Qual è la funzione della barca in grafite PECVD?

Come vettore dei normali wafer di silicio nella produzione del processo di rivestimento, ilbarca in grafiteha molti wafer per barche con un certo intervallo nella struttura, e c'è uno spazio molto stretto tra due wafer per barche adiacenti, e i wafer di silicio sono posizionati su entrambi i lati della porta vuota.

Poiché la grafite, il materiale della barchetta in grafite, ha una buona conduttività e conduttività termica, viene applicata una tensione CA tra due barchette adiacenti per formare elettrodi positivi e negativi. Quando c'è una certa pressione dell'aria e del gas nella camera, si verifica una scarica luminescente tra le due barche. La scarica a bagliore può decomporre i gas SiH4 e NH3 nello spazio, formare ioni Si e N e combinarsi per formare molecole SiNx. Viene depositato sulla superficie del wafer di silicio per raggiungere lo scopo del rivestimento.

Come supporto del rivestimento antiriflesso delle celle solari, la struttura e le dimensioni della barca in grafite influiscono direttamente sull'efficienza di conversione e sull'efficienza di produzione del wafer di silicio. Dopo anni di ricerca e sviluppo tecnico, la nostra azienda dispone ora di apparecchiature di produzione avanzate, progettisti tecnologici maturi e personale di produzione esperto, e i materiali sono materie prime importate. Allo stato attuale, la barchetta in grafite prodotta dalla nostra azienda presenta i vantaggi dell'alta efficienza. La struttura è semplice e la distanza tra le barchette in grafite è ragionevole, il che rende uniforme il rivestimento del wafer di silicio, migliora la qualità del wafer di silicio e rende l'efficienza di conversione dell'energia solare è elevata. L'azienda Shijin dispone di tutti i tipi di calamai di cui il mercato ha bisogno adesso

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Orario di pubblicazione: 08-apr-2021
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