ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ದೋಣಿ ಬೆಂಬಲಕ್ಕೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ದೋಣಿ ಬೆಂಬಲದ ಪ್ರಯೋಜನಗಳು

ನ ಮುಖ್ಯ ಕಾರ್ಯಗಳುಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ದೋಣಿಬೆಂಬಲ ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕ ದೋಣಿ ಬೆಂಬಲ ಒಂದೇ ಆಗಿರುತ್ತದೆ.ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ದೋಣಿಬೆಂಬಲವು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಆದರೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಬೆಲೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಇದು ಕಠಿಣ ಕೆಲಸದ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳೊಂದಿಗೆ ಬ್ಯಾಟರಿ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ದೋಣಿ ಬೆಂಬಲದೊಂದಿಗೆ ಪರ್ಯಾಯ ಸಂಬಂಧವನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ (ಉದಾಹರಣೆಗೆ LPCVD ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಬೋರಾನ್ ಪ್ರಸರಣ ಸಾಧನಗಳು). ಸಾಮಾನ್ಯ ಕೆಲಸದ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳೊಂದಿಗೆ ಬ್ಯಾಟರಿ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ, ಬೆಲೆ ಸಂಬಂಧಗಳ ಕಾರಣದಿಂದಾಗಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಮತ್ತು ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಬೋಟ್ ಬೆಂಬಲವು ಸಹಬಾಳ್ವೆ ಮತ್ತು ಸ್ಪರ್ಧಾತ್ಮಕ ವರ್ಗಗಳಾಗಿ ಮಾರ್ಪಟ್ಟಿವೆ.

① LPCVD ಮತ್ತು ಬೋರಾನ್ ಡಿಫ್ಯೂಷನ್ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಪರ್ಯಾಯ ಸಂಬಂಧ

LPCVD ಉಪಕರಣವನ್ನು ಬ್ಯಾಟರಿ ಸೆಲ್ ಟನೆಲಿಂಗ್ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಮತ್ತು ಡೋಪ್ಡ್ ಪಾಲಿಸಿಲಿಕಾನ್ ಲೇಯರ್ ತಯಾರಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಕೆಲಸದ ತತ್ವ:

ಕಡಿಮೆ-ಒತ್ತಡದ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ, ಸೂಕ್ತವಾದ ತಾಪಮಾನದೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ರಾಸಾಯನಿಕ ಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ಠೇವಣಿ ಫಿಲ್ಮ್ ರಚನೆಯು ಅಲ್ಟ್ರಾ-ತೆಳುವಾದ ಸುರಂಗ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಪದರ ಮತ್ತು ಪಾಲಿಸಿಲಿಕಾನ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಸಾಧಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸುರಂಗ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಮತ್ತು ಡೋಪ್ಡ್ ಪಾಲಿಸಿಲಿಕಾನ್ ಲೇಯರ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ದೋಣಿ ಬೆಂಬಲವು ಹೆಚ್ಚಿನ ಕೆಲಸದ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಯ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕವು ಸಿಲಿಕಾನ್‌ಗಿಂತ ಭಿನ್ನವಾಗಿದೆ. ಮೇಲಿನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಿದಾಗ, ಸಿಲಿಕಾನ್‌ನಿಂದ ವಿಭಿನ್ನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕದಿಂದಾಗಿ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಮತ್ತು ಸಂಕೋಚನದಿಂದಾಗಿ ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಯ ದೋಣಿ ಬೆಂಬಲವು ಒಡೆಯುವುದನ್ನು ತಡೆಯಲು ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಠೇವಣಿಯಾಗಿರುವ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಅನ್ನು ನಿಯಮಿತವಾಗಿ ಉಪ್ಪಿನಕಾಯಿ ಮತ್ತು ತೆಗೆದುಹಾಕುವುದು ಅವಶ್ಯಕ. ಆಗಾಗ್ಗೆ ಉಪ್ಪಿನಕಾಯಿ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಶಕ್ತಿಯಿಂದಾಗಿ, ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಯ ದೋಣಿ ಹೊಂದಿರುವವರು ಅಲ್ಪಾವಧಿಯ ಜೀವನವನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದಾರೆ ಮತ್ತು ಸುರಂಗದ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಮತ್ತು ಡೋಪ್ಡ್ ಪಾಲಿಸಿಲಿಕಾನ್ ಲೇಯರ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಆಗಾಗ್ಗೆ ಬದಲಾಯಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಬ್ಯಾಟರಿ ಕೋಶದ ಉತ್ಪಾದನಾ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಗಣನೀಯವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ. ವಿಸ್ತರಣೆ ಗುಣಾಂಕಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ಸಿಲಿಕಾನ್‌ಗೆ ಹತ್ತಿರದಲ್ಲಿದೆ. ಸಂಯೋಜಿತಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ದೋಣಿಹೊಂದಿರುವವರಿಗೆ ಸುರಂಗದ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಮತ್ತು ಡೋಪ್ಡ್ ಪಾಲಿಸಿಲಿಕಾನ್ ಲೇಯರ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಉಪ್ಪಿನಕಾಯಿ ಮಾಡುವ ಅಗತ್ಯವಿಲ್ಲ. ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಬೋಟ್ ಹೋಲ್ಡರ್ಗೆ ಇದು ಉತ್ತಮ ಪರ್ಯಾಯವಾಗಿದೆ.

