אריזה ברמת רקיק מאוורר (FOWLP) היא שיטה חסכונית בתעשיית המוליכים למחצה. אבל תופעות הלוואי האופייניות של תהליך זה הן עיוות וקיזוז שבבים. למרות השיפור המתמיד בטכנולוגיית רמת הפרוסים וברמת הפנל, בעיות אלו הקשורות ליציקה עדיין קיימות.
עיוות נגרמת על ידי התכווצות כימית של תרכובת דחיסה נוזלית (LCM) במהלך ריפוי וקירור לאחר הדפוס. הסיבה השנייה לעיוות היא חוסר ההתאמה במקדם ההתפשטות התרמית (CTE) בין שבב הסיליקון, חומר הדפוס והמצע. היסט נובע מהעובדה שבדרך כלל ניתן להשתמש בחומרי דפוס צמיגים בעלי תכולת מילוי גבוהה רק בטמפרטורה גבוהה ובלחץ גבוה. ככל שהשבב מקובע למנשא באמצעות הדבקה זמנית, עליית הטמפרטורה תרכך את הדבק, ובכך תחליש את חוזק ההדבקה שלו ותפחית את יכולתו לקבע את השבב. הסיבה השנייה לקיזוז היא שהלחץ הנדרש ליציקה יוצר לחץ על כל שבב.
על מנת למצוא פתרונות לאתגרים אלו, DELO ערכה מחקר היתכנות על ידי הצמדת שבב אנלוגי פשוט על גבי מנשא. מבחינת ההגדרה, רקיקת הנשא מצופה בדבק מקשר זמני, והשבב מונח עם הפנים כלפי מטה. לאחר מכן, הפרוסה נעצבה באמצעות דבק DELO בעל צמיגות נמוכה ונרפאה בקרינה אולטרה סגולה לפני הסרת פרוסת הנשא. ביישומים כאלה, בדרך כלל נעשה שימוש בחומרים מרוכבים ליצירת תרמו-צביטה בעלת צמיגות גבוהה.
DELO השווה בניסוי גם את העיוות של חומרי יציקה תרמוסטיים ומוצרים מרופדים ב-UV, והתוצאות הראו כי חומרי יציקה טיפוסיים יתעוותו במהלך תקופת הקירור לאחר התרמוס. לכן, שימוש בריפוי אולטרה סגול בטמפרטורת החדר במקום אשפרה בחימום יכול להפחית במידה ניכרת את ההשפעה של חוסר התאמה של מקדם ההתפשטות התרמית בין תרכובת היציקה לבין הספק, ובכך למזער את העיוות במידה המרבית האפשרית.
השימוש בחומרי ריפוי אולטרה סגול יכול גם להפחית את השימוש בחומרי מילוי, ובכך להפחית את הצמיגות ואת מודול יאנג. הצמיגות של דגם הדבק המשמש בבדיקה היא 35000 mPa · s, ומודול ה-Young הוא 1 GPa. בשל היעדר חימום או לחץ גבוה על חומר היציקה, ניתן למזער את היסט השבבים עד כמה שניתן. לתרכובת דפוס טיפוסית יש צמיגות של כ-800000 mPa · s ומודול יאנג בטווח של שתי ספרות.
בסך הכל, מחקר הראה ששימוש בחומרים מעובדים ב-UV לייצור שטחים גדולים מועיל לייצור אריזות ברמת פרוסות, תוך מזעור עיוות וקיזוז שבב במידה המרבית האפשרית. למרות הבדלים משמעותיים במקדמי ההתפשטות התרמית בין החומרים המשמשים, לתהליך זה עדיין יש יישומים מרובים בשל היעדר שינוי בטמפרטורה. בנוסף, ריפוי UV יכול גם להפחית את זמן הריפוי ואת צריכת האנרגיה.
UV במקום אשפרה תרמית מפחית עיוות ותזוזת קוביות באריזה ברמת פרוסות מאוורר
השוואה בין פרוסות מצופות בגודל 12 אינץ' באמצעות תרכובת תרמית עם מילוי גבוה (A) ותרכובת מעובדת UV (B)
זמן פרסום: נובמבר-05-2024