Suscettore epitassia MOCVD in grafite rivestita in SiC del produttore cinese

Breve descrizione:

Purezza < 5 ppm
‣ Buona uniformità di doping
‣ Alta densità e adesione
‣ Buona resistenza alla corrosione e al carbonio

‣ Personalizzazione professionale
‣ Tempi di consegna brevi
‣ Offerta stabile
‣ Controllo qualità e miglioramento continuo

Epitassia di GaN su zaffiro(RGB/Mini/MicroLED);
Epitassia di GaN su substrato di Si(UVC);
Epitassia di GaN su substrato di Si(Dispositivo elettronico);
Epitassia del Si sul substrato del Si(Circuito integrato);
Epitassia del SiC sul substrato SiC(Substrato);
Epitassia di InP su InP

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Suscettore MOCVD di alta qualità Acquista online in Cina

Un wafer deve passare attraverso diversi passaggi prima di essere pronto per l'uso nei dispositivi elettronici. Un processo importante è l'epitassia del silicio, in cui i wafer vengono trasportati su suscettori di grafite. Le proprietà e la qualità dei suscettori hanno un effetto cruciale sulla qualità dello strato epitassiale del wafer.

Per le fasi di deposizione di film sottili come l'epitassia o il MOCVD, VET fornisce attrezzature in grafite ultrapura utilizzate per supportare substrati o "wafer". Al centro del processo, queste apparecchiature, suscettori epitassia o piattaforme satellitari per il MOCVD, vengono prima sottoposte all'ambiente di deposizione:

Alta temperatura.
Alto vuoto.
Utilizzo di precursori gassosi aggressivi.
Contaminazione zero, assenza di peeling.
Resistenza agli acidi forti durante le operazioni di pulizia

VET Energy è il vero produttore di prodotti personalizzati in grafite e carburo di silicio con rivestimento per l'industria dei semiconduttori e del fotovoltaico. Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali e può fornirti soluzioni materiali più professionali.

Sviluppiamo continuamente processi avanzati per fornire materiali sempre più avanzati e abbiamo elaborato un'esclusiva tecnologia brevettata, che può rendere il legame tra il rivestimento e il substrato più stretto e meno incline al distacco.

Caratteristiche dei nostri prodotti:

1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura fino a 1700 ℃.
2. Elevata purezza e uniformità termica
3. Eccellente resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.
4. Elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
5. Durata di servizio più lunga e più durevole

CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento
性质 / Proprietà	典型数值 /Valore tipico
晶体结构 / Struttura in cristallo	Fase β dell'FCC多晶,主要为（111）取向
密度 / Densità	3,21 g/cm³
硬度 / Durezza	2500 tonnellate di carico (carico di 500 g)
晶粒大小 / Granulometria	2~10μm
纯度 / Purezza chimica	99,99995%
热容 / Capacità termica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 /Temperatura di sublimazione	2700 ℃
抗弯强度 / Resistenza alla flessione	415 MPa RT a 4 punti
杨氏模量 / Modulo di Young	Curvatura 4 punti 430 Gpa, 1300 ℃
导热系数 /TermelConduttività	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Dilatazione termica (CTE)	4,5×10^-6K^-1