Suseptor barel untuk LPE epitaksi fase cair
EPI (Epitaksi)adalah proses penting dalam pembuatan semikonduktor canggih. Ini melibatkan pengendapan lapisan tipis material pada substrat untuk membuat struktur perangkat yang kompleks. Susceptor barel grafit berlapis SiC untuk EPI umumnya digunakan sebagai susceptor dalam reaktor EPI karena konduktivitas termalnya yang sangat baik dan ketahanan terhadap suhu tinggi. DenganLapisan CVD-SiC, menjadi lebih tahan terhadap kontaminasi, erosi, dan guncangan termal. Hal ini menghasilkan masa pakai susceptor yang lebih lama dan kualitas film yang lebih baik.
Keuntungan dari susceptor barel kami untuk LPE epitaksi fase cair:
Mengurangi Kontaminasi:Sifat inert SiC mencegah kotoran menempel pada permukaan suseptor, sehingga mengurangi risiko kontaminasi lapisan film yang diendapkan.
Peningkatan Ketahanan Erosi:SiC secara signifikan lebih tahan terhadap erosi dibandingkan grafit konvensional, sehingga umur suseptornya lebih lama.
Peningkatan Stabilitas Termal:SiC memiliki konduktivitas termal yang sangat baik dan dapat menahan suhu tinggi tanpa distorsi yang berarti.
Peningkatan Kualitas Film:Peningkatan stabilitas termal dan pengurangan kontaminasi menghasilkan film yang diendapkan dengan kualitas lebih tinggi dengan keseragaman dan kontrol ketebalan yang lebih baik.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd adalah perusahaan teknologi tinggi yang berfokus pada produksi dan penjualan material canggih kelas atas, material dan teknologi termasuk grafit, silikon karbida, keramik, perawatan permukaan seperti pelapisan SiC, pelapisan TaC, karbon kaca pelapisan, pelapisan karbon pirolitik, dll., produk ini banyak digunakan dalam fotovoltaik, semikonduktor, energi baru, metalurgi, dll.
Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian domestik terkemuka, dan telah mengembangkan berbagai teknologi yang dipatenkan untuk memastikan kinerja dan kualitas produk, juga dapat memberikan solusi material profesional kepada pelanggan.
Kami dengan hangat menyambut Anda untuk mengunjungi laboratorium dan pabrik kami untuk diskusi teknis dan kerja sama!
