SiC ծածկույթ Գրաֆիտ MOCVD վաֆլի կրողներ Susceptors

Կարճ նկարագրություն.

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth-ը բարձր արդյունավետության արտադրանք է, որը նախատեսված է երկարաժամկետ ժամանակահատվածում կայուն և հուսալի աշխատանք ապահովելու համար: Այն ունի սուպեր լավ ջերմակայունություն և ջերմային միատեսակություն, բարձր մաքրություն, էրոզիայի դիմադրություն՝ դարձնելով այն կատարյալ լուծում վաֆլի վերամշակման համար:


Ապրանքի մանրամասն

Ապրանքի պիտակներ

SiC ծածկույթի գրաֆիտ MOCVD Վաֆլի կրիչներ/ընկալիչ

Մեր բոլոր ընկալիչները պատրաստված են բարձր ամրության իզոստատիկ գրաֆիտից: Օգտվեք մեր գրաֆիտների բարձր մաքրությունից, որոնք մշակվել են հատկապես դժվար գործընթացների համար, ինչպիսիք են էպիտաքսիան, բյուրեղների աճը, իոնների իմպլանտացիան և պլազմային փորագրումը, ինչպես նաև LED չիպերի արտադրության համար:

 

Մեր արտադրանքի առանձնահատկությունները.

1. Բարձր ջերմաստիճանի օքսիդացման դիմադրություն մինչև 1700℃:
2. Բարձր մաքրություն և ջերմային միատեսակություն
3. Գերազանց կոռոզիոն դիմադրություն՝ թթու, ալկալի, աղ և օրգանական ռեակտիվներ:

4. Բարձր կարծրություն, կոմպակտ մակերես, նուրբ մասնիկներ:
5. Ավելի երկար ծառայության ժամկետ և ավելի դիմացկուն

CVD SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC-ի հիմնական ֆիզիկական հատկություններըծածկույթ

性质 / Գույք

典型数值 / Տիպիկ արժեք

晶体结构 / Բյուրեղյա կառուցվածք

FCC β փուլ多晶,主要为(111):

密度 / Խտություն

3,21 գ/սմ³

硬度 / Կարծրություն

2500 գրամ (500 գ բեռ)

晶粒大小 / Grain SiZe

2-10 մկմ

纯度 / Քիմիական մաքրություն

99,99995%

热容 / Ջերմային հզորություն

640 J·kg-1· Կ-1

升华温度 / Sublimation Temperature

2700℃

抗弯强度 / Flexural Strength

415 ՄՊա RT 4-բալ

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt թեքում, 1300℃

导热系数 / ԹերմալՀաղորդունակություն

300W·m-1· Կ-1

热膨胀系数 / Ջերմային ընդլայնում (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

VET Energy-ը հարմարեցված գրաֆիտի և սիլիցիումի կարբիդի արտադրանքի իրական արտադրողն է տարբեր ծածկույթներով, ինչպիսիք են SiC ծածկույթը, TaC ծածկույթը, ապակյա ածխածնային ծածկույթը, պիրոլիտիկ ածխածնային ծածկույթը և այլն, կարող է մատակարարել տարբեր հարմարեցված մասեր կիսահաղորդչային և ֆոտոգալվանային արդյունաբերության համար:

Մեր տեխնիկական թիմը գալիս է տեղական առաջատար հետազոտական ​​հաստատություններից, կարող է ձեզ համար ավելի պրոֆեսիոնալ նյութական լուծումներ տրամադրել:

Մենք շարունակաբար զարգացնում ենք առաջադեմ գործընթացներ՝ ավելի առաջադեմ նյութեր տրամադրելու համար և մշակել ենք բացառիկ արտոնագրված տեխնոլոգիա, որը կարող է ծածկույթի և ենթաշերտի միջև կապը դարձնել ավելի ամուր և ավելի քիչ հակված տարանջատման:

Ջերմորեն ողջունում ենք ձեզ այցելել մեր գործարան, եկեք հետագա քննարկենք:

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Նախորդը:
  • Հաջորդը:

  • ՀԱՐԱԿԻՑ ԱՊՐԱՆՔՆԵՐ

    WhatsApp առցանց զրույց!