SiCコーティング/半導体用グラファイトサセプタのコーティング SiC コーティングされたグラファイト サセプタは、さまざまな半導体製造プロセスで使用される重要なコンポーネントです。当社は特許取得済みの技術を使用して、非常に高純度、良好なコーティング均一性、優れた耐用年数に加え、高い耐薬品性と熱安定性を備えた炭化ケイ素キャリアを製造しています。
特徴：
・優れた耐熱衝撃性
・優れた耐物理衝撃性
・優れた耐薬品性
・超高純度
· 複雑な形状でも利用可能
・酸化性雰囲気下でも使用可能
応用：
ベースグラファイト材料の典型的な特性:
| 見掛け密度: | 1.85g/cm3 |
| 電気抵抗率： | 11μΩm |
| 曲げ強度: | 49MPa(500kgf/cm2) |
| ショア硬度: | 58 |
| 灰： | <5ppm |
| 熱伝導率： | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
| CVD SiC膜の基本物理性能 CVD SiCの基本物性コーティング | |
| 性质 / プロパティ | 代表値 / 代表値 |
| 結晶構造 / 結晶構造 | FCC β 相多結晶、主に（111）取方向 |
| 密度 / 密度 | 3.21 g/cm3 |
| 硬さ・硬さ | 2500维度硬度（500g荷重） |
| 結晶粒大 / 粒サイズ | 2～10μm |
| 品質 / 化学純度 | 99.99995% |
| 熱容量 / 熱容量 | 640J・kg-1・K-1 |
| 昇华温度 / 昇華温度 | 2700℃ |
| 耐弯强度 / 曲げ強さ | 415MPa RT 4点 |
| 杨氏模量 / ヤング率 | 430 Gpa 4pt曲げ、1300℃ |
| 导熱系数 / 熱伝導率 | 300W・m-1・K-1 |
| 熱膨張胀系数 / 熱膨張(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energy は、SiC コーティング、TaC コーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなどのさまざまなコーティングを施したカスタマイズされたグラファイトおよび炭化ケイ素製品の本物のメーカーであり、半導体および太陽光発電産業向けにさまざまなカスタマイズされた部品を供給できます。
当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関から来ており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。
当社は、より高度な材料を提供するために高度なプロセスを開発し続けており、コーティングと基材の間の結合をより強固にし、剥離しにくくすることができる独自の特許技術を開発しました。
私たちの工場を訪問することを温かく歓迎します、さらなる議論をしましょう！
