Detaljno je objašnjena unutarnja struktura cijevne opreme peći

Kao što je gore prikazano, tipično je

Prvo poluvrijeme:

▪ Grijaći element (grijaća spirala):

smješten oko cijevi peći, obično izrađen od otpornih žica, koristi se za zagrijavanje unutrašnjosti cijevi peći.

▪ Kvarcna cijev:

Jezgra vruće oksidacijske peći, izrađena od kvarca visoke čistoće koji može izdržati visoke temperature i ostati kemijski inertan.

▪ Dovod plina:

Smješten na gornjem ili bočnom dijelu cijevi peći, koristi se za transport kisika ili drugih plinova u unutrašnjost cijevi peći.

▪ SS prirubnica:

komponente koje spajaju kvarcne cijevi i plinovode, osiguravajući nepropusnost i stabilnost veze.

▪ Dovodni vodovi plina:

Cijevi koje povezuju MFC s priključkom za opskrbu plinom za prijenos plina.

▪ MFC (kontroler protoka mase):

Uređaj koji kontrolira protok plina unutar kvarcne cijevi kako bi se precizno regulirala potrebna količina plina.

▪ Otvor:

Koristi se za odzračivanje ispušnog plina iz unutrašnjosti cijevi peći prema van opreme.

Donji dio:

▪ Silikonske pločice u držaču:

Silikonske pločice smještene su u poseban držač kako bi se osigurala ravnomjerna toplina tijekom oksidacije.

▪ Držač oblatni:

Koristi se za držanje silikonske pločice i osigurava da silikonska pločica ostane stabilna tijekom procesa.

▪ Postolje:

Struktura koja drži držač silikonske pločice, obično izrađena od materijala otpornog na visoke temperature.

▪ Dizalo:

Koristi se za podizanje držača pločica u i iz kvarcnih cijevi za automatsko punjenje i pražnjenje silicijskih pločica.

▪ Robot za prijenos oblati:

koji se nalazi sa strane uređaja cijevi peći, koristi se za automatsko uklanjanje silicijske pločice iz kutije i postavljanje u cijev peći ili uklanjanje nakon obrade.

▪ Vrtuljak za pohranu kaseta:

Vrtuljak za pohranu kaseