Эпитаксиалды эпи-графит баррельді қабылдағыш

Эпитаксиалды эпи-графит баррельді қабылдағыш

Эпитаксиалды эпи-графит баррельді қабылдағыш- тұндыру немесе эпитаксистік процестер сияқты өндірістік процестер кезінде жартылай өткізгіш негіздерді ұстау және қыздыру үшін қолданылатын арнайы әзірленген тірек және қыздыру құрылғысы.

Оның құрылымы әдетте цилиндрлік немесе сәл бөшке тәрізді, бетінің ерекшеліктері бірнеше қалталардан немесе пластиналарды орналастыруға арналған платформалардан тұрады, қыздыру әдісіне байланысты тұтас немесе қуыс дизайн болуы мүмкін.

Эпитаксиалды баррельді сезгіштің негізгі функциялары:

-Субстрат тірегі: бірнеше жартылай өткізгіш пластиналарды сенімді ұстайды;
-Жылу көзі: қыздыру арқылы өсуге қажетті жоғары температураны қамтамасыз етеді;
-Температураның біркелкілігі: астарлардың біркелкі қызуын қамтамасыз етеді;
-Айналу: әдетте температура мен газдың таралуының біркелкілігін жақсарту үшін өсу кезінде айналады.

Эпи графит баррельді қабылдағыштың жұмыс принципі:
- Эпитаксиалды реакторда бөшке қабылдағыш қажетті температураға дейін қызады (әдетте кремний эпитаксисі үшін 1000℃-1200℃);
-Бөшке қабылдағыш температураның біркелкі таралуын және газ ағынын қамтамасыз ету үшін айналады;
-Реакциялық газдар жоғары температурада ыдырайды, субстрат бетінде эпитаксиалды қабаттар түзеді.

Қолданбалар:
-Негізінен кремнийдің эпитаксиалды өсуі үшін қолданылады
-Сондай-ақ GaAs, InP және т.б. басқа жартылай өткізгіш материалдардың эпитаксиясына қолданылады.

VET Energy химиялық тұрақтылықты арттыру үшін CVD-SiC жабыны бар жоғары таза графитті пайдаланады:

VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor артықшылықтары:

- жоғары температура тұрақтылығы;
-Жақсы жылу біркелкілігі;
-Өндіріс тиімділігін арттыра отырып, бірнеше субстратты бір уақытта өңдей алады;
-Химиялық инертті, жоғары тазалықтағы өсу ортасын сақтайды.