SiC húðun/húðuð grafít undirlag/bakki fyrir hálfleiðara

Stutt lýsing:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor for Epitaxial Growth er afkastamikil vara sem er hönnuð til að veita stöðuga og áreiðanlega afköst yfir langan tíma.Það hefur frábæra hitaþol og hitauppstreymi einsleitni, hár hreinleika, rofþol, sem gerir það að fullkominni lausn fyrir oblátavinnsluforrit.


Upplýsingar um vöru

Vörumerki

SiC húðun/húðuð grafít susceptor fyrir hálfleiðara
 
SiC Coated Graphite Susceptor er lykilþáttur sem notaður er í ýmsum hálfleiðara framleiðsluferlum.Við notum einkaleyfistækni okkar til að gera kísilkarbíð burðarefnið með einstaklega miklum hreinleika, góða einsleitni húðunar og framúrskarandi endingartíma, auk mikillar efnaþols og hitastöðugleika.

 Eiginleikar: 
· Framúrskarandi hitaáfallsþol
· Framúrskarandi líkamlegt höggþol
· Framúrskarandi efnaþol
· Ofurmikill hreinleiki
· Fáanlegt í flóknu formi
· Notanlegt undir oxandi andrúmslofti

Umsókn:

3

Dæmigerðir eiginleikar grunngrafítefnis:

Sýnilegur þéttleiki: 1,85 g/cm3
Rafmagnsviðnám: 11 μΩm
Beygjustyrkur: 49 MPa (500 kgf/cm2)
Shore hörku: 58
Aska: <5 ppm
Varmaleiðni: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Grundvallar eðliseiginleikar CVD SiChúðun

性质 / Eign

典型数值 / Dæmigert gildi

晶体结构 / Kristallsbygging

FCC β phase 多晶,主要为(111)取向

密度 / Þéttleiki

3,21 g/cm³

硬度 / hörku

2500 维氏硬度(500g álag)

晶粒大小 / Kornastærð

2~10μm

纯度 / Chemical Purity

99,99995%

热容 / hitageta

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimation Hiti

2700 ℃

抗弯强度 / Beygjustyrkur

415 MPa RT 4 punkta

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt beygja, 1300 ℃

导热系数 / Varmaleiðni

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / hitauppstreymi (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

 

VET Energy er raunverulegur framleiðandi sérsniðinna grafít- og kísilkarbíðvara með mismunandi húðun eins og SiC húðun, TaC húðun, glerkenndri kolefnishúð, hitahreinsandi kolefnishúð o.s.frv., Getur útvegað ýmsa sérsniðna hluta fyrir hálfleiðara- og ljósavirkjaiðnað.

Tækniteymi okkar kemur frá efstu innlendum rannsóknarstofnunum, getur veitt faglegri efnislausnir fyrir þig.

Við þróum stöðugt háþróaða ferla til að útvega fullkomnari efni og höfum unnið að einkaleyfisbundinni tækni sem getur gert tengingu milli húðunar og undirlags þéttari og minna tilhneigingu til að losna.

Verið hjartanlega velkomin að heimsækja verksmiðjuna okkar, við skulum hafa frekari umræður!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Fyrri:
  • Næst:

  • WhatsApp netspjall!