VET Energy Graphite Substrat Holder הוא מנשא מדויק המיועד לתהליך PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). מחזיק מצע גרפיט איכותי זה עשוי מחומר גרפיט בעל טוהר גבוה וצפיפות גבוהה, עם עמידות מצוינת בטמפרטורה גבוהה, עמידות בפני קורוזיה, יציבות מימדית ומאפיינים נוספים. זה יכול לספק פלטפורמת תמיכה יציבה לתהליך PECVD ולהבטיח את האחידות והשטוחות של שקיעת הסרט.
שולחן תמיכת פרוסות גרפיט בתהליך VET Energy PECVD בעל המאפיינים הבאים:
▪טוהר גבוה:תכולת טומאה נמוכה במיוחד, הימנע מזיהום של הסרט, הבטח את איכות הסרט.
▪צפיפות גבוהה:צפיפות גבוהה, חוזק מכני גבוה, יכול לעמוד בטמפרטורה גבוהה ובסביבת PECVD בלחץ גבוה.
▪יציבות מימדית טובה:שינוי ממדי קטן בטמפרטורה גבוהה, המבטיח יציבות תהליך.
▪מוליכות תרמית מעולה:להעביר חום ביעילות כדי למנוע התחממות יתר של פרוסות.
▪עמידות בפני קורוזיה חזקה:יכול להתנגד לשחיקה על ידי גזים קורוזיביים ופלזמה שונים.
▪שירות מותאם אישית:ניתן להתאים שולחנות תמיכה בגרפיט בגדלים וצורות שונות בהתאם לצרכי הלקוח.
יתרונות המוצר
▪שפר את איכות הסרט:להבטיח השקת סרט אחידה ושיפור איכות הסרט.
▪הארכת חיי הציוד:עמידות בפני קורוזיה מעולה, הארכת חיי השירות של ציוד PECVD.
▪להפחית את עלויות הייצור:מגשי גרפיט באיכות גבוהה יכולים להפחית את קצב הגרוטאות ולהפחית את עלויות הייצור.
חומר גרפיט מ-SGL:
| פרמטר אופייני: R6510 | |||
| מַדָד | תקן בדיקה | עֵרֶך | יְחִידָה |
| גודל גרגר ממוצע | ISO 13320 | 10 | מיקרומטר |
| צפיפות נפח | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | גרם/ס"מ3 |
| נקבוביות פתוחה | DIN66133 | 10 | % |
| גודל נקבוביות בינוני | DIN66133 | 1.8 | מיקרומטר |
| חֲדִירוּת | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| קשיות Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| התנגדות חשמלית ספציפית | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| חוזק כפיפה | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| חוזק לחיצה | DIN 51910 | 130 | MPa |
| מודולוס יאנג | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| התפשטות תרמית (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| מוליכות תרמית (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
הוא תוכנן במיוחד לייצור תאים סולאריים ביעילות גבוהה, ותומך בעיבוד פרוסות G12 בגודל גדול. עיצוב מנשא אופטימלי מגדיל באופן משמעותי את התפוקה, ומאפשר שיעורי תפוקה גבוהים יותר ועלויות ייצור נמוכות יותר.
| פָּרִיט | סוּג | מנשא פרוסות מספר |
| סירת PEVCD Grephite - סדרת 156 | סירת גרפיט 156-13 | 144 |
| סירת גרפיט 156-19 | 216 | |
| סירת גרפיט 156-21 | 240 | |
| סירת גרפיט 156-23 | 308 | |
| סירת PEVCD Grephite - סדרת 125 | סירת גרפיט 125-15 | 196 |
| סירת גרפיט 125-19 | 252 | |
| סירת גרפיט 125-21 | 280 |