ಬೋರಾನ್ ವಿಸ್ತರಣಾ ಸಾಧನವನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಬ್ಯಾಟರಿ ಕೋಶದ N- ಮಾದರಿಯ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಬೋರಾನ್ ಅಂಶಗಳನ್ನು ಡೋಪಿಂಗ್ ಮಾಡುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ P- ಮಾದರಿಯ ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆಯನ್ನು PN ಜಂಕ್ಷನ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ರಾಸಾಯನಿಕ ಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ಆಣ್ವಿಕ ಠೇವಣಿ ಫಿಲ್ಮ್ ರಚನೆಯನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳುವುದು ಕೆಲಸದ ತತ್ವವಾಗಿದೆ. ಫಿಲ್ಮ್ ರೂಪುಗೊಂಡ ನಂತರ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಡೋಪಿಂಗ್ ಕಾರ್ಯವನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಲು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ತಾಪನದಿಂದ ಅದನ್ನು ಹರಡಬಹುದು. ಬೋರಾನ್ ವಿಸ್ತರಣಾ ಉಪಕರಣದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಕೆಲಸದ ಉಷ್ಣತೆಯಿಂದಾಗಿ, ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಬೋಟ್ ಹೋಲ್ಡರ್ ಕಡಿಮೆ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಬೋರಾನ್ ವಿಸ್ತರಣೆ ಉಪಕರಣದಲ್ಲಿ ಕಡಿಮೆ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಸಂಯೋಜಿತಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ದೋಣಿಹೋಲ್ಡರ್ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಬೋರಾನ್ ವಿಸ್ತರಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ಬೋಟ್ ಹೋಲ್ಡರ್ಗೆ ಉತ್ತಮ ಪರ್ಯಾಯವಾಗಿದೆ.

② ಇತರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಪರ್ಯಾಯ ಸಂಬಂಧ

SiC ದೋಣಿ ಬೆಂಬಲಗಳು ಬಿಗಿಯಾದ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ. ಅವುಗಳ ಬೆಲೆ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಯ ದೋಣಿ ಬೆಂಬಲಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಕೋಶ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಸಾಮಾನ್ಯ ಕೆಲಸದ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ, SiC ದೋಣಿ ಬೆಂಬಲಗಳು ಮತ್ತು ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ದೋಣಿ ಬೆಂಬಲಗಳ ನಡುವಿನ ಸೇವಾ ಜೀವನದಲ್ಲಿ ವ್ಯತ್ಯಾಸವು ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದೆ. ಡೌನ್‌ಸ್ಟ್ರೀಮ್ ಗ್ರಾಹಕರು ತಮ್ಮ ಸ್ವಂತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ಮತ್ತು ಅಗತ್ಯಗಳನ್ನು ಆಧರಿಸಿ ಬೆಲೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ನಡುವೆ ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಹೋಲಿಕೆ ಮಾಡುತ್ತಾರೆ ಮತ್ತು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡುತ್ತಾರೆ. SiC ದೋಣಿ ಬೆಂಬಲಗಳು ಮತ್ತು ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ದೋಣಿ ಬೆಂಬಲಗಳು ಸಹಬಾಳ್ವೆ ಮತ್ತು ಸ್ಪರ್ಧಾತ್ಮಕವಾಗಿವೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, SiC ಬೋಟ್ ಬೆಂಬಲಗಳ ಒಟ್ಟು ಲಾಭಾಂಶವು ಪ್ರಸ್ತುತ ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಾಗಿದೆ. SiC ದೋಣಿ ಬೆಂಬಲಗಳ ಉತ್ಪಾದನಾ ವೆಚ್ಚದಲ್ಲಿ ಕುಸಿತದೊಂದಿಗೆ, SiC ದೋಣಿ ಬೆಂಬಲದ ಮಾರಾಟದ ಬೆಲೆ ಸಕ್ರಿಯವಾಗಿ ಕುಸಿದರೆ, ಇದು ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ದೋಣಿ ಬೆಂಬಲಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಪರ್ಧಾತ್ಮಕತೆಯನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಬಳಕೆಯ ಅನುಪಾತ

ಸೆಲ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಮಾರ್ಗವು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ PERC ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಮತ್ತು TOPCon ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವಾಗಿದೆ. PERC ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಮಾರುಕಟ್ಟೆ ಪಾಲು 88%, ಮತ್ತು TOPCon ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಮಾರುಕಟ್ಟೆ ಪಾಲು 8.3% ಆಗಿದೆ. ಇವೆರಡರ ಸಂಯೋಜಿತ ಮಾರುಕಟ್ಟೆ ಪಾಲು 96.30%.

ಕೆಳಗಿನ ಚಿತ್ರದಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಿರುವಂತೆ:

PERC ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದಲ್ಲಿ, ಮುಂಭಾಗದ ಫಾಸ್ಫರಸ್ ಪ್ರಸರಣ ಮತ್ತು ಅನೆಲಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ದೋಣಿ ಬೆಂಬಲಗಳು ಅಗತ್ಯವಿದೆ. TOPCon ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದಲ್ಲಿ, ಮುಂಭಾಗದ ಬೋರಾನ್ ಪ್ರಸರಣ, LPCVD, ಹಿಂಭಾಗದ ರಂಜಕ ಪ್ರಸರಣ ಮತ್ತು ಅನೆಲಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ದೋಣಿ ಬೆಂಬಲಗಳು ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಪ್ರಸ್ತುತ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ದೋಣಿ ಬೆಂಬಲಗಳನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ TOPCon ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ LPCVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಬೋರಾನ್ ಪ್ರಸರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಅವುಗಳ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಅನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಪರಿಶೀಲಿಸಲಾಗಿದೆ.

ಕೋಶ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ದೋಣಿ ಬೆಂಬಲಗಳ ಚಿತ್ರ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್

ಗಮನಿಸಿ: PERC ಮತ್ತು TOPCon ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳ ಮುಂಭಾಗ ಮತ್ತು ಹಿಂಭಾಗದ ಲೇಪನದ ನಂತರ, ಪರದೆಯ ಮುದ್ರಣ, ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಪರೀಕ್ಷೆ ಮತ್ತು ವಿಂಗಡಣೆಯಂತಹ ಲಿಂಕ್‌ಗಳು ಇನ್ನೂ ಇವೆ, ಇದು ದೋಣಿ ಬೆಂಬಲಗಳ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿಲ್ಲ ಮತ್ತು ಮೇಲಿನ ಚಿತ್ರದಲ್ಲಿ ಪಟ್ಟಿ ಮಾಡಲಾಗಿಲ್ಲ.