先進的なSiCカンチレバーパドルvet-china が作成したウェーハ処理用は、半導体製造に優れたソリューションを提供します。 SiC（炭化ケイ素）素材を使用したカンチレバーパドルで、硬度が高く耐熱性が高いため、高温や腐食環境下でも優れた性能を維持します。カンチレバー パドルの設計により、処理中にウェーハを確実にサポートできるため、破片や損傷のリスクが軽減されます。
SiCカンチレバーパドル酸化炉、拡散炉、アニール炉などの半導体製造装置に使用される特殊部品で、主な用途はウエハのロード・アンロード、高温プロセス時のウエハの支持・搬送です。
共通構造のSiCcアンチレバーpアドル: カンチレバー構造は、一端が固定され、もう一端が自由で、通常は平らでパドルのようなデザインです。
VET Energy は品質を保証するために高純度の再結晶炭化ケイ素素材を使用しています。
| 再結晶炭化ケイ素の物性 | |
| 財産 | 代表値 |
| 使用温度(℃) | 1600℃（酸素あり）、1700℃（還元雰囲気） |
| SiC含有量 | > 99.96% |
| 無料のSiコンテンツ | < 0.1% |
| かさ密度 | 2.60～2.70g/cm3 |
| 見かけの気孔率 | < 16% |
| 圧縮強度 | > 600MPa |
| 冷間曲げ強度 | 80～90MPa(20℃) |
| 熱間曲げ強度 | 90～100MPa(1400℃) |
| 熱膨張 @1500°C | 4.70 10-6/℃ |
| 熱伝導率@1200°C | 23W/m・K |
| 弾性率 | 240GPa |
| 耐熱衝撃性 | 非常に良い |
VET Energy のウェーハ処理用先進 SiC カンチレバー パドルの利点は次のとおりです。
-高温安定性: 1600°Cを超える環境でも使用可能。
- 低い熱膨張係数: 寸法安定性を維持し、ウェーハの反りリスクを軽減します。
-高純度: 金属汚染のリスクが低い。
-化学的不活性: 耐食性があり、さまざまなガス環境に適しています。
-高強度と硬度：耐摩耗性、長寿命。
-優れた熱伝導性: 均一なウェーハ加熱に役立ちます。
