המבנה הפנימי של ציוד צינור התנור מוסבר בפירוט

כפי שמוצג לעיל, הוא טיפוסי

המחצית הראשונה:

▪ גוף חימום (סליל חימום):

ממוקם סביב צינור הכבשן, עשוי בדרך כלל מחוטי התנגדות, המשמשים לחימום פנים צינור הכבשן.

▪ צינור קוורץ:

הליבה של תנור חמצון חם, עשוי קוורץ בטוהר גבוה שיכול לעמוד בטמפרטורות גבוהות ולהישאר אינרטי מבחינה כימית.

▪ הזנת גז:

ממוקם בחלק העליון או בצד של צינור התנור, הוא משמש להובלת חמצן או גזים אחרים אל פנים צינור התנור.

▪ אוגן SS:

רכיבים המחברים בין צינורות קוורץ וקווי גז, המבטיחים את אטימות ויציבות החיבור.

▪ קווי הזנת גז:

צינורות המחברים את ה-MFC ליציאת אספקת הגז להעברת גז.

▪ MFC (בקר זרימה המונית) :

מכשיר השולט בזרימת הגז בתוך צינור קוורץ כדי לווסת במדויק את כמות הגז הנדרשת.

▪ אוורור:

משמש לאוורור גז הפליטה מתוך צינור התנור אל החלק החיצוני של הציוד.

חלק תחתון:

▪ פרוסות סיליקון במחזיק:

פרוסות סיליקון נמצאות במחזיק מיוחד כדי להבטיח חום אחיד במהלך החמצון.

▪ מחזיק רקיק:

משמש כדי להחזיק את פרוסת הסיליקון ולהבטיח כי פרוסת הסיליקון תישאר יציבה במהלך התהליך.

▪ כן:

מבנה המחזיק מחזיק פרוסות סיליקון, עשוי בדרך כלל מחומר עמיד בטמפרטורה גבוהה.

▪ מעלית:

משמש להרמת מחזיקי רקיק לתוך והחוצה מצינורות קוורץ לטעינה ופריקה אוטומטית של פרוסות סיליקון.

▪ רובוט העברת רקיק:

ממוקם בצד של התקן צינור הכבשן, הוא משמש להסרה אוטומטית של רקיקת הסיליקון מהקופסה ולהניחו בצינור הכבשן, או להסיר אותו לאחר העיבוד.

▪ קרוסלת אחסון קלטות:

קרוסלת אחסון קסטה משמשת לאחסון קופסה המכילה פרוסות סיליקון וניתן לסובב אותה לגישה לרובוט.

▪ קלטת ופל:

קלטת רקיק משמשת לאחסון והעברת פרוסות הסיליקון לעיבוד.