SiC bevonat/bevonatos grafit hordozó/tálca félvezetőhöz

Rövid leírás:

A VET Energy SiC bevonatú grafit szuszceptor az epitaxiális növekedéshez egy nagy teljesítményű termék, amelyet úgy terveztek, hogy állandó és megbízható teljesítményt nyújtson hosszabb ideig.Szuper jó hőállósággal és termikus egyenletességgel, nagy tisztasággal, erózióállósággal rendelkezik, így tökéletes megoldás az ostyafeldolgozási alkalmazásokhoz.


Termék leírás

Termékcímkék

SiC bevonat/bevonat grafit szuszceptor félvezetőhöz
 
A SiC bevonatú grafit szuszceptor kulcsfontosságú alkatrész, amelyet különféle félvezető-gyártási folyamatokban használnak.Szabadalmaztatott technológiánkkal készítjük a szilícium-karbid hordozót rendkívül nagy tisztasággal, jó bevonategyenletességgel és kiváló élettartammal, valamint magas vegyszerállóságú és hőstabilitási tulajdonságokkal.

 Jellemzők: 
· Kiváló hőütésállóság
· Kiváló fizikai ütésállóság
· Kiváló vegyszerállóság
· Szuper nagy tisztaságú
· Elérhetőség összetett formában
· Használható oxidáló atmoszférában

Alkalmazás:

3

A grafit alapanyag tipikus tulajdonságai:

Látszólagos sűrűség: 1,85 g/cm3
Elektromos ellenállás: 11 μΩm
Hajlítási szilárdság: 49 MPa (500 kgf/cm2)
Shore keménység: 58
Hamu: <5 ppm
Hővezető: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

A CVD SiC alapvető fizikai tulajdonságaibevonat

性质 / Property

典型数值 / Tipikus érték

晶体结构 / Crystal Structure

FCC β fázis 多晶,主要为(111)取向

密度 / Sűrűség

3,21 g/cm³

硬度 / Keménység

2500 维氏硬度 (500 g-os töltet)

晶粒大小 / Grain Size

2-10 μm

纯度 / Kémiai tisztaság

99,99995%

热容 / hőkapacitás

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Szublimációs hőmérséklet

2700 ℃

抗弯强度 / Hajlítóerő

415 MPa RT 4 pontos

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃

导热系数 / Hővezetőképesség

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Thermal Expansion (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

 

A VET Energy a személyre szabott grafit és szilícium-karbid termékek valódi gyártója különböző bevonatokkal, például SiC bevonattal, TaC bevonattal, üveges szénbevonattal, pirolitikus szénbevonattal stb., Különféle testreszabott alkatrészeket szállíthat a félvezető- és fotovoltaikus ipar számára.

Technikai csapatunk a legjobb hazai kutatóintézetekből érkezik, professzionálisabb anyagmegoldásokat tud nyújtani Önnek.

Folyamatosan fejlesztünk fejlett eljárásokat, hogy még fejlettebb anyagokat biztosítsunk, és kidolgoztunk egy exkluzív, szabadalmaztatott technológiát, amely szorosabbá és kevésbé leválóvá teheti a bevonat és az aljzat közötti kötést.

Szeretettel üdvözöljük, hogy látogassa meg gyárunkat, beszéljünk tovább!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Előző:
  • Következő:

  • WhatsApp online csevegés!