Jellemzők:
· Kiváló hőütésállóság
· Kiváló fizikai ütésállóság
· Kiváló vegyszerállóság
· Szuper nagy tisztaságú
· Elérhetőség összetett formában
· Használható oxidáló atmoszférában
Alkalmazás:
A termék jellemzői és előnyei:
1. Kiváló hőállóság:Nagy tisztaságúSiC bevonat, a hordozó ellenáll a szélsőséges hőmérsékleteknek, egyenletes teljesítményt biztosítva olyan igényes környezetben, mint az epitaxia és a félvezető gyártás.
2. Fokozott tartósság:A SiC bevonatú grafit alkatrészeket úgy tervezték, hogy ellenálljanak a kémiai korróziónak és oxidációnak, megnövelve az aljzat élettartamát a szabványos grafithordozókhoz képest.
3. Üveges bevonatú grafit:Az egyedülálló üvegtest szerkezet aSiC bevonatkiváló felületi keménységet biztosít, minimálisra csökkenti a kopást és szakadást a magas hőmérsékletű feldolgozás során.
4. Nagy tisztaságú SiC bevonat:Szubsztrátumunk minimális szennyeződést biztosít az érzékeny félvezető eljárásokban, megbízhatóságot kínálva a szigorú anyagtisztaságot igénylő iparágak számára.
5. Széles piaci alkalmazás:ASiC bevonatú grafit szuszceptorA piac tovább növekszik, ahogy a félvezetőgyártásban növekszik a fejlett SiC bevonatú termékek iránti kereslet, így ez a szubsztrátum kulcsszerepet játszik mind a grafit lapkahordozók, mind a szilícium-karbid bevonatú grafittálcák piacán.
A grafit alapanyag tipikus tulajdonságai:
| Látszólagos sűrűség: | 1,85 g/cm3 |
| Elektromos ellenállás: | 11 μΩm |
| Hajlítási szilárdság: | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
| Shore keménység: | 58 |
| Hamu: | <5 ppm |
| Hővezetőképesség: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
| CVD SiC薄膜基本物理性能 A CVD SiC alapvető fizikai tulajdonságaibevonat | |
| 性质 / Property | 典型数值 / Tipikus érték |
| 晶体结构 / Crystal Structure | FCC β fázis 多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Sűrűség | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Keménység | 2500 维氏硬度 (500 g-os töltet) |
| 晶粒大小 / Grain Size | 2-10 μm |
| 纯度 / Kémiai tisztaság | 99,99995% |
| 热容 / hőkapacitás | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Szublimációs hőmérséklet | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Hajlítóerő | 415 MPa RT 4 pontos |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃ |
| 导热系数 / Hővezetőképesség | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Thermal Expansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
A VET Energy a személyre szabott grafit és szilícium-karbid termékek valódi gyártója különböző bevonatokkal, például SiC bevonattal, TaC bevonattal, üveges szénbevonattal, pirolitikus szénbevonattal stb., Különféle testreszabott alkatrészeket szállíthat a félvezető- és fotovoltaikus ipar számára.
Technikai csapatunk a legjobb hazai kutatóintézetekből érkezik, professzionálisabb anyagmegoldásokat tud nyújtani Önnek.
Folyamatosan fejlesztünk fejlett eljárásokat, hogy még fejlettebb anyagokat biztosítsunk, és kidolgoztunk egy exkluzív, szabadalmaztatott technológiát, amely szorosabbá és kevésbé leválóvá teheti a bevonat és az aljzat közötti kötést.
Szeretettel üdvözöljük, hogy látogassa meg gyárunkat, beszéljünk tovább!
