಿ ಮುಂತಾದ ಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಅನುಭವಿಸಬಹುದು. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಕ್ರಿಪ್ಟಾನ್ ಅನಿಲವು ಬೆಂಕಿ ಅಥವಾ ಸ್ಫೋಟವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಲು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಇತರ ಪದಾರ್ಥಗಳೊಂದಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸಬಹುದು.

 

ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮಕ್ಕೆ ಅಪಾಯಕಾರಿ ಅನಿಲ ಪತ್ತೆ ಪರಿಹಾರಗಳು

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉದ್ಯಮವು ದಹಿಸುವ, ಸ್ಫೋಟಕ, ವಿಷಕಾರಿ ಮತ್ತು ಹಾನಿಕಾರಕ ಅನಿಲಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆ, ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ. ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸ್ಥಾವರಗಳಲ್ಲಿ ಅನಿಲಗಳ ಬಳಕೆದಾರರಾಗಿ, ಪ್ರತಿಯೊಬ್ಬ ಸಿಬ್ಬಂದಿಯು ಬಳಕೆಗೆ ಮೊದಲು ವಿವಿಧ ಅಪಾಯಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳ ಸುರಕ್ಷತಾ ಡೇಟಾವನ್ನು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳಬೇಕು ಮತ್ತು ಈ ಅನಿಲಗಳು ಸೋರಿಕೆಯಾದಾಗ ತುರ್ತು ಕಾರ್ಯವಿಧಾನಗಳನ್ನು ಹೇಗೆ ಎದುರಿಸಬೇಕೆಂದು ತಿಳಿದಿರಬೇಕು.
ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದ ಉತ್ಪಾದನೆ, ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಶೇಖರಣೆಯಲ್ಲಿ, ಈ ಅಪಾಯಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳ ಸೋರಿಕೆಯಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಜೀವ ಮತ್ತು ಆಸ್ತಿಯ ನಷ್ಟವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು, ಗುರಿ ಅನಿಲವನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲು ಅನಿಲ ಪತ್ತೆ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸುವುದು ಅವಶ್ಯಕ.

ಇಂದಿನ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಗ್ಯಾಸ್ ಡಿಟೆಕ್ಟರ್‌ಗಳು ಅತ್ಯಗತ್ಯ ಪರಿಸರ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣಾ ಸಾಧನಗಳಾಗಿ ಮಾರ್ಪಟ್ಟಿವೆ ಮತ್ತು ಅವು ಅತ್ಯಂತ ನೇರವಾದ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣಾ ಸಾಧನಗಳಾಗಿವೆ.
ಜನರಿಗೆ ಸುರಕ್ಷಿತ ಕೆಲಸದ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಸೃಷ್ಟಿಸುವ ಉದ್ದೇಶದಿಂದ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉದ್ಯಮದ ಸುರಕ್ಷಿತ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಗೆ ರಿಕೆನ್ ಕೀಕಿ ಯಾವಾಗಲೂ ಗಮನ ಹರಿಸಿದ್ದಾರೆ ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮಕ್ಕೆ ಸೂಕ್ತವಾದ ಅನಿಲ ಸಂವೇದಕಗಳನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲು ತನ್ನನ್ನು ತೊಡಗಿಸಿಕೊಂಡಿದ್ದಾರೆ, ಇದು ಎದುರಿಸುತ್ತಿರುವ ವಿವಿಧ ಸಮಸ್ಯೆಗಳಿಗೆ ಸಮಂಜಸವಾದ ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ಬಳಕೆದಾರರು, ಮತ್ತು ನಿರಂತರವಾಗಿ ಉತ್ಪನ್ನ ಕಾರ್ಯಗಳನ್ನು ಅಪ್‌ಗ್ರೇಡ್ ಮಾಡುವುದು ಮತ್ತು ಸಿಸ್ಟಮ್‌ಗಳನ್ನು ಉತ್ತಮಗೊಳಿಸುವುದು.