SiC ծածկույթ/ծածկված գրաֆիտային ենթաշերտ/սկուտեղ կիսահաղորդիչների համար

Կարճ նկարագրություն.

Epitaxial Growth-ի համար VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor-ը բարձր արդյունավետությամբ արտադրանք է, որը նախատեսված է երկարաժամկետ ժամանակահատվածում հետևողական և հուսալի աշխատանք ապահովելու համար: Այն ունի սուպեր լավ ջերմակայունություն և ջերմային միատեսակություն, բարձր մաքրություն, էրոզիայի դիմադրություն՝ դարձնելով այն կատարյալ լուծում վաֆլի վերամշակման համար:


Ապրանքի մանրամասն

Ապրանքի պիտակներ

SiC ծածկույթ/ծածկված գրաֆիտային ընկալիչ կիսահաղորդիչների համար
 
ԱյնSiC ծածկված գրաֆիտային ենթաշերտբարձր դիմացկուն և արդյունավետ լուծում է, որը նախատեսված է կիսահաղորդիչների մշակման արդյունաբերության խիստ պահանջները բավարարելու համար: Հատկանշվում է բարձր մաքրության շերտովսիլիցիումի կարբիդ (SiC) ծածկույթ, այս ենթաշերտը ապահովում է բացառիկ ջերմային կայունություն, օքսիդացման դիմադրություն և երկարատև սպասարկման ժամկետ՝ դարձնելով այն իդեալական MOCVD գործընթացներում, գրաֆիտ վաֆլի կրիչներում և բարձր ջերմաստիճանի այլ միջավայրերում կիրառելու համար:

 Առանձնահատկություններ: 
· Գերազանց ջերմային ցնցումների դիմադրություն
· Գերազանց ֆիզիկական ցնցումների դիմադրություն
· Գերազանց քիմիական դիմադրություն
· Սուպեր բարձր մաքրություն
· Հասանելիություն բարդ ձևով
· Օգտագործվում է օքսիդացող մթնոլորտում

Դիմում:

3

Ապրանքի առանձնահատկությունները և առավելությունները.

1. Բարձրագույն ջերմային դիմադրություն:Բարձր մաքրությամբSiC ծածկույթ, ենթաշերտը դիմակայում է ծայրահեղ ջերմաստիճաններին՝ ապահովելով հետևողական աշխատանք այնպիսի պահանջկոտ միջավայրերում, ինչպիսիք են էպիտաքսիան և կիսահաղորդչային արտադրությունը:

2. Ընդլայնված ամրություն:SiC ծածկված գրաֆիտի բաղադրիչները նախագծված են քիմիական կոռոզիայից և օքսիդացմանը դիմակայելու համար՝ ավելացնելով ենթաշերտի կյանքի տևողությունը՝ համեմատած ստանդարտ գրաֆիտի ենթաշերտերի հետ:

3. Ապակենման պատված գրաֆիտ:-ի եզակի ապակենման կառուցվածքըSiC ծածկույթապահովում է մակերեսի գերազանց կարծրություն՝ նվազագույնի հասցնելով մաշվածությունը բարձր ջերմաստիճանի մշակման ժամանակ:

4. Բարձր մաքրության SiC ծածկույթ:Մեր ենթաշերտը նվազագույն աղտոտվածություն է ապահովում կիսահաղորդչային զգայուն գործընթացներում՝ ապահովելով հուսալիություն այն ճյուղերի համար, որոնք պահանջում են խիստ նյութական մաքրություն:

5. Շուկայի լայն կիրառություն:ԱյնSiC ծածկված գրաֆիտի ընկալիչշուկան շարունակում է աճել, քանի որ մեծանում է առաջադեմ SiC ծածկույթով արտադրանքի պահանջարկը կիսահաղորդչային արտադրության մեջ՝ դիրքավորելով այս ենթաշերտը որպես առանցքային դերակատար ինչպես գրաֆիտի վաֆլի կրիչների շուկայում, այնպես էլ սիլիցիումի կարբիդով պատված գրաֆիտային սկուտեղների շուկայում:

Բազային գրաֆիտի նյութի բնորոշ հատկությունները.

Տեսանելի խտություն: 1,85 գ/սմ3
Էլեկտրական դիմադրողականություն. 11 μΩm
Flexural Strenth: 49 ՄՊա (500 կգֆ/սմ2)
Ափի կարծրություն. 58
Մոխիր: <5 ppm
Ջերմային հաղորդունակություն. 116 Վտ/մԿ (100 կկալ/մժ-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC-ի հիմնական ֆիզիկական հատկություններըծածկույթ

性质 / Սեփականություն

典型数值 / Typical Value

晶体结构 / Crystal Structure

FCC β փուլ 多晶,主要为(111)取向

密度 / Խտություն

3,21 գ/սմ³

硬度 / Կարծրություն

2500 գրամ (500 գ բեռ)

晶粒大小 / Grain SiZe

2-10 մկմ

纯度 / Քիմիական մաքրություն

99,99995%

热容 / Ջերմային հզորություն

640 J·kg-1· Կ-1

升华温度 / Sublimation Temperature

2700℃

抗弯强度 / Flexural Strength

415 ՄՊա RT 4-բալ

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt թեքում, 1300℃

导热系数 / Ջերմային հաղորդունակություն

300W·m-1· Կ-1

热膨胀系数 / Ջերմային ընդլայնում (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

 

 

VET Energy-ը հարմարեցված գրաֆիտի և սիլիցիումի կարբիդի արտադրանքի իրական արտադրողն է տարբեր ծածկույթներով, ինչպիսիք են SiC ծածկույթը, TaC ծածկույթը, ապակյա ածխածնային ծածկույթը, պիրոլիտիկ ածխածնային ծածկույթը և այլն, կարող է մատակարարել տարբեր հարմարեցված մասեր կիսահաղորդչային և ֆոտոգալվանային արդյունաբերության համար:

Մեր տեխնիկական թիմը գալիս է տեղական առաջատար հետազոտական ​​հաստատություններից, կարող է ձեզ համար ավելի պրոֆեսիոնալ նյութական լուծումներ տրամադրել:

Մենք շարունակաբար զարգացնում ենք առաջադեմ գործընթացներ՝ ավելի առաջադեմ նյութեր տրամադրելու համար և մշակել ենք բացառիկ արտոնագրված տեխնոլոգիա, որը կարող է ծածկույթի և ենթաշերտի միջև կապը դարձնել ավելի ամուր և ավելի քիչ հակված տարանջատման:

Ջերմորեն ողջունում ենք ձեզ այցելել մեր գործարան, եկեք հետագա քննարկենք:

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Նախորդը:
  • Հաջորդը:

  • WhatsApp առցանց զրույց!