Химиялық буларды тұндыру (CVD) жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде әртүрлі материалдарды, соның ішінде оқшаулағыш материалдардың кең ауқымын, көптеген металл материалдарын және металл қорытпаларының материалдарын тұндыру үшін ең кең қолданылатын технология болып табылады. CVD - жұқа пленка дайындаудың дәстүрлі технологиясы. Оның принципі...
Толығырақ оқыңыз