SiC ծածկույթ/ծածկված գրաֆիտային ենթաշերտ/սկուտեղ կիսահաղորդիչների համար

SiC ծածկույթ/ծածկված գրաֆիտային ենթաշերտ/սկուտեղ կիսահաղորդչային հատկանշական պատկերի համար

Կարճ նկարագրություն:

Epitaxial Growth-ի համար VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor-ը բարձր արդյունավետությամբ արտադրանք է, որը նախատեսված է երկարաժամկետ ժամանակահատվածում հետևողական և հուսալի աշխատանք ապահովելու համար:Այն ունի սուպեր լավ ջերմակայունություն և ջերմային միատեսակություն, բարձր մաքրություն, էրոզիայի դիմադրություն, ինչը այն դարձնում է կատարյալ լուծում վաֆլի մշակման համար:

Նամակ ուղարկեք մեզ Ներբեռնեք որպես PDF

Ապրանքի մանրամասն

Ապրանքի պիտակներ

SiC ծածկույթ/ծածկված գրաֆիտային ընկալիչ կիսահաղորդիչների համար

SiC Coated Graphite Susceptor-ը հիմնական բաղադրիչն է, որն օգտագործվում է կիսահաղորդիչների արտադրության տարբեր գործընթացներում:Մենք օգտագործում ենք մեր արտոնագրված տեխնոլոգիան, որպեսզի պատրաստենք սիլիցիումի կարբիդի կրիչը չափազանց բարձր մաքրությամբ, լավ ծածկույթի միատեսակությամբ և գերազանց ծառայության ժամկետով, ինչպես նաև բարձր քիմիական դիմադրությամբ և ջերմային կայունությամբ:

Հատկություններ:
· Գերազանց ջերմային ցնցումների դիմադրություն
· Գերազանց ֆիզիկական ցնցումների դիմադրություն
· Գերազանց քիմիական դիմադրություն
· Սուպեր բարձր մաքրություն
· Հասանելիություն բարդ ձևով
· Օգտագործվում է օքսիդացող մթնոլորտում

Դիմում:

Բազային գրաֆիտի նյութի բնորոշ հատկությունները.

Տեսանելի խտություն:	1,85 գ/սմ3
Էլեկտրական դիմադրողականություն.	11 μΩm
Flexural Strenth:	49 ՄՊա (500 կգֆ/սմ2)
Ափի կարծրություն.	58
Մոխիր:	<5 ppm
Ջերմային ջերմահաղորդություն:	116 Վտ/մԿ (100 կկալ/մժ-℃)

CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC-ի հիմնական ֆիզիկական հատկություններըծածկույթ
性质 / Գույք	典型数值 / Typical Value
晶体结构 / Crystal Structure	FCC β փուլ 多晶，主要为（111）取向
密度 / Խտություն	3,21 գ/սմ³
硬度 / Կարծրություն	2500 գրամ (500 գ բեռ)
晶粒大小 / Grain SiZe	2-10 մկմ
纯度 / Քիմիական մաքրություն	99,99995%
热容 / Ջերմային հզորություն	640 J·kg^-1· Կ^-1
升华温度 / Sublimation Temperature	2700℃
抗弯强度 / Flexural Strength	415 ՄՊա RT 4-բալ
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt թեքում, 1300℃
导热系数 / Ջերմային հաղորդունակություն	300W·m^-1· Կ^-1
热膨胀系数 / Ջերմային ընդլայնում (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy-ը հարմարեցված գրաֆիտի և սիլիցիումի կարբիդի արտադրանքի իրական արտադրողն է տարբեր ծածկույթներով, ինչպիսիք են SiC ծածկույթը, TaC ծածկույթը, ապակյա ածխածնային ծածկույթը, պիրոլիտիկ ածխածնային ծածկույթը և այլն, կարող է մատակարարել տարբեր հարմարեցված մասեր կիսահաղորդչային և ֆոտոգալվանային արդյունաբերության համար:

Մեր տեխնիկական թիմը գալիս է տեղական առաջատար հետազոտական հաստատություններից, կարող է ձեզ համար ավելի պրոֆեսիոնալ նյութական լուծումներ տրամադրել:

Մենք շարունակաբար զարգացնում ենք առաջադեմ գործընթացներ՝ ավելի առաջադեմ նյութեր տրամադրելու համար և մշակել ենք բացառիկ արտոնագրված տեխնոլոգիա, որը կարող է ծածկույթի և ենթաշերտի միջև կապը դարձնել ավելի ամուր և ավելի քիչ հակված տարանջատման:

Ջերմորեն ողջունում ենք ձեզ այցելել մեր գործարան, եկեք հետագա քննարկենք: