תמיכת פרוסות גרפיט בתהליך PECVD של VET Energy היא חומר מתכלה ליבה המיועד לתהליך PECVD (השקעת אדים כימית משופרת בפלזמה). מוצר זה עשוי מחומר גרפיט בטוהר גבוה, בצפיפות גבוהה, עם עמידות מצוינת בטמפרטורה גבוהה, עמידות בפני קורוזיה, יציבות ממדית ומאפיינים אחרים, יכול לספק פלטפורמת תמיכה יציבה לתהליך PECVD, כדי להבטיח את האחידות והשטוחות של שקיעת הסרט.
עיצוב "תמיכת גרפיט" של תמיכת פרוסות גרפיט של VET Energy לא רק יכול לתמוך ביעילות בפרוסה, אלא גם לספק יציבות תרמית בסביבת ה-PECVD בטמפרטורה גבוהה ובלחץ גבוה כדי להבטיח את יציבות התהליך.
לתמיכת פרוסות גרפיט בתהליך PECVD של VET Energy יש את המאפיינים הבאים:
▪טוהר גבוה:תכולת טומאה נמוכה במיוחד, הימנע מזיהום של הסרט, כדי להבטיח את איכות הסרט.
▪צפיפות גבוהה:צפיפות גבוהה, חוזק מכני גבוה, יכול לעמוד בטמפרטורה גבוהה ובסביבת PECVD בלחץ גבוה.
▪יציבות מימדית טובה:שינויים מימדיים קטנים בטמפרטורה גבוהה כדי להבטיח את יציבות התהליך.
▪מוליכות תרמית מעולה:להעביר חום ביעילות כדי למנוע התחממות יתר של פרוסות.
▪עמידות בפני קורוזיה חזקה:מסוגל להתנגד לשחיקה על ידי גזים קורוזיביים ופלזמה שונים.
▪שירות מותאם אישית:ניתן להתאים שולחנות תמיכה בגרפיט בגדלים וצורות שונות בהתאם לצרכי הלקוח.
חומר גרפיט מ-SGL:
| פרמטר אופייני: R6510 | |||
| מַדָד | תקן בדיקה | עֵרֶך | יְחִידָה |
| גודל גרגר ממוצע | ISO 13320 | 10 | מיקרומטר |
| צפיפות נפח | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | גרם/ס"מ3 |
| נקבוביות פתוחה | DIN66133 | 10 | % |
| גודל נקבוביות בינוני | DIN66133 | 1.8 | מיקרומטר |
| חֲדִירוּת | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| קשיות Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| התנגדות חשמלית ספציפית | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| חוזק כפיפה | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| חוזק לחיצה | DIN 51910 | 130 | MPa |
| מודולוס יאנג | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| התפשטות תרמית (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| מוליכות תרמית (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
הוא תוכנן במיוחד לייצור תאים סולאריים ביעילות גבוהה, ותומך בעיבוד פרוסות G12 בגודל גדול. עיצוב מנשא אופטימלי מגדיל באופן משמעותי את התפוקה, ומאפשר שיעורי תפוקה גבוהים יותר ועלויות ייצור נמוכות יותר.
| פָּרִיט | סוּג | מנשא פרוסות מספר |
| סירת PEVCD Grephite - סדרת 156 | סירת גרפיט 156-13 | 144 |
| סירת גרפיט 156-19 | 216 | |
| סירת גרפיט 156-21 | 240 | |
| סירת גרפיט 156-23 | 308 | |
| סירת PEVCD Grephite - סדרת 125 | סירת גרפיט 125-15 | 196 |
| סירת גרפיט 125-19 | 252 | |
| סירת גרפיט 125-21 | 280 |
