Eiginleikar:
· Framúrskarandi hitaáfallsþol
· Framúrskarandi líkamlegt höggþol
· Framúrskarandi efnaþol
· Ofurmikill hreinleiki
· Fáanlegt í flóknu formi
· Notanlegt undir oxandi andrúmslofti
Umsókn:
Eiginleikar og kostir vöru:
1. Superior hitauppstreymi:Með miklum hreinleikaSiC húðun, undirlagið þolir mikla hitastig, sem tryggir stöðuga frammistöðu í krefjandi umhverfi eins og epitaxy og hálfleiðaraframleiðslu.
2. Aukin ending:SiC húðuðu grafíthlutarnir eru hannaðir til að standast efnafræðilega tæringu og oxun, sem eykur endingartíma undirlagsins samanborið við venjulegt grafít hvarfefni.
3. Glerhúðað grafít:Einstök glerhúð uppbyggingSiC húðunveitir framúrskarandi yfirborðshörku, lágmarkar slit við háhitavinnslu.
4. High Purity SiC húðun:Undirlagið okkar tryggir lágmarksmengun í viðkvæmum hálfleiðaraferlum, sem býður upp á áreiðanleika fyrir atvinnugreinar sem krefjast strangs efnishreinleika.
5. Wide Market Application:TheSiC húðaður grafít susceptorMarkaðurinn heldur áfram að vaxa eftir því sem eftirspurn eftir háþróuðum SiC húðuðum vörum í hálfleiðaraframleiðslu eykst, og staðsetur þetta undirlag sem lykilaðila á bæði grafítskífuburðarmarkaðinum og kísilkarbíðhúðuðum grafítbakkamarkaði.
Dæmigerðir eiginleikar grunngrafítefnis:
Sýnilegur þéttleiki: | 1,85 g/cm3 |
Rafmagnsviðnám: | 11 μΩm |
Beygjustyrkur: | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
Shore hörku: | 58 |
Ash: | <5 ppm |
Varmaleiðni: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundvallar eðliseiginleikar CVD SiChúðun | |
性质 / Eign | 典型数值 / Dæmigert gildi |
晶体结构 / Kristallsbygging | FCC β phase 多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Þéttleiki | 3,21 g/cm³ |
硬度 / hörku | 2500 维氏硬度(500g álag) |
晶粒大小 / Kornastærð | 2~10μm |
纯度 / Chemical Purity | 99,99995% |
热容 / hitageta | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Sublimation Hiti | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Beygjustyrkur | 415 MPa RT 4 punkta |
杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt beygja, 1300 ℃ |
导热系数 / Varmaleiðni | 300W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / hitauppstreymi (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy er raunverulegur framleiðandi sérsniðinna grafít- og kísilkarbíðvara með mismunandi húðun eins og SiC húðun, TaC húðun, glerkenndri kolefnishúð, hitahreinsandi kolefnishúð o.s.frv., Getur útvegað ýmsa sérsniðna hluta fyrir hálfleiðara- og ljósavirkjaiðnað.
Tækniteymi okkar kemur frá efstu innlendum rannsóknarstofnunum, getur veitt faglegri efnislausnir fyrir þig.
Við þróum stöðugt háþróaða ferla til að útvega fullkomnari efni og höfum unnið að einkaleyfisbundinni tækni sem getur gert tengingu milli húðunar og undirlags þéttari og minna tilhneigingu til að losna.
Verið hjartanlega velkomin að heimsækja verksmiðjuna okkar, við skulum hafa frekari umræður!