Anello dentato in grafite rivestito in SiC

Breve descrizione:

L'anello dentato in grafite rivestito in SiC VET Energy è un prodotto ad alte prestazioni progettato per fornire prestazioni costanti e affidabili per un lungo periodo. Ha un'ottima resistenza al calore e uniformità termica, elevata purezza e resistenza all'erosione, che lo rendono la soluzione perfetta per le applicazioni di lavorazione dei wafer.

Luogo d'origine:Cina

Struttura cristallina:Fase FCCβ

Densità:3,21 g/cm;

Durezza:2500 Vickers;

Purezza chimica:99,99995%;

Capacità termica:640J·kg-1·K-1;

Temperatura di sublimazione:2700℃;

Granulometria:2~10μm;

Forza flessionale:415 Mpa (RT 4 punti);

Modulo di Young:430 Gpa (curvatura 4 punti, 1300 ℃);

Dilatazione Termica (CTE):4,5 10-6K-1;

Conducibilità termica:300（W/MK）;

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Dettagli del prodotto

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L'anello dentato in grafite rivestito in SiC è un componente chiave utilizzato in vari processi di produzione di semiconduttori. Utilizziamo la nostra tecnologia brevettata per realizzare un supporto in carburo di silicio con purezza estremamente elevata, buona uniformità del rivestimento e durata di servizio eccellente, nonché elevate proprietà di resistenza chimica e stabilità termica.

VET Energy è il vero produttore di prodotti personalizzati in grafite e carburo di silicio con trattamenti superficiali come rivestimento SiC, rivestimento TaC, rivestimento in carbonio vetroso, rivestimento in carbonio pirolitico, ecc., può fornire varie parti personalizzate per l'industria dei semiconduttori e fotovoltaica.

Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali e può fornirti soluzioni materiali più professionali.

Sviluppiamo continuamente processi avanzati per fornire materiali sempre più avanzati e abbiamo elaborato un'esclusiva tecnologia brevettata, che può rendere il legame tra il rivestimento e il substrato più stretto e meno incline al distacco.

Caratteristiche dei nostri prodotti:

1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura fino a 1700 ℃.
2. Elevata purezza e uniformità termica
3. Eccellente resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.
4. Elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
5. Durata di servizio più lunga e più durevole

CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento
性质 / Proprietà	典型数值 /Valore tipico
晶体结构 / Struttura in cristallo	Fase β dell'FCC多晶,主要为（111）取向
密度 / Densità	3,21 g/cm³
硬度 / Durezza	2500 tonnellate di carico (carico di 500 g)
晶粒大小 / Granulometria	2~10μm
纯度 / Purezza chimica	99,99995%
热容 / Capacità termica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 /Temperatura di sublimazione	2700 ℃
抗弯强度 / Resistenza alla flessione	415 MPa RT a 4 punti
杨氏模量 / Modulo di Young	Curvatura 4 punti 430 Gpa, 1300 ℃
导热系数 /TermelConduttività	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Dilatazione termica (CTE)	4,5×10^-6K^-1