Szilícium-karbid epitaxiális lemeztálca félvezető epitaxiális kemencéhez

Rövid leírás:

A VET Energy szilícium-karbid epitaxiális laptálca egy nagy teljesítményű termék, amelyet úgy terveztek, hogy egyenletes és megbízható teljesítményt nyújtson hosszabb ideig. Szuper jó hőállósággal és termikus egyenletességgel, nagy tisztasággal, erózióállósággal rendelkezik, így tökéletes megoldás az ostyafeldolgozási alkalmazásokhoz.

Küldjön e-mailt nekünk Letöltés PDF formátumban

Termék részletek

Termékcímkék

A szilícium-karbid lemeztálca a különböző félvezető-gyártási folyamatok kulcsfontosságú eleme. Szabadalmaztatott technológiánkkal készítjük a szilícium-karbid lemeztálcát rendkívül nagy tisztasággal, jó bevonategyenletességgel és kiváló élettartammal, valamint magas vegyszerállósági és hőstabilitási tulajdonságokkal.

A VET Energy a személyre szabott grafit és szilícium-karbid termékek valódi gyártója különböző bevonatokkal, mint például SiC, Tac, pirolitikus szén, üveges szén stb., Különféle testreszabott alkatrészeket szállíthat a félvezető- és fotovoltaikus ipar számára. Technikai csapatunk a legjobb hazai kutatóintézetekből érkezik, professzionálisabb anyagmegoldásokat tud nyújtani Önnek.

Folyamatosan fejlesztünk fejlett eljárásokat, hogy még fejlettebb anyagokat biztosítsunk, és kidolgoztunk egy exkluzív, szabadalmaztatott technológiát, amely szorosabbá és kevésbé leválóvá teheti a bevonat és az aljzat közötti kötést.

Termékeink jellemzői:

1. Magas hőmérsékletű oxidációállóság 1700 ℃-ig.
2. Nagy tisztaságú és termikus egyenletesség
3. Kiváló korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
4. Nagy keménység, tömör felület, finom részecskék.
5. Hosszabb élettartam és tartósabb

CVD SiC薄膜基本物理性能 A CVD SiC alapvető fizikai tulajdonságaibevonat
性质 / Ingatlan	典型数值 / Tipikus érték
晶体结构 / Kristályszerkezet	FCC β fázis多晶，主要为（111）取向
密度 / Sűrűség	3,21 g/cm³
硬度 / Keménység	2500 维氏硬度 (500 g töltet)
晶粒大小 / Grain Size	2~10μm
纯度 / Kémiai tisztaság	99,99995%
热容 / Hőkapacitás	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Szublimációs hőmérséklet	2700 ℃
抗弯强度 / Hajlítóerő	415 MPa RT 4 pontos
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃
导热系数 / ThermalVezetőképesség	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Hőtágulás (CTE)	4,5×10^-6K^-1