SiC жабыны/жабылған графитті субстрат/жартылай өткізгішке арналған науа

SiC жабыны/қапталған графит субстраты/жартылай өткізгішті таңдаулы кескінге арналған науа

Қысқаша сипаттама:

Эпитаксиалды өсуге арналған VET Energy SiC қапталған графитті сенсоры ұзақ уақыт бойы тұрақты және сенімді өнімділікті қамтамасыз етуге арналған жоғары өнімді өнім болып табылады. Ол өте жақсы ыстыққа төзімділікке және термиялық біркелкілікке, жоғары тазалыққа, эрозияға төзімділікке ие, бұл оны вафельді өңдеу қолданбалары үшін тамаша шешім етеді.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз PDF ретінде жүктеп алыңыз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

SiC жабыны/жартылай өткізгішке арналған Графит қабылдағышпен қапталған

TheSiC қапталған графит субстратжартылай өткізгіштерді өңдеу өнеркәсібінің қатаң талаптарын қанағаттандыруға арналған жоғары берік және тиімді шешім болып табылады. Жоғары тазалық қабаты баркремний карбиді (SiC) жабыны, бұл субстрат ерекше термиялық тұрақтылықты, тотығуға төзімділікті және ұзартылған қызмет ету мерзімін қамтамасыз етеді, бұл оны MOCVD процестерінде, графит пластина тасымалдаушыларында және басқа да жоғары температуралы орталарда қолдану үшін өте қолайлы етеді.

Ерекше өзгешеліктері:
· Тамаша термиялық соққыға төзімділік
· Соққыға тамаша физикалық төзімділік
· Тамаша химиялық төзімділік
· Өте жоғары тазалық
· Күрделі пішіндегі қолжетімділік
· Тотықтырғыш атмосферада қолдануға болады

Өтінім:

Өнімнің ерекшеліктері мен артықшылықтары:

1. Жоғары термиялық төзімділік:Жоғары тазалықпенSiC жабыны, субстрат экстремалды температураларға төтеп береді, эпитакси және жартылай өткізгіштерді жасау сияқты талап етілетін орталарда тұрақты өнімділікті қамтамасыз етеді.

2. Жетілдірілген төзімділік:SiC қапталған графит компоненттері химиялық коррозияға және тотығуға қарсы тұруға арналған, бұл стандартты графит субстраттарымен салыстырғанда субстраттың қызмет ету мерзімін арттырады.

3. Шыны тәрізді қапталған графит:Бірегей шыны тәрізді құрылымыSiC жабыныжоғары температурада өңдеу кезінде тозуды азайта отырып, тамаша бет қаттылығын қамтамасыз етеді.

4. Тазалығы жоғары SiC жабыны:Біздің субстрат материалдың қатаң тазалығын талап ететін салалар үшін сенімділікті ұсына отырып, сезімтал жартылай өткізгіш процестерде ең аз ластануды қамтамасыз етеді.

5. Кең нарықтық қолдану:TheSiC қапталған графит сенсорыЖартылай өткізгіш өндірісінде SiC жабыны бар алдыңғы қатарлы өнімдерге сұраныс артқан сайын нарық өсуді жалғастыруда, бұл субстратты графит пластинасы нарығында да, кремний карбидімен қапталған графит науалар нарығында да негізгі ойыншы ретінде орналастырады.

Негізгі графит материалының типтік қасиеттері:

Көрінетін тығыздық:	1,85 г/см3
Электр кедергісі:	11 мкм
Иілу күші:	49 МПа (500кгс/см2)
Жағаның қаттылығы:	58
Күл:	<5 бет мин
Жылу өткізгіштік:	116 Вт/мК (100 ккал/мсағ-℃)

CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC негізгі физикалық қасиеттеріжабын
性质 / Меншік	典型数值 / Типтік мән
晶体结构 / Crystal Structure	FCC β фазасы 多晶，主要为（111）取向
密度 / Тығыздық	3,21 г/см³
硬度 / Қаттылық	2500 维氏硬度（500г жүктеме）
晶粒大小 / Grain Size	2~10мкм
纯度 / Химиялық тазалық	99,99995%
热容 / Жылу сыйымдылығы	640 Дж·кг^-1· Қ^-1
升华温度 / Сублимация температурасы	2700℃
抗弯强度 / Иілу күші	415 МПа RT 4-нүкте
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt иілісі, 1300℃
导热系数 / Жылуөткізгіштік	300Вт·м^-1· Қ^-1
热膨胀系数 / Термиялық кеңею (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy - SiC жабыны, TaC жабыны, шыны тәрізді көміртекті жабыны, пиролитикалық көміртекті жабыны және т.б. сияқты әртүрлі жабындары бар тапсырыс бойынша графит және кремний карбид өнімдерінің нақты өндірушісі, жартылай өткізгіш және фотоэлектрлік өнеркәсібі үшін әртүрлі теңшелген бөлшектерді жеткізе алады.

Біздің техникалық команда отандық жетекші ғылыми-зерттеу институттарынан келеді, сізге кәсіби материалды шешімдерді ұсына алады.

Біз неғұрлым жетілдірілген материалдармен қамтамасыз ету үшін жетілдірілген процестерді үздіксіз дамытамыз және жабын мен субстрат арасындағы байланыстыруды тығыз және ажырауға бейімді ете алатын эксклюзивті патенттелген технологияны әзірледік.

Сізді біздің зауытқа келуге шақырамыз, әрі қарай талқылайық!