ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಮಾಲಿನ್ಯ ಮೂಲಗಳು ಮತ್ತು ತಡೆಗಟ್ಟುವಿಕೆ

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸಾಧನ ಉತ್ಪಾದನೆಯು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಪ್ರತ್ಯೇಕ ಸಾಧನಗಳು, ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಅವುಗಳ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ.
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಮೂರು ಹಂತಗಳಾಗಿ ವಿಂಗಡಿಸಬಹುದು: ಉತ್ಪನ್ನ ದೇಹದ ವಸ್ತು ಉತ್ಪಾದನೆ, ಉತ್ಪನ್ನವೇಫರ್ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಸಾಧನದ ಜೋಡಣೆ. ಅವುಗಳಲ್ಲಿ, ಅತ್ಯಂತ ಗಂಭೀರವಾದ ಮಾಲಿನ್ಯವೆಂದರೆ ಉತ್ಪನ್ನ ವೇಫರ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಹಂತ.
ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರು, ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲ ಮತ್ತು ಘನ ತ್ಯಾಜ್ಯಗಳಾಗಿ ವಿಂಗಡಿಸಲಾಗಿದೆ.

ಚಿಪ್ ತಯಾರಿಕಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ:

ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಬಾಹ್ಯ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ನಂತರ - ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ - ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ - ಏಕರೂಪದ ಪ್ರತಿರೋಧ - ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ - ಅಭಿವೃದ್ಧಿ - ಎಚ್ಚಣೆ - ಪ್ರಸರಣ, ಅಯಾನು ಅಳವಡಿಕೆ - ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ - ರಾಸಾಯನಿಕ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಹೊಳಪು - ಲೋಹೀಕರಣ, ಇತ್ಯಾದಿ.

 

ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರು

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆ ಮತ್ತು ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಪರೀಕ್ಷೆಯ ಪ್ರತಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಮಾಣದ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರು ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುತ್ತದೆ, ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಆಮ್ಲ-ಬೇಸ್ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರು, ಅಮೋನಿಯಾ-ಹೊಂದಿರುವ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರು ಮತ್ತು ಸಾವಯವ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರು.

 

1. ಫ್ಲೋರಿನ್-ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರು:

ಹೈಡ್ರೋಫ್ಲೋರಿಕ್ ಆಮ್ಲವು ಅದರ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಮತ್ತು ನಾಶಕಾರಿ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಂದಾಗಿ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಮುಖ್ಯ ದ್ರಾವಕವಾಗುತ್ತದೆ. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಫ್ಲೋರಿನ್-ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಪ್ರಸರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ಚಿಪ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ರಾಸಾಯನಿಕ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಹೊಳಪು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ ಬರುತ್ತದೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಬಿಲ್ಲೆಗಳು ಮತ್ತು ಸಂಬಂಧಿತ ಪಾತ್ರೆಗಳ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಹೈಡ್ರೋಕ್ಲೋರಿಕ್ ಆಮ್ಲವನ್ನು ಸಹ ಅನೇಕ ಬಾರಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ಎಲ್ಲಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ಮೀಸಲಾದ ಎಚ್ಚಣೆ ಟ್ಯಾಂಕ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ಪೂರ್ಣಗೊಳ್ಳುತ್ತವೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಫ್ಲೋರಿನ್-ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರನ್ನು ಸ್ವತಂತ್ರವಾಗಿ ಹೊರಹಾಕಬಹುದು. ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಪ್ರಕಾರ, ಇದನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಫ್ಲೋರಿನ್-ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರು ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ-ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಅಮೋನಿಯಾ-ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರು ಎಂದು ವಿಂಗಡಿಸಬಹುದು. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಅಮೋನಿಯಾ-ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯು 100-1200 mg/L ತಲುಪಬಹುದು. ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಂಪನಿಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ನೀರಿನ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಅಗತ್ಯವಿಲ್ಲದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗಾಗಿ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರಿನ ಈ ಭಾಗವನ್ನು ಮರುಬಳಕೆ ಮಾಡುತ್ತವೆ.

