シリコンウェーハPECVD用グラファイトボートC/Cキャリア

太陽電池生産ラインのPECVDに使用されるグラファイトボート

太陽電池の製造には、テクスチャリング、拡散、エッチング、コーティング、スクリーン印刷、焼結という 6 つの主要なプロセスが必要です。太陽電池の製造では、PECVD チューブのコーティング プロセスで作業体としてグラファイト ボートが使用されます。コーティングプロセスでは、プラズマ化学気相成長法を使用してシリコンウェーハの前面に窒化シリコン膜を堆積し、太陽光の反射とシリコンウェーハの表面を低減します。

当社のPECVDグラファイトボートの特徴:
1)。「カラーレンズ」技術を排除し、長期プロセス中に「カラーレンズ」を確実に使用しないようにするために採用されました。
2)。高純度、低不純物含有量、高強度の輸入黒鉛材料で作られています。
3)。セラミックアセンブリには99.9%のセラミックを使用しており、強力な耐食性能と防錆性能を備えています。
4)。精密加工設備を使用し、各部品の精度を確保しています。

仕様

寧波 VET エネルギー技術有限公司は、グラファイト、炭化ケイ素、セラミックス、SiC コーティング、TaC コーティング、ガラス状カーボンなどの表面処理などのハイエンド先端材料、材料および技術の生産および販売に焦点を当てているハイテク企業です。コーティング、熱分解炭素コーティングなど、これらの製品は太陽光発電、半導体、新エネルギー、冶金などで広く使用されています。

当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関から来ており、製品の性能と品質を保証するために複数の特許取得済み技術を開発しており、顧客に専門的な材料ソリューションを提供することもできます。