VET Energy の 8 インチ シリコン ウェーハは、パワー エレクトロニクス、センサー、集積回路、その他の分野で広く使用されています。半導体業界のリーダーとして、当社はお客様の高まるニーズを満たす高品質のSiウェーハ製品を提供することに尽力しています。
Si ウェハに加えて、VET Energy は、SiC 基板、SOI ウェハ、SiN 基板、エピウェハなどを含む幅広い半導体基板材料も提供しています。当社の製品ラインは、酸化ガリウム Ga2O3 や AlN などの新しいワイドバンドギャップ半導体材料もカバーしています。次世代パワーエレクトロニクスデバイスの開発を強力にサポートするウエハー。
VET Energy は、各ウェーハが厳格な業界基準を満たしていることを保証するための高度な生産設備と完全な品質管理システムを備えています。当社の製品は優れた電気的特性を備えているだけでなく、優れた機械的強度と熱安定性も備えています。
VET Energy は、さまざまなサイズ、種類、ドーピング濃度のウェーハを含む、カスタマイズされたウェーハ ソリューションを顧客に提供します。また、生産過程で発生するさまざまな問題を解決するために、専門的な技術サポートとアフターサービスも提供しています。
ウェーハ仕様
*n-Pm=n型Pmグレード、n-Ps=n型Psグレード、Sl=半絶縁
アイテム | 8インチ | 6インチ | 4インチ | ||
nP | n-午後 | n-P | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
弓(GF3YFCD)-絶対値 | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
ワープ(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
ウェーハエッジ | 面取り |
表面仕上げ
*n-Pm=n型Pmグレード、n-Ps=n型Psグレード、Sl=半絶縁
アイテム | 8インチ | 6インチ | 4インチ | ||
nP | n-午後 | n-P | SI | SI | |
表面仕上げ | 両面光学研磨、Si-Face CMP | ||||
表面粗さ | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
エッジチップ | なし 許可(長さおよび幅≧0.5mm) | ||||
インデント | 何も許可されていません | ||||
キズ(Si-Face) | 数量≤5、累積 | 数量≤5、累積 | 数量≤5、累積 | ||
ひび割れ | 何も許可されていません | ||||
エッジの除外 | 3mm |