Ahịrị ngwaahịa VET Energy ejedebeghị na wafer silicon. Anyị na-enyekwa ihe dị iche iche nke semiconductor ihe, gụnyere SiC Substrate, SOI Wafer, Sin Substrate, Epi Wafer, wdg, yana ihe ọhụrụ bandgap semiconductor ihe dị ka Gallium Oxide Ga2O3 na AlN Wafer. Ngwaahịa ndị a nwere ike gboo mkpa ngwa nke ndị ahịa dị iche iche na igwe eletrọnịkị ike, ugboro redio, sensọ na mpaghara ndị ọzọ.
Mpaghara ngwa:
•sekit agbakwunyere:Dị ka ihe bụ isi maka nrụpụta sekit agbakwunyere, a na-eji ụdị silicon wafers P-ụdị na sekit mgbagha dị iche iche, ncheta, wdg.
•Ngwaọrụ ike:Enwere ike iji ụdị silicon wafers nke P-mere ngwaọrụ ike dị ka transistor na diodes.
•Ihe mmetụta:Enwere ike iji ụdị silicon wafers ụdị P-emepụta ụdị sensọ dị iche iche, dị ka ihe mmetụta nrụgide, ihe mmetụta okpomọkụ, wdg.
•Mkpụrụ ndụ anyanwụ:P-ụdị silicon wafers bụ akụkụ dị mkpa nke sel anyanwụ.
VET Energy na-enye ndị ahịa ihe ngwọta wafer ahaziri ahazi, ma nwee ike hazie wafers dị iche iche resistivity, ọdịnaya oxygen dị iche iche, ọkpụrụkpụ dị iche iche na nkọwa ndị ọzọ dịka mkpa ndị ahịa siri dị. Tụkwasị na nke ahụ, anyị na-enyekwa nkwado ọrụ ọkachamara ọkachamara na ọrụ ahịa mgbe ọ gasịrị iji nyere ndị ahịa aka dozie nsogbu dị iche iche zutere na usoro mmepụta ihe.
Nkọwapụta WAFERING
*n-Pm=n-ụdị Pm-Grade,n-Ps=n-ụdị Ps-Grade,Sl=Ọkara ala.
Ihe | 8-anụ ọhịa | 6-anụ ọhịa | 4-anụ ọhịa | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Ụta(GF3YFCD)-Uru zuru oke | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR) -10mmx10mm | <2μm | ||||
Wafer Edge | Beveling |
IMEcha elu elu
*n-Pm=n-ụdị Pm-Grade,n-Ps=n-ụdị Ps-Grade,Sl=Ọkara ala.
Ihe | 8-anụ ọhịa | 6-anụ ọhịa | 4-anụ ọhịa | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Emecha elu elu | Akụkụ abụọ Optical Polish, Si- Face CMP | ||||
Ọdịdị elu | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
ibe ibe | Ọnweghị nke ekwenyere (ogologo na obosara≥0.5mm) | ||||
Indents | Ọnweghị nke ekwenyere | ||||
Scratches (Si-Ihu) | Qty.≤5,Nchịkọta | Qty.≤5,Nchịkọta | Qty.≤5,Nchịkọta | ||
Mgbawa | Ọnweghị nke ekwenyere | ||||
Mwepu ihu | 3mm |