PECVD բեռնման սկուտեղի նստեցման գրաֆիտի սկուտեղ

PECVD բեռնման սկուտեղի նստեցման գրաֆիտային սկուտեղի Առանձնահատուկ պատկեր

Կարճ նկարագրություն.

VET Energy-ի PECVD բեռնման սկուտեղը նախագծված է ապահով և հավասարաչափ աջակցություն ապահովելու վաֆլիներին նստեցման ընթացքում՝ բարելավելով նստեցման գործընթացի հետևողականությունն ու որակը: Իր գերազանց ջերմակայունությամբ գրաֆիտային սկուտեղն օգնում է պահպանել վերահսկվող միջավայր PECVD խցիկների ներսում՝ նվազեցնելով աղտոտման վտանգը և ապահովելով գործընթացի բարձր արդյունավետությունը:

Նամակ ուղարկեք մեզ Ներբեռնեք որպես PDF

Ապրանքի մանրամասն

Ապրանքի պիտակներ

VET Energy PECVD բեռնման սկուտեղը ճշգրիտ կրիչ է, որը նախատեսված է PECVD (պլազմայի ուժեղացված քիմիական գոլորշիների նստեցման) գործընթացի համար: Այս բարձրորակ նստվածքային գրաֆիտի սկուտեղը պատրաստված է բարձր մաքրության, բարձր խտության գրաֆիտից: Այն ունի գերազանց բարձր ջերմաստիճանի դիմադրություն, կոռոզիոն դիմադրություն, ծավալային կայունություն և այլ բնութագրեր: Այն կարող է ապահովել կայուն կրիչի հարթակ PECVD գործընթացի համար և ապահովել ֆիլմի նստվածքի միատեսակությունն ու հարթությունը:

VET Energy PECVD բեռնման սկուտեղները լայնորեն օգտագործվում են կիսահաղորդչային, ֆոտոգալվանային, լուսադիոդային և այլ ոլորտներում: Օրինակ.

▪ Կիսահաղորդիչ. PECVD գործընթաց կիսահաղորդչային նյութերի համար, ինչպիսիք են սիլիկոնային վաֆլիները և էպիտաքսիալ վաֆլիները:

▪ Ֆոտովոլտային. PECVD գործընթաց արևային մարտկոցների բարակ թաղանթների համար:

▪ LED. PECVD գործընթաց LED չիպերի համար:

Ապրանքի առավելությունները

▪Բարելավել ֆիլմի որակը.Ապահովել ֆիլմի միասնական տեղադրումը և բարելավել ֆիլմի որակը:

▪Երկարացնել սարքավորումների կյանքը.Գերազանց կոռոզիոն դիմադրություն, երկարացնում է PECVD սարքավորումների ծառայության ժամկետը:

▪Նվազեցնել արտադրության ծախսերը.Բարձրորակ գրաֆիտի սկուտեղները կարող են նվազեցնել ջարդոնի արագությունը և նվազեցնել արտադրության ծախսերը:

Գրաֆիտային նյութ SGL-ից.

Տիպիկ պարամետր՝ R6510
Ցուցանիշ	Փորձարկման ստանդարտ	Արժեք	Միավոր
Հացահատիկի միջին չափը	ISO 13320	10	մկմ
Զանգվածային խտություն	DIN IEC 60413/204	1.83	գ/սմ³
Բաց ծակոտկենություն	DIN66133	10	%
Միջին ծակոտի չափը	DIN66133	1.8	մկմ
թափանցելիություն	DIN 51935	0.06	սմ²/վրկ
Rockwell կարծրություն HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Հատուկ էլեկտրական դիմադրողականություն	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Ճկման ուժ	DIN IEC 60413/501	60	ՄՊա
Սեղմման ուժը	DIN 51910	130	ՄՊա
Յանգի մոդուլը	DIN 51915	11,5×10³	ՄՊա
Ջերմային ընդլայնում (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Ջերմային հաղորդունակություն (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Այն հատուկ նախագծված է բարձր արդյունավետությամբ արևային մարտկոցների արտադրության համար՝ աջակցելով G12 մեծ չափի վաֆլի մշակմանը: Օպտիմիզացված կրիչի դիզայնը զգալիորեն մեծացնում է թողունակությունը՝ հնարավորություն տալով ավելի բարձր եկամտաբերության և արտադրության ավելի ցածր ծախսերի:

Նյութ	Տեսակ	Համարների վաֆլի կրիչ
PEVCD Grephite նավակ - 156 սերիա	156-13 գրեֆիտ նավակ	144
	156-19 գրեֆիտային նավակ	216
	156-21 գրեֆիտային նավակ	240
	156-23 գրաֆիտ նավակ	308 թ
PEVCD Grephite նավակ - 125 սերիա	125-15 գրեֆիտ նավակ	196
	125-19 գրեֆիտ նավակ	252
	125-21 գրֆիտե նավակ	280 թ