מגש הטעינה של VET Energy PECVD הוא מנשא מדויק המיועד לתהליך PECVD (השקעת אדים כימית משופרת בפלזמה). מגש גרפיט באיכות גבוהה זה עשוי מחומר גרפיט בעל טוהר גבוה וצפיפות גבוהה. יש לו עמידות מעולה בטמפרטורה גבוהה, עמידות בפני קורוזיה, יציבות מימדית ומאפיינים אחרים. זה יכול לספק פלטפורמת נשא יציבה לתהליך PECVD ולהבטיח את האחידות והשטוחות של שקיעת הסרט.
מגשי טעינת VET Energy PECVD נמצאים בשימוש נרחב בתחומים מוליכים למחצה, פוטו-וולטאיים, LED ועוד. לְדוּגמָה:
▪ מוליכים למחצה: תהליך PECVD עבור חומרים מוליכים למחצה כגון פרוסות סיליקון ופסים אפיטקסיאליים.
▪ פוטו-וולטאי: תהליך PECVD לסרטים דקים של תאים סולאריים.
▪ LED: תהליך PECVD עבור שבבי LED.
יתרונות המוצר
▪שפר את איכות הסרט:להבטיח השקת סרט אחידה ושיפור איכות הסרט.
▪הארכת חיי הציוד:עמידות בפני קורוזיה מעולה, הארכת חיי השירות של ציוד PECVD.
▪להפחית את עלויות הייצור:מגשי גרפיט באיכות גבוהה יכולים להפחית את קצב הגרוטאות ולהפחית את עלויות הייצור.
חומר גרפיט מ-SGL:
| פרמטר אופייני: R6510 | |||
| מַדָד | תקן בדיקה | עֵרֶך | יְחִידָה |
| גודל גרגר ממוצע | ISO 13320 | 10 | מיקרומטר |
| צפיפות נפח | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | גרם/ס"מ3 |
| נקבוביות פתוחה | DIN66133 | 10 | % |
| גודל נקבוביות בינוני | DIN66133 | 1.8 | מיקרומטר |
| חֲדִירוּת | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| קשיות Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| התנגדות חשמלית ספציפית | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| חוזק כפיפה | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| חוזק לחיצה | DIN 51910 | 130 | MPa |
| מודולוס יאנג | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| התפשטות תרמית (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| מוליכות תרמית (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
הוא תוכנן במיוחד לייצור תאים סולאריים ביעילות גבוהה, ותומך בעיבוד פרוסות G12 בגודל גדול. עיצוב מנשא אופטימלי מגדיל באופן משמעותי את התפוקה, ומאפשר שיעורי תפוקה גבוהים יותר ועלויות ייצור נמוכות יותר.
| פָּרִיט | סוּג | מנשא פרוסות מספר |
| סירת PEVCD Grephite - סדרת 156 | סירת גרפיט 156-13 | 144 |
| סירת גרפיט 156-19 | 216 | |
| סירת גרפיט 156-21 | 240 | |
| סירת גרפיט 156-23 | 308 | |
| סירת PEVCD Grephite - סדרת 125 | סירת גרפיט 125-15 | 196 |
| סירת גרפיט 125-19 | 252 | |
| סירת גרפיט 125-21 | 280 |