2. ಆಸಿಡ್-ಬೇಸ್ ತ್ಯಾಜ್ಯ ನೀರು:

ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಹುತೇಕ ಪ್ರತಿಯೊಂದು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಚಿಪ್ ಅನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವ ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಪ್ರಸ್ತುತ, ಸಲ್ಫ್ಯೂರಿಕ್ ಆಮ್ಲ ಮತ್ತು ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಪೆರಾಕ್ಸೈಡ್ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಶುದ್ಧೀಕರಣ ದ್ರವಗಳಾಗಿವೆ. ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ನೈಟ್ರಿಕ್ ಆಮ್ಲ, ಹೈಡ್ರೋಕ್ಲೋರಿಕ್ ಆಮ್ಲ ಮತ್ತು ಅಮೋನಿಯಾ ನೀರಿನಂತಹ ಆಸಿಡ್-ಬೇಸ್ ಕಾರಕಗಳನ್ನು ಸಹ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಆಸಿಡ್-ಬೇಸ್ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಚಿಪ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ ಬರುತ್ತದೆ. ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪ್ಲೇಟಿಂಗ್ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಚಿಪ್ ಅನ್ನು ಆಸಿಡ್-ಬೇಸ್ ದ್ರಾವಣದೊಂದಿಗೆ ಚಿಕಿತ್ಸೆ ನೀಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಚಿಕಿತ್ಸೆಯ ನಂತರ, ಆಸಿಡ್-ಬೇಸ್ ತೊಳೆಯುವ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಶುದ್ಧ ನೀರಿನಿಂದ ತೊಳೆಯಬೇಕು. ಇದರ ಜೊತೆಯಲ್ಲಿ, ಆಸಿಡ್-ಬೇಸ್ ಕಾರಕಗಳಾದ ಸೋಡಿಯಂ ಹೈಡ್ರಾಕ್ಸೈಡ್ ಮತ್ತು ಹೈಡ್ರೋಕ್ಲೋರಿಕ್ ಆಮ್ಲವನ್ನು ಶುದ್ಧ ನೀರಿನ ನಿಲ್ದಾಣದಲ್ಲಿ ಅಯಾನು ಮತ್ತು ಕ್ಯಾಶನ್ ರೆಸಿನ್‌ಗಳನ್ನು ಪುನರುತ್ಪಾದಿಸಲು ಆಮ್ಲ-ಬೇಸ್ ಪುನರುತ್ಪಾದನೆ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಆಸಿಡ್-ಬೇಸ್ ವೇಸ್ಟ್ ಗ್ಯಾಸ್ ವಾಷಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ವಾಷಿಂಗ್ ಟೈಲ್ ವಾಟರ್ ಕೂಡ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುತ್ತದೆ. ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಕಂಪನಿಗಳಲ್ಲಿ, ಆಸಿಡ್-ಬೇಸ್ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರಿನ ಪ್ರಮಾಣವು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ದೊಡ್ಡದಾಗಿದೆ.

3. ಸಾವಯವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ನೀರು:

ವಿಭಿನ್ನ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಂದಾಗಿ, ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಸಾವಯವ ದ್ರಾವಕಗಳ ಪ್ರಮಾಣವು ತುಂಬಾ ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಏಜೆಂಟ್‌ಗಳಾಗಿ, ಸಾವಯವ ದ್ರಾವಕಗಳನ್ನು ಇನ್ನೂ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್‌ನ ವಿವಿಧ ಲಿಂಕ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಕೆಲವು ದ್ರಾವಕಗಳು ಸಾವಯವ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರಿನ ವಿಸರ್ಜನೆಯಾಗುತ್ತವೆ.

