LPE сұйық фазасының эпитаксисіне арналған бөшкелік сенсор
EPI (эпитаксия)жетілдірілген жартылай өткізгіштерді өндірудегі маңызды процесс. Ол күрделі құрылғы құрылымдарын жасау үшін субстратқа материалдың жұқа қабаттарын қоюды қамтиды. EPI үшін SiC қапталған графит баррельді сенсоры тамаша жылу өткізгіштікке және жоғары температураға төзімділігіне байланысты EPI реакторларында әдетте сенсорлар ретінде пайдаланылады. біргеCVD-SiC жабыны, ол ластануға, эрозияға және термиялық соққыға төзімдірек болады. Бұл қабылдағыштың қызмет ету мерзімін ұзартады және пленка сапасын жақсартады.
Сұйық фазалық эпитаксистік LPE үшін бөшкелік сенсордың артықшылықтары:
Азайтылған ластану:SiC-тің инертті табиғаты қоспалардың сіңіргіш бетіне жабысуын болдырмайды, бұл тұндырылған пленкалардың ластану қаупін азайтады.
Эрозияға төзімділіктің жоғарылауы:SiC кәдімгі графитке қарағанда эрозияға айтарлықтай төзімді, бұл сезгіштің қызмет ету мерзімін ұзартады.
Жақсартылған термиялық тұрақтылық:SiC тамаша жылу өткізгіштікке ие және айтарлықтай бұрмаланбай жоғары температураға төтеп бере алады.
Жақсартылған фильм сапасы:Жақсартылған термиялық тұрақтылық және ластануды азайту біркелкілігі мен қалыңдығын бақылауы жақсартылған жоғары сапалы тұндырылған пленкаларға әкеледі.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd жоғары сапалы озық материалдарды, материалдар мен технологияларды, соның ішінде графит, кремний карбиді, керамика, SiC жабыны, TaC жабыны, шыны тәрізді көміртекті өңдеуге бағытталған жоғары технологиялық кәсіпорын болып табылады. жабын, пиролитикалық көміртекті жабын және т.б., бұл өнімдер фотоэлектрлік, жартылай өткізгіштік, жаңа энергетика, металлургия және т.б. кеңінен қолданылады.
Біздің техникалық команда отандық жетекші ғылыми-зерттеу институттарынан келеді және өнімнің өнімділігі мен сапасын қамтамасыз ету үшін бірнеше патенттелген технологияларды әзірледі, сонымен қатар тұтынушыларға кәсіби материал шешімдерін ұсына алады.
Сізді біздің зертханамызға және зауытымызға техникалық талқылау және ынтымақтастық үшін келуге құшақ жая қарсы аламыз!
