הבנת זיהום פרוסות מוליכים למחצה ונוהל ניקוי

כאשר זה זרע כדיחדשות עסקיות, הבנת המורכבות של ייצור מוליכים למחצה היא הכרח. פרוסות מוליכים למחצה הן מרכיב חיוני בתעשייה זו, אך לעתים קרובות הם מתמודדים עם זיהום ממגוון זיהומים. מזהמים אלה, כוללים אטום, חומר אורגני, יון יסוד מתכתי ותחמוצת, יכולים להשפיע על הליך הייצור.

חלקיקיםכגון פולימר ותחריט טומאה אמון על כוח בין-מולקולרי לספוח על פני השטח של הפרוסה, משפיעים על הפוטוליתוגרפיה של המכשיר.זיהומים אורגנייםכמו שמן עור הומו ושמן מכונות יוצרים סרט על הוופל, מונעים את הניקוי.יוני יסוד מתכתיכמו ברזל ואלומיניום מוסרים לעתים קרובות דרך היווצרות של קומפלקס יוני אלמנט מתכתי.תחמוצותמעכבים את הליך הייצור ומוסרים בדרך כלל על ידי השרייה בחומצה הידרופלואורית מדוללת.

שיטות כימיותמשמשים בדרך כלל כדי לנקות ולקרוע פרוסות מוליכים למחצה. טכניקת ניקוי כימי לחות כגון שקיעת תמיסה ושפשוף מכני שוררת. שיטת הניקוי העל-קולית והמגה-סונית מציעה דרכים יעילות להסרת טומאה. ניקוי כימי יבש, הכולל טכנולוגיית פלזמה ופאזי גז, ממלאים גם תפקיד בתהליכי ניקוי פרוסות מוליכים למחצה.