4. ಇತರ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರು:

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಮಾಣದ ಅಮೋನಿಯಾ, ಫ್ಲೋರಿನ್ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ-ಶುದ್ಧತೆಯ ನೀರನ್ನು ನಿರ್ಮಲೀಕರಣಕ್ಕಾಗಿ ಬಳಸುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಅಮೋನಿಯಾ-ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರಿನ ವಿಸರ್ಜನೆಯನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ.
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪ್ಲೇಟಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪ್ಲೇಟಿಂಗ್ ನಂತರ ಚಿಪ್ ಅನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಬೇಕಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪ್ಲೇಟಿಂಗ್ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರು ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುತ್ತದೆ. ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪ್ಲೇಟಿಂಗ್‌ನಲ್ಲಿ ಕೆಲವು ಲೋಹಗಳನ್ನು ಬಳಸುವುದರಿಂದ, ಸೀಸ, ತವರ, ಡಿಸ್ಕ್, ಸತು, ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಮುಂತಾದ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪ್ಲೇಟಿಂಗ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ತ್ಯಾಜ್ಯನೀರಿನಲ್ಲಿ ಲೋಹದ ಅಯಾನು ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆ ಇರುತ್ತದೆ.

 

ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲ

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಆಪರೇಟಿಂಗ್ ಕೋಣೆಯ ಶುಚಿತ್ವಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವುದರಿಂದ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಬಾಷ್ಪಶೀಲವಾಗಿರುವ ವಿವಿಧ ರೀತಿಯ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಹೊರತೆಗೆಯಲು ಅಭಿಮಾನಿಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿನ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲ ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆಯು ದೊಡ್ಡ ನಿಷ್ಕಾಸ ಪರಿಮಾಣ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆಯ ಸಾಂದ್ರತೆಯಿಂದ ನಿರೂಪಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ. ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲ ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆಗಳು ಸಹ ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಬಾಷ್ಪೀಕರಣಗೊಳ್ಳುತ್ತವೆ.
ಈ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲ ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ನಾಲ್ಕು ವರ್ಗಗಳಾಗಿ ವಿಂಗಡಿಸಬಹುದು: ಆಮ್ಲೀಯ ಅನಿಲ, ಕ್ಷಾರೀಯ ಅನಿಲ, ಸಾವಯವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲ ಮತ್ತು ವಿಷಕಾರಿ ಅನಿಲ.

1. ಆಸಿಡ್-ಬೇಸ್ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲ:

ಆಸಿಡ್-ಬೇಸ್ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲವು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಪ್ರಸರಣದಿಂದ ಬರುತ್ತದೆ,CVD, CMP ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು, ಇದು ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಆಸಿಡ್-ಬೇಸ್ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್ ಪರಿಹಾರವನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ.
ಪ್ರಸ್ತುತ, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಶುದ್ಧೀಕರಣ ದ್ರಾವಕವೆಂದರೆ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಪೆರಾಕ್ಸೈಡ್ ಮತ್ತು ಸಲ್ಫ್ಯೂರಿಕ್ ಆಮ್ಲದ ಮಿಶ್ರಣವಾಗಿದೆ.
ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲವು ಆಮ್ಲೀಯ ಅನಿಲಗಳಾದ ಸಲ್ಫ್ಯೂರಿಕ್ ಆಮ್ಲ, ಹೈಡ್ರೋಫ್ಲೋರಿಕ್ ಆಮ್ಲ, ಹೈಡ್ರೋಕ್ಲೋರಿಕ್ ಆಮ್ಲ, ನೈಟ್ರಿಕ್ ಆಮ್ಲ ಮತ್ತು ಫಾಸ್ಪರಿಕ್ ಆಮ್ಲಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕ್ಷಾರೀಯ ಅನಿಲವು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಅಮೋನಿಯಾವಾಗಿದೆ.

2. ಸಾವಯವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲ:

ಸಾವಯವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲವು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ, ಅಭಿವೃದ್ಧಿ, ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಸರಣದಂತಹ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಂದ ಬರುತ್ತದೆ. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ, ವೇಫರ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಸಾವಯವ ದ್ರಾವಣವನ್ನು (ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಐಸೊಪ್ರೊಪಿಲ್ ಆಲ್ಕೋಹಾಲ್) ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಬಾಷ್ಪೀಕರಣದಿಂದ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲವು ಸಾವಯವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲದ ಮೂಲಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿದೆ;
ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ (ಫೋಟೋರೆಸಿಸ್ಟ್) ಬಾಷ್ಪಶೀಲ ಸಾವಯವ ದ್ರಾವಕಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಬ್ಯುಟೈಲ್ ಅಸಿಟೇಟ್, ಇದು ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ವಾತಾವರಣಕ್ಕೆ ಬಾಷ್ಪಶೀಲವಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಸಾವಯವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲದ ಮತ್ತೊಂದು ಮೂಲವಾಗಿದೆ.

