SiC húðaður grafít susceptor er lykilþáttur sem notaður er í ýmsum hálfleiðara framleiðsluferlum. við notum einkaleyfisverndaða tækni okkar til að búa til susceptor með mjög miklum hreinleika, góða einsleitni húðunar og framúrskarandi endingartíma, auk mikillar efnaþols og hitastöðugleika.
Eiginleikar vara okkar:
1. Oxunarþol við háan hita allt að 1700 ℃.
2. Hár hreinleiki og hitauppstreymi einsleitni
3. Framúrskarandi tæringarþol: sýra, basa, salt og lífræn hvarfefni.
4. Hár hörku, samningur yfirborð, fínar agnir.
5. Lengri endingartími og endingargóðari
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundvallar eðliseiginleikar CVD SiChúðun | |
| 性质 / Eign | 典型数值 / Dæmigert gildi |
| 晶体结构 / Kristallsbygging | FCC β fasi多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Þéttleiki | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / hörku | 2500 维氏硬度（500g álag） |
| 晶粒大小 / Kornastærð | 2~10μm |
| 纯度 / Chemical Purity | 99,99995% |
| 热容 / Hitageta | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimation Hitastig | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Beygjustyrkur | 415 MPa RT 4 punkta |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt beygja, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ThermalLeiðni | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Hitastækkun (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy er raunverulegur framleiðandi sérsniðinna grafít- og kísilkarbíðvara með mismunandi húðun eins og SiC húðun, TaC húðun, glerkenndri kolefnishúð, hitahreinsandi kolefnishúð o.s.frv., Getur útvegað ýmsa sérsniðna hluta fyrir hálfleiðara- og ljósavirkjaiðnað.
Tækniteymi okkar kemur frá efstu innlendum rannsóknarstofnunum, getur veitt faglegri efnislausnir fyrir þig.
Við þróum stöðugt háþróaða ferla til að útvega fullkomnari efni og höfum unnið að einkaleyfisbundinni tækni sem getur gert tengingu milli húðunar og undirlags þéttari og minna tilhneigingu til að losna.
Verið hjartanlega velkomin að heimsækja verksmiðjuna okkar, við skulum hafa frekari umræður!
