PECVD Գրաֆիտ Վաֆլի Աջակցություն

Կարճ նկարագրություն.

Նախագծված ճշգրտության և կատարողականության համար՝ VET Energy-ի Graphite Wafer Support-ը իդեալական նյութ է վաֆլի առաջադեմ մշակման մեջ օգտագործելու համար, որտեղ բարձր ջերմային կայունությունը և հետևողական կատարումը կարևոր են: Անկախ նրանից, թե դուք աշխատում եք կիսահաղորդչային վաֆլիների կամ այլ նուրբ ենթաշերտերի հետ, այս բարձրորակ գրաֆիտային աջակցությունը կբարձրացնի ձեր գործընթացի հուսալիությունը և արտադրանքի որակը՝ այն դարձնելով անփոխարինելի բաղադրիչ ժամանակակից արտադրության համար:

Նամակ ուղարկեք մեզ Ներբեռնեք որպես PDF

Ապրանքի մանրամասն

Ապրանքի պիտակներ

VET Energy PECVD գործընթացի գրաֆիտային վաֆլի աջակցությունը միջուկային սպառվող նյութ է, որը նախատեսված է PECVD (պլազմայի ուժեղացված քիմիական գոլորշիների նստեցման) գործընթացի համար: Այս ապրանքը պատրաստված է բարձր մաքրության, բարձր խտության գրաֆիտից, գերազանց բարձր ջերմաստիճանի դիմադրությամբ, կոռոզիոն դիմադրությամբ, ծավալային կայունությամբ և այլ բնութագրերով, կարող է կայուն աջակցության հարթակ ապահովել PECVD գործընթացի համար՝ ապահովելու ֆիլմի նստվածքի միատեսակությունն ու հարթությունը:

VET Energy գրաֆիտային վաֆլի աջակցության «գրաֆիտային աջակցություն» ձևավորումը կարող է ոչ միայն արդյունավետորեն աջակցել վաֆլիին, այլև ապահովել ջերմային կայունություն բարձր ջերմաստիճանի և բարձր ճնշման PECVD միջավայրում՝ ապահովելու գործընթացի կայունությունը:

VET Energy PECVD գործընթացի գրաֆիտային վաֆլի աջակցությունն ունի հետևյալ բնութագրերը.

▪Բարձր մաքրություն.չափազանց ցածր կեղտոտ պարունակություն, խուսափեք ֆիլմի աղտոտումից, ֆիլմի որակն ապահովելու համար:

▪Բարձր խտություն.բարձր խտություն, բարձր մեխանիկական ուժ, կարող է դիմակայել բարձր ջերմաստիճանի և բարձր ճնշման PECVD միջավայրին:

▪Լավ ծավալային կայունություն.փոքր չափերի փոփոխություններ բարձր ջերմաստիճանում՝ գործընթացի կայունությունն ապահովելու համար:

▪Գերազանց ջերմային հաղորդունակություն.արդյունավետորեն փոխանցել ջերմությունը՝ կանխելու վաֆլի գերտաքացումը:

▪Ուժեղ կոռոզիոն դիմադրություն.Կարող է դիմակայել տարբեր քայքայիչ գազերի և պլազմայի էրոզիային:

▪Անհատականացված ծառայություն.Տարբեր չափերի և ձևերի գրաֆիտային աջակցության սեղանները կարող են հարմարեցվել հաճախորդի կարիքներին համապատասխան:

Գրաֆիտային նյութ SGL-ից.

Տիպիկ պարամետր՝ R6510
Ցուցանիշ	Փորձարկման ստանդարտ	Արժեք	Միավոր
Հացահատիկի միջին չափը	ISO 13320	10	մկմ
Զանգվածային խտություն	DIN IEC 60413/204	1.83	գ/սմ³
Բաց ծակոտկենություն	DIN66133	10	%
Միջին ծակոտի չափը	DIN66133	1.8	մկմ
թափանցելիություն	DIN 51935	0.06	սմ²/վրկ
Rockwell կարծրություն HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Հատուկ էլեկտրական դիմադրողականություն	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Ճկման ուժ	DIN IEC 60413/501	60	ՄՊա
Սեղմման ուժը	DIN 51910	130	ՄՊա
Յանգի մոդուլը	DIN 51915	11,5×10³	ՄՊա
Ջերմային ընդլայնում (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Ջերմային հաղորդունակություն (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Այն հատուկ նախագծված է բարձր արդյունավետությամբ արևային մարտկոցների արտադրության համար՝ աջակցելով G12 մեծ չափի վաֆլի մշակմանը: Օպտիմիզացված կրիչի դիզայնը զգալիորեն մեծացնում է թողունակությունը՝ հնարավորություն տալով ավելի բարձր եկամտաբերության և արտադրության ավելի ցածր ծախսերի:

Նյութ	Տեսակ	Համարների վաֆլի կրիչ
PEVCD Grephite նավակ - 156 սերիա	156-13 գրեֆիտ նավակ	144
	156-19 գրեֆիտային նավակ	216
	156-21 գրեֆիտային նավակ	240
	156-23 գրաֆիտ նավակ	308 թ
PEVCD Grephite նավակ - 125 սերիա	125-15 գրեֆիտ նավակ	196
	125-19 գրեֆիտ նավակ	252
	125-21 գրֆիտե նավակ	280 թ