3. ವಿಷಕಾರಿ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲ:

ವಿಷಕಾರಿ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲವು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಸ್ಫಟಿಕ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ, ಡ್ರೈ ಎಚಿಂಗ್ ಮತ್ತು CVD ಯಂತಹ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಂದ ಬರುತ್ತದೆ. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ (SiHj), ಫಾಸ್ಫರಸ್ (PH3), ಕಾರ್ಬನ್ ಟೆಟ್ರಾಕ್ಲೋರೈಡ್ (CFJ), ಬೋರೇನ್, ಬೋರಾನ್ ಟ್ರೈಆಕ್ಸೈಡ್, ಇತ್ಯಾದಿಗಳಂತಹ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಸಂಸ್ಕರಿಸಲು ವಿವಿಧ ಉನ್ನತ-ಶುದ್ಧ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಕೆಲವು ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳು ವಿಷಕಾರಿ, ಉಸಿರುಕಟ್ಟುವಿಕೆ ಮತ್ತು ನಾಶಕಾರಿ.
ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆಯ ನಂತರ ಒಣ ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, NFS, C2F&CR, C3FS, CHF3, SF6, ಇತ್ಯಾದಿಗಳಂತಹ ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ಪೂರ್ಣ ಆಕ್ಸೈಡ್ (PFCS) ಅನಿಲದ ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಈ ಪರ್ಫ್ಲೋರಿನೇಟೆಡ್ ಸಂಯುಕ್ತಗಳು ಅತಿಗೆಂಪು ಬೆಳಕಿನ ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿ ಬಲವಾದ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ಉಳಿಯುತ್ತದೆ. ಅವುಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಜಾಗತಿಕ ಹಸಿರುಮನೆ ಪರಿಣಾಮದ ಮುಖ್ಯ ಮೂಲವೆಂದು ಪರಿಗಣಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

4. ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲ:

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಿಂದ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲವು ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಸರಳವಾಗಿದೆ, ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಆಮ್ಲೀಯ ಅನಿಲ, ಎಪಾಕ್ಸಿ ರಾಳ ಮತ್ತು ಧೂಳು.
ಆಮ್ಲೀಯ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲವು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪ್ಲೇಟಿಂಗ್‌ನಂತಹ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುತ್ತದೆ;
ಉತ್ಪನ್ನವನ್ನು ಅಂಟಿಸಿ ಮತ್ತು ಸೀಲಿಂಗ್ ಮಾಡಿದ ನಂತರ ಬೇಯಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬೇಕಿಂಗ್ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ;
ಡೈಸಿಂಗ್ ಯಂತ್ರವು ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಟ್ರೇಸ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಧೂಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ತ್ಯಾಜ್ಯ ಅನಿಲವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ.

 

ಪರಿಸರ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಸಮಸ್ಯೆಗಳು

ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿನ ಪರಿಸರ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಸಮಸ್ಯೆಗಳಿಗೆ, ಪರಿಹರಿಸಬೇಕಾದ ಮುಖ್ಯ ಸಮಸ್ಯೆಗಳು:
· ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ವಾಯು ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು ಮತ್ತು ಬಾಷ್ಪಶೀಲ ಸಾವಯವ ಸಂಯುಕ್ತಗಳ (VOCs) ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆ;
ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಪರ್ಫ್ಲೋರಿನೇಟೆಡ್ ಸಂಯುಕ್ತಗಳ (PFCS) ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆ;
· ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಮಿಕರ ಸುರಕ್ಷತೆ ರಕ್ಷಣೆಯಲ್ಲಿ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ನೀರಿನ ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ಬಳಕೆ;
ಉಪ ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ಮರುಬಳಕೆ ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯದ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ;
· ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಅಪಾಯಕಾರಿ ರಾಸಾಯನಿಕಗಳನ್ನು ಬಳಸುವ ತೊಂದರೆಗಳು.

