SiC presvučen grafitnim nosačem / susceptorom

Kratki opis:

VET Energy Graphite Carrite/Susceptor presvučen SiC-om proizvod je visokih performansi dizajniran da pruži dosljednu i pouzdanu izvedbu tijekom duljeg razdoblja.Ima super dobru otpornost na toplinu i toplinsku ujednačenost, visoku čistoću, otpornost na eroziju, što ga čini savršenim rješenjem za aplikacije obrade pločica.

Pošaljite nam e-poštu Preuzmite kao PDF

Pojedinosti o proizvodu

Oznake proizvoda

Suscetpor obložen SiC ključna je komponenta koja se koristi u različitim procesima proizvodnje poluvodiča.Koristimo našu patentiranu tehnologiju za izradu suscetpora obloženog SiC-om izuzetno visoke čistoće, dobre ujednačenosti premaza i izvrsnog vijeka trajanja, kao i visoke kemijske otpornosti i svojstava toplinske stabilnosti.

Značajke naših proizvoda:

1. Visokotemperaturna otpornost na oksidaciju do 1700 ℃.
2. Visoka čistoća i toplinska ujednačenost
3. Izvrsna otpornost na koroziju: kiseline, lužine, soli i organski reagensi.
4. Visoka tvrdoća, kompaktna površina, fine čestice.
5. Duži radni vijek i izdržljiviji

KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovna fizikalna svojstva CVD SiCpremazivanje
性质 / Vlasništvo	典型数值 / Tipična vrijednost
晶体结构 / Kristalna struktura	FCC β faza多晶，主要为（111）取向
密度 / Gustoća	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdoća	2500 维氏硬度（500g opterećenja）
晶粒大小 / Veličina zrna	2~10 μm
纯度 / Kemijska čistoća	99,99995%
热容 / Kapacitet topline	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacije	2700 ℃
抗弯强度 / Čvrstoća na savijanje	415 MPa RT 4 točke
杨氏模量 / Youngov modul	430 Gpa 4pt zavoj, 1300 ℃
导热系数 / ThermalProvodljivost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Toplinska ekspanzija (CTE)	4,5×10^-6K^-1