היכרות עם טכנולוגיית שקיעת אדים כימית (CVD) דקה

Deposition של אדים כימיים (CVD) היא טכנולוגיית השקעת סרט דק חשובה, המשמשת לעתים קרובות להכנת סרטים פונקציונליים שונים וחומרי שכבה דקה, ונמצאת בשימוש נרחב בייצור מוליכים למחצה ובתחומים אחרים.

1. עקרון העבודה של CVD

בתהליך CVD, מבשר גז (תרכובת מבשרת גז אחת או יותר) מובא במגע עם פני המצע ומחממים אותו לטמפרטורה מסוימת כדי לגרום לתגובה כימית ולהשקעת משטח המצע ליצירת הסרט או הציפוי הרצויים. שִׁכבָה. התוצר של תגובה כימית זו הוא מוצק, בדרך כלל תרכובת של החומר הרצוי. אם ברצוננו להדביק סיליקון למשטח, נוכל להשתמש בטריכלורוסילאן (SiHCl3) כגז המבשר: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl הסיליקון ייקשר לכל משטח חשוף (פנימי וחיצוני), בעוד גזים של כלור וחומצה הידרוכלורית להשתחרר מהתא.

2. סיווג CVD

CVD תרמי: על ידי חימום הגז המבשר כדי להתפרק ולהפקיד אותו על פני המצע. CVD משופר בפלזמה (PECVD): פלזמה מתווספת ל-CVD תרמי כדי לשפר את קצב התגובה ולשלוט בתהליך השקיעה. מתכת אורגנית CVD (MOCVD): באמצעות תרכובות אורגניות מתכת כגזים מקדימים, ניתן להכין סרטים דקים של מתכות ומוליכים למחצה, והם משמשים לעתים קרובות בייצור של מכשירים כגון נוריות LED.

3. יישום

(1) ייצור מוליכים למחצה

סרט סיליקיד: משמש להכנת שכבות בידוד, מצעים, שכבות בידוד וכו'. סרט ניטריד: משמש להכנת סיליקון ניטריד, אלומיניום ניטריד וכו', המשמש לנוריות לד, מכשירי חשמל וכו'. סרט מתכת: משמש להכנת שכבות מוליכות, מתכתי שכבות וכו'.

(2) טכנולוגיית תצוגה

סרט ITO: סרט תחמוצת מוליך שקוף, בשימוש נפוץ בתצוגות שטוחות ומסכי מגע. סרט נחושת: משמש להכנת שכבות אריזה, קווים מוליכים וכו', לשיפור הביצועים של מכשירי תצוגה.

(3) שדות אחרים

ציפויים אופטיים: כולל ציפויים אנטי-רפלקטיביים, מסננים אופטיים וכו'. ציפוי אנטי קורוזיה: משמש בחלקי רכב, מכשירי תעופה וחלל וכו'.

4. מאפייני תהליך CVD

השתמש בסביבה בטמפרטורה גבוהה כדי לקדם את מהירות התגובה. מבוצע בדרך כלל בסביבת ואקום. יש להסיר מזהמים על פני החלק לפני הצביעה. לתהליך עשויות להיות מגבלות על המצעים הניתנים לציפוי, כלומר מגבלות טמפרטורה או מגבלות תגובתיות. ציפוי ה-CVD יכסה את כל אזורי החלק, כולל חוטים, חורים עיוורים ומשטחים פנימיים. עשוי להגביל את היכולת להסוות אזורי יעד ספציפיים. עובי הסרט מוגבל על ידי תהליך ותנאי החומר. הידבקות מעולה.