Susceptor Barel Dilapisi SiC

Deskripsi Singkat:

VET Energy SiC Coated Barrel Susceptor adalah produk berkinerja tinggi yang dirancang untuk memberikan kinerja yang konsisten dan andal dalam jangka waktu lama. Ia memiliki ketahanan panas yang sangat baik dan keseragaman termal, kemurnian tinggi, ketahanan erosi, menjadikannya solusi sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer.


  • Tempat Asal:Cina
  • Struktur Kristal :fase FCCβ
  • Kepadatan :3,21 gram/cm;
  • Kekerasan:2500 Vicker;
  • Ukuran Butir:2~10μm;
  • Kemurnian Kimia:99,99995%;
  • Kapasitas Panas :640J·kg-1·K-1;
  • Suhu Sublimasi:2700℃;
  • Kekuatan Felekural :415 Mpa (RT 4 Titik);
  • Modulus Muda:430 IPK (tikungan 4pt, 1300℃);
  • Ekspansi Termal (CTE):4,5 10-6K-1;
  • Konduktivitas Termal:300(L/MK);
  • Detail Produk

    Label Produk

    Penerima barel is a kuncikomponen yang digunakan dalam berbagai proses manufaktur semikonduktor.Kami menggunakan teknologi yang kami patenkan untuk membuatreseptor bareldengankemurnian yang sangat tinggi,Baguslapisankeseragamandan kehidupan pelayanan yang sangat baik, sertaketahanan kimia yang tinggi dan sifat stabilitas termal.

    Energi VET adalah ituprodusen nyata produk grafit dan silikon karbida khusus dengan lapisan CVD,dapat menyediakanbermacam-macamsuku cadang yang disesuaikan untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik. Otim teknis Anda berasal dari lembaga penelitian domestik terkemuka, dapat memberikan solusi material yang lebih profesionaluntukmu.

    Kami terus mengembangkan proses lanjutan untuk menyediakan materi yang lebih canggih,Dantelah mengembangkan teknologi eksklusif yang dipatenkan, yang dapat membuat ikatan antara lapisan dan substrat menjadi lebih erat dan tidak mudah terkelupas.

    Ffitur produk kami:

    1. Ketahanan oksidasi suhu tinggi hingga 1700.
    2. Kemurnian tinggi dankeseragaman termal
    3. Ketahanan korosi yang sangat baik: asam, alkali, garam dan reagen organik.
    4. Kekerasan tinggi, permukaan kompak, partikel halus.
    5. Umur pemakaian lebih lama dan lebih tahan lama

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    Sifat fisik dasar CVD SiClapisan

    性质 / Properti

    典型数值 / Nilai Khas

    晶体结构 / Struktur Kristal

    Fase FCC β多晶,主要为(111)取向

    密度 / Kepadatan

    3,21 gram/cm³

    硬度 / Kekerasan

    2500 维氏硬度(beban 500g)

    晶粒大小 / Ukuran Butir

    2~10μm

    纯度 / Kemurnian Kimia

    99,99995%

    热容 / Kapasitas Panas

    640J·kg-1·K-1

    升华温度 / Suhu Sublimasi

    2700℃

    抗弯强度 / Kekuatan Lentur

    415 MPa RT 4 titik

    杨氏模量 / Modulus Muda

    tikungan 430 Gpa 4pt, 1300℃

    导热系数 / TermalakuDaya konduksi

    300W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)

    4,5×10-6K-1

    未标题-1

    1

    2

    Sangat menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik kami, mari berdiskusi lebih lanjut!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户


  • Sebelumnya:
  • Berikutnya:

  • Obrolan Daring WhatsApp!