 

ಶುದ್ಧ ಉತ್ಪಾದನೆ

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಡಿವೈಸ್ ಕ್ಲೀನ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳು, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಯಂತ್ರಣದ ಅಂಶಗಳಿಂದ ಸುಧಾರಿಸಬಹುದು.

 

ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುವುದು

ಮೊದಲನೆಯದಾಗಿ, ಕಲ್ಮಶಗಳು ಮತ್ತು ಕಣಗಳ ಪರಿಚಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ವಸ್ತುಗಳ ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬೇಕು.
ಎರಡನೆಯದಾಗಿ, ವಿವಿಧ ತಾಪಮಾನ, ಸೋರಿಕೆ ಪತ್ತೆ, ಕಂಪನ, ಅಧಿಕ-ವೋಲ್ಟೇಜ್ ವಿದ್ಯುತ್ ಆಘಾತ ಮತ್ತು ಇತರ ಪರೀಕ್ಷೆಗಳನ್ನು ಒಳಬರುವ ಘಟಕಗಳು ಅಥವಾ ಅರೆ-ಸಿದ್ಧ ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಒಳಪಡಿಸುವ ಮೊದಲು ನಡೆಸಬೇಕು.
ಹೆಚ್ಚುವರಿಯಾಗಿ, ಸಹಾಯಕ ವಸ್ತುಗಳ ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬೇಕು. ಶಕ್ತಿಯ ಶುದ್ಧ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಬಳಸಬಹುದಾದ ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಹಲವು ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳಿವೆ.

 

ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಆಪ್ಟಿಮೈಸ್ ಮಾಡಿ

ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಸುಧಾರಣೆಗಳ ಮೂಲಕ ಪರಿಸರದ ಮೇಲೆ ಅದರ ಪ್ರಭಾವವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉದ್ಯಮವು ಸ್ವತಃ ಶ್ರಮಿಸುತ್ತದೆ.
ಉದಾಹರಣೆಗೆ, 1970 ರ ದಶಕದಲ್ಲಿ, ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದಲ್ಲಿ ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಸಾವಯವ ದ್ರಾವಕಗಳನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತಿತ್ತು. 1980 ರ ದಶಕದಲ್ಲಿ, ಸಲ್ಫ್ಯೂರಿಕ್ ಆಮ್ಲದಂತಹ ಆಮ್ಲ ಮತ್ತು ಕ್ಷಾರ ದ್ರಾವಣಗಳನ್ನು ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಬಳಸಲಾಯಿತು. 1990 ರ ದಶಕದವರೆಗೆ, ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಆಮ್ಲಜನಕವನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲಾಯಿತು.
ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ವಿಷಯದಲ್ಲಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಂಪನಿಗಳು ಪ್ರಸ್ತುತ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪ್ಲೇಟಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಬಳಸುತ್ತವೆ, ಇದು ಪರಿಸರಕ್ಕೆ ಹೆವಿ ಮೆಟಲ್ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಆದಾಗ್ಯೂ, ಶಾಂಘೈನಲ್ಲಿನ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಸಸ್ಯಗಳು ಇನ್ನು ಮುಂದೆ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪ್ಲೇಟಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಬಳಸುವುದಿಲ್ಲ, ಆದ್ದರಿಂದ ಪರಿಸರದ ಮೇಲೆ ಭಾರವಾದ ಲೋಹಗಳ ಪರಿಣಾಮವಿಲ್ಲ. ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮವು ತನ್ನದೇ ಆದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಸುಧಾರಣೆಗಳು ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಪರ್ಯಾಯಗಳ ಮೂಲಕ ಪರಿಸರದ ಮೇಲೆ ತನ್ನ ಪ್ರಭಾವವನ್ನು ಕ್ರಮೇಣ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತಿದೆ ಎಂದು ಕಾಣಬಹುದು, ಇದು ಪರಿಸರದ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪನ್ನ ವಿನ್ಯಾಸವನ್ನು ಸಮರ್ಥಿಸುವ ಪ್ರಸ್ತುತ ಜಾಗತಿಕ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಪ್ರವೃತ್ತಿಯನ್ನು ಅನುಸರಿಸುತ್ತದೆ.

