Գրաֆիտային ենթաշերտի վաֆլի պահող PECVD-ի համար

Գրաֆիտային ենթաշերտի վաֆլի պահող PECVD ընդգծված պատկերի համար

Կարճ նկարագրություն.

VET Energy's Graphite Substrate Holder-ը նախագծված է PECVD գործընթացի ընթացքում վաֆլի հավասարեցվածությունը և կայունությունը պահպանելու համար՝ կանխելով աղտոտումը և նվազագույնի հասցնելով վնասների ռիսկը: Գրաֆիտային վաֆլի պահողը ապահովում է անվտանգ, հարթ հարթակ՝ ապահովելով, որ վաֆլիները հավասարապես ենթարկվում են պլազմայի՝ հետևողական և բարձրորակ նստվածքի համար: Իր բարձր ջերմային հաղորդունակությամբ և բացառիկ ուժով այս ամրակն օգնում է բարելավել գործընթացի ընդհանուր արդյունավետությունը և արտադրանքի արդյունավետությունը:

Նամակ ուղարկեք մեզ Ներբեռնեք որպես PDF

Ապրանքի մանրամասն

Ապրանքի պիտակներ

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder-ը ճշգրիտ կրիչ է, որը նախատեսված է PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) գործընթացի համար: Այս բարձրորակ գրաֆիտային ենթաշերտի կրիչը պատրաստված է բարձր մաքրության, բարձր խտության գրաֆիտի նյութից՝ գերազանց բարձր ջերմաստիճանի դիմադրությամբ, կոռոզիոն դիմադրությամբ, ծավալային կայունությամբ և այլ բնութագրերով: Այն կարող է ապահովել կայուն աջակցության հարթակ PECVD գործընթացի համար և ապահովել ֆիլմի նստվածքի միատեսակությունն ու հարթությունը:

VET Energy PECVD գործընթացի գրաֆիտային վաֆլի աջակցության աղյուսակը ունի հետևյալ բնութագրերը.

▪Բարձր մաքրություն.չափազանց ցածր կեղտոտ պարունակություն, խուսափել ֆիլմի աղտոտումից, ապահովել ֆիլմի որակը:

▪Բարձր խտություն.բարձր խտություն, բարձր մեխանիկական ուժ, կարող է դիմակայել բարձր ջերմաստիճանի և բարձր ճնշման PECVD միջավայրին:

▪Լավ ծավալային կայունություն.փոքր չափերի փոփոխություն բարձր ջերմաստիճանում՝ ապահովելով գործընթացի կայունությունը։

▪Գերազանց ջերմային հաղորդունակություն.արդյունավետորեն փոխանցել ջերմությունը՝ կանխելու վաֆլի գերտաքացումը:

▪Ուժեղ կոռոզիոն դիմադրություն.կարող է դիմակայել տարբեր քայքայիչ գազերի և պլազմայի էրոզիային:

▪Անհատականացված ծառայություն.Տարբեր չափերի և ձևերի գրաֆիտի աջակցության սեղանները կարող են հարմարեցվել հաճախորդի կարիքներին համապատասխան:

Ապրանքի առավելությունները

▪Բարելավել ֆիլմի որակը.Ապահովել ֆիլմի միասնական տեղադրումը և բարելավել ֆիլմի որակը:

▪Երկարացնել սարքավորումների կյանքը.Գերազանց կոռոզիոն դիմադրություն, երկարացնում է PECVD սարքավորումների ծառայության ժամկետը:

▪Նվազեցնել արտադրության ծախսերը.Բարձրորակ գրաֆիտի սկուտեղները կարող են նվազեցնել ջարդոնի արագությունը և նվազեցնել արտադրության ծախսերը:

Գրաֆիտային նյութ SGL-ից.

Տիպիկ պարամետր՝ R6510
Ցուցանիշ	Փորձարկման ստանդարտ	Արժեք	Միավոր
Հացահատիկի միջին չափը	ISO 13320	10	մկմ
Զանգվածային խտություն	DIN IEC 60413/204	1.83	գ/սմ³
Բաց ծակոտկենություն	DIN66133	10	%
Միջին ծակոտի չափը	DIN66133	1.8	մկմ
թափանցելիություն	DIN 51935	0.06	սմ²/վրկ
Rockwell կարծրություն HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Հատուկ էլեկտրական դիմադրողականություն	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Ճկման ուժ	DIN IEC 60413/501	60	ՄՊա
Սեղմման ուժը	DIN 51910	130	ՄՊա
Յանգի մոդուլը	DIN 51915	11,5×10³	ՄՊա
Ջերմային ընդլայնում (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Ջերմային հաղորդունակություն (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Այն հատուկ նախագծված է բարձր արդյունավետությամբ արևային մարտկոցների արտադրության համար՝ աջակցելով G12 մեծ չափի վաֆլի մշակմանը: Օպտիմիզացված կրիչի դիզայնը զգալիորեն մեծացնում է թողունակությունը՝ հնարավորություն տալով ավելի բարձր եկամտաբերության և արտադրության ավելի ցածր ծախսերի:

Նյութ	Տեսակ	Համարների վաֆլի կրիչ
PEVCD Grephite նավակ - 156 սերիա	156-13 գրեֆիտ նավակ	144
	156-19 գրեֆիտային նավակ	216
	156-21 գրեֆիտային նավակ	240
	156-23 գրաֆիտ նավակ	308 թ
PEVCD Grephite նավակ - 125 սերիա	125-15 գրեֆիտ նավակ	196
	125-19 գրեֆիտ նավակ	252
	125-21 գրֆիտե նավակ	280 թ