SiC жабынының графиті MOCVD вафельді тасымалдағыштардың қабылдағыштары

SiC қаптамасы графиті MOCVD вафельді тасымалдаушылар қабылдағыштар Таңдаулы сурет

Қысқаша сипаттама:

VET Energy SiC қапталған MOCVD эпитаксиалды өсуге арналған сусептор ұзақ уақыт бойы тұрақты және сенімді өнімділікті қамтамасыз етуге арналған жоғары өнімді өнім болып табылады. Ол өте жақсы ыстыққа төзімділікке және термиялық біркелкілікке, жоғары тазалыққа, эрозияға төзімділікке ие, бұл оны вафельді өңдеу қолданбалары үшін тамаша шешім етеді.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз PDF ретінде жүктеп алыңыз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

SiC жабыны бар графит MOCVD Вафельді тасымалдаушылар/сезімтал

Біздің барлық сусепторларымыз жоғары берік изостатикалық графиттен жасалған. Біздің графиттеріміздің жоғары тазалығының пайдасын көріңіз – әсіресе эпитаксия, кристалды өсіру, иондарды имплантациялау және плазмалық оюлау сияқты күрделі процестер үшін, сондай-ақ жарықдиодты чиптерді өндіру үшін әзірленген.

Біздің өнімдеріміздің ерекшеліктері:

1. 1700℃ дейін жоғары температураның тотығуға төзімділігі.
2. Жоғары тазалық және жылу біркелкілігі
3. Коррозияға тамаша төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
4. Жоғары қаттылық, ықшам беті, ұсақ бөлшектер.
5. Қызмет ету мерзімі ұзағырақ және берік

CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC негізгі физикалық қасиеттеріжабын
性质 / Меншік	典型数值 / Типтік мән
晶体结构 / Кристалл құрылымы	FCC β фазасы多晶，主要为（111）取向
密度 / Тығыздығы	3,21 г/см³
硬度 / Қаттылық	2500 维氏硬度（500г жүктеме）
晶粒大小 / Дән өлшемі	2~10мкм
纯度 / Химиялық тазалық	99,99995%
热容 / Жылу сыйымдылығы	640 Дж·кг^-1· Қ^-1
升华温度 / Сублимация температурасы	2700℃
抗弯强度 / Иілу күші	415 МПа RT 4-нүкте
杨氏模量 / Янг модулі	430 Gpa 4pt иілісі, 1300℃
导热系数 / ТермалӨткізгіштік	300Вт·м^-1· Қ^-1
热膨胀系数 / Жылулық кеңею (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy - SiC жабыны, TaC жабыны, шыны тәрізді көміртекті жабыны, пиролитикалық көміртекті жабыны және т.б. сияқты әртүрлі жабындары бар тапсырыс бойынша графит және кремний карбид өнімдерінің нақты өндірушісі, жартылай өткізгіш және фотоэлектрлік өнеркәсібі үшін әртүрлі теңшелген бөлшектерді жеткізе алады.

Біздің техникалық команда отандық жетекші ғылыми-зерттеу институттарынан келеді, сізге кәсіби материалды шешімдерді ұсына алады.

Біз неғұрлым жетілдірілген материалдармен қамтамасыз ету үшін жетілдірілген процестерді үздіксіз дамытамыз және жабын мен субстрат арасындағы байланыстыруды тығыз және ажырауға бейімді ете алатын эксклюзивті патенттелген технологияны әзірледік.

Сізді біздің зауытқа келуге шақырамыз, әрі қарай талқылайық!