Suscettore rivestito in carburo di tantalio per wafer

Breve descrizione:

Semicera è leader nella tecnologia di protezione dei materiali ad alta temperatura e siamo orgogliosi di presentare i prodotti di rivestimento CVD al carburo di tantalio (TaC) per fornire una protezione affidabile alle alte temperature per i vostri substrati di grafite.La grafite è un eccellente materiale resistente alle alte temperature, ma è soggetto all'ossidazione alle alte temperature, cosa che non può essere completamente evitata nemmeno in un forno a vuoto.Il nostro rivestimento CVD in carburo di tantalio (TaC) può prevenire efficacemente l'ossidazione del substrato di grafite mantenendo le sue eccellenti prestazioni alle alte temperature.Il TaC è anche un materiale inerte che può resistere alle reazioni con gas come argon e idrogeno.Consulta Semicera oggi per saperne di più sui nostri suscettori EPI rivestiti in carburo di tantalio CVD per garantire la stabilità e l'affidabilità delle tue applicazioni ad alta temperatura.

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Dettagli del prodotto

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Il rivestimento TaC è un tipo di rivestimento in carburo di tantalio (TaC) preparato mediante tecnologia di deposizione fisica da vapore, ha le seguenti caratteristiche:

1. Elevata durezza: la durezza del rivestimento TaC è elevata, solitamente può raggiungere 2500-3000 HV, è un eccellente rivestimento duro.

2. Resistenza all'usura: il rivestimento TaC è molto resistente all'usura, il che può ridurre efficacemente l'usura e i danni delle parti meccaniche durante l'uso.

3. Buona resistenza alle alte temperature: il rivestimento TaC può mantenere le sue eccellenti prestazioni anche in ambienti ad alta temperatura.

4. Buona stabilità chimica: il rivestimento TaC ha una buona stabilità chimica e può resistere a molte reazioni chimiche, come acidi e basi.

Rivestimento CVD in carburo di tantalio EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性 Proprietà fisiche di TaC Rivestimento
密度/ Densità	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Emissività specifica	0,3
热膨胀系数 / Coefficiente di dilatazione termica	6.310^-6/K
努氏硬度/ Durezza (HK)	2000 Hong Kong
电阻 / Resistenza	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Stabilità termica	<2500 ℃
石墨尺寸变化 / Cambia la dimensione della grafite	-10~-20um
涂层厚度 / Spessore del rivestimento	Valore tipico ≥20um (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd è un'impresa high-tech focalizzata sulla produzione e vendita di materiali avanzati di fascia alta, materiali e tecnologie che coprono grafite, carburo di silicio, ceramica, trattamenti superficiali e così via.I prodotti sono ampiamente utilizzati nel fotovoltaico, nei semiconduttori, nelle nuove energie, nella metallurgia, ecc.

Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali e può fornirti soluzioni materiali più professionali.

Un caloroso benvenuto a visitare la nostra fabbrica, disponiamo di ulteriori discussioni!