 

ಪ್ರಸ್ತುತ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಳೀಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಸುಧಾರಣೆಗಳನ್ನು ಕೈಗೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತಿದೆ, ಅವುಗಳೆಂದರೆ:

ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಹರಿವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ PFCS ಅನಿಲದ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ಹಸಿರುಮನೆ ಪರಿಣಾಮದೊಂದಿಗೆ ಅನಿಲವನ್ನು ಬದಲಿಸಲು ಕಡಿಮೆ ಹಸಿರುಮನೆ ಪರಿಣಾಮದೊಂದಿಗೆ PFCs ಅನಿಲವನ್ನು ಬಳಸುವಂತಹ ಎಲ್ಲಾ-ಅಮೋನಿಯಂ PFCS ಅನಿಲದ ಬದಲಿ ಮತ್ತು ಕಡಿತ;
· ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ರಾಸಾಯನಿಕ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಏಜೆಂಟ್‌ಗಳ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಬಹು-ವೇಫರ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಏಕ-ವೇಫರ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಗೆ ಸುಧಾರಿಸುವುದು.
· ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಯಂತ್ರಣ:
ಎ. ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತತೆಯನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಿ, ಇದು ನಿಖರವಾದ ಸಂಸ್ಕರಣೆ ಮತ್ತು ಬ್ಯಾಚ್ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಬಹುದು ಮತ್ತು ಹಸ್ತಚಾಲಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಹೆಚ್ಚಿನ ದೋಷ ದರವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ;
ಬಿ. ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಕ್ಲೀನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಪರಿಸರ ಅಂಶಗಳು, ಸುಮಾರು 5% ಅಥವಾ ಅದಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಇಳುವರಿ ನಷ್ಟವು ಜನರು ಮತ್ತು ಪರಿಸರದಿಂದ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ. ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಕ್ಲೀನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಪರಿಸರದ ಅಂಶಗಳು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಗಾಳಿಯ ಸ್ವಚ್ಛತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ನೀರು, ಸಂಕುಚಿತ ಗಾಳಿ, CO2, N2, ತಾಪಮಾನ, ಆರ್ದ್ರತೆ ಇತ್ಯಾದಿಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ. ಕ್ಲೀನ್ ಕಾರ್ಯಾಗಾರದ ಶುಚಿತ್ವದ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಪ್ರತಿ ಘಟಕದ ಪರಿಮಾಣಕ್ಕೆ ಅನುಮತಿಸಲಾದ ಗರಿಷ್ಠ ಸಂಖ್ಯೆಯ ಕಣಗಳಿಂದ ಅಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ. ಗಾಳಿ, ಅಂದರೆ, ಕಣಗಳ ಎಣಿಕೆ ಸಾಂದ್ರತೆ;
ಸಿ. ಪತ್ತೆ ಮಾಡುವಿಕೆಯನ್ನು ಬಲಪಡಿಸಿ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಮಾಣದ ತ್ಯಾಜ್ಯದೊಂದಿಗೆ ಕಾರ್ಯಸ್ಥಳಗಳಲ್ಲಿ ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲು ಸೂಕ್ತವಾದ ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆಮಾಡಿ.

 

ಹೆಚ್ಚಿನ ಚರ್ಚೆಗಾಗಿ ನಮ್ಮನ್ನು ಭೇಟಿ ಮಾಡಲು ಪ್ರಪಂಚದಾದ್ಯಂತದ ಯಾವುದೇ ಗ್ರಾಹಕರಿಗೆ ಸ್ವಾಗತ!

https://www.vet-china.com/

https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/

https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/

https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j