יצרן סין SiC מצופה גרפיט MOCVD Epitaxy Susceptor

תיאור קצר:

טוהר < 5ppm
‣ אחידות סמים טובה
‣ צפיפות גבוהה והידבקות
‣ עמידות טובה נגד קורוזיה ופחמן

‣ התאמה אישית מקצועית
‣ זמן אספקה קצר
‣ אספקה יציבה
‣ בקרת איכות ושיפור מתמיד

אפיטקסיה של GaN על ספיר(RGB/Mini/Micro LED);
אפיטקסיה של GaN על מצע Si(UVC);
אפיטקסיה של GaN על מצע Si(מכשיר אלקטרוני);
אפיטקסיה של Si על מצע Si(מעגל משולב);
אפיטקסיה של SiC על מצע SiC(מצע);
אפיטקסיה של InP על InP

שלחו לנו מייל הורד כ-PDF

פירוט המוצר

תגיות מוצר

סופר MOCVD באיכות גבוהה קנה באינטרנט בסין

רקיק צריך לעבור מספר שלבים לפני שהוא מוכן לשימוש במכשירים אלקטרוניים. תהליך חשוב אחד הוא אפיטקסיה של סיליקון, שבו הפרוסים נישאים על גבי צלמי גרפיט. למאפיינים ולאיכותם של הקולטים יש השפעה מכרעת על איכות השכבה האפיטקסיאלית של הפרוסה.

עבור שלבי שקיעה של סרט דק כגון אפיטקסיה או MOCVD, VET מספקת ציוד גרפיט טהור במיוחד המשמש לתמיכה במצעים או "wafers". בליבת התהליך, ציוד זה, קולטי אפיטקסיה או פלטפורמות לוויין עבור MOCVD, נתונים לראשונה לסביבת התצהיר:

טמפרטורה גבוהה.
ואקום גבוה.
שימוש במבשרים גזים אגרסיביים.
אפס זיהום, היעדר קילוף.
עמידות לחומצות חזקות במהלך פעולות ניקוי

VET Energy היא היצרנית האמיתית של מוצרי גרפיט וסיליקון קרביד מותאמים אישית עם ציפוי לתעשייה מוליכים למחצה ופוטו-וולטאיים. הצוות הטכני שלנו מגיע ממוסדות מחקר מקומיים מובילים, יכול לספק פתרונות חומר מקצועיים יותר עבורך.

אנו מפתחים ללא הרף תהליכים מתקדמים לאספקת חומרים מתקדמים יותר, ופיתחנו טכנולוגיית פטנט בלעדית, שיכולה להפוך את ההדבקה בין הציפוי למצע להדוקה יותר ולפחות נוטה להתנתקות.

תכונות של המוצרים שלנו:

1. עמידות חמצון בטמפרטורה גבוהה עד 1700℃.
2. טוהר גבוה ואחידות תרמית
3. עמידות בפני קורוזיה מצוינת: חומצה, אלקלי, מלח וריאגנטים אורגניים.
4. קשיות גבוהה, משטח קומפקטי, חלקיקים עדינים.
5. חיי שירות ארוכים יותר ועמידים יותר

CVD SiC薄膜基本物理性能 תכונות פיזיקליות בסיסיות של CVD SiCשִׁכבָה
性质 / רכוש	典型数值 / ערך טיפוסי
晶体结构 / מבנה קריסטל	שלב β של FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / צפיפות	3.21 גרם/ס"מ³
硬度 / קשיות	2500 维氏硬度（עומס של 500 גרם）
晶粒大小 / גודל תבואה	2~10 מיקרומטר
纯度 / טוהר כימי	99.99995%
热容 / קיבולת חום	640 ג'ק"ג^-1·ק^-1
升华温度 / טמפרטורת סובלימציה	2700℃
抗弯强度 / חוזק כיפוף	415 MPa RT 4 נקודות
杨氏模量 / מודולוס של יאנג	עיקול 430 Gpa 4pt, 1300℃
导热系数 / Thermaלמוֹלִיכוּת	300W·m^-1·ק^-1
热膨胀系数 / התרחבות תרמית (CTE)	4.5×10^-6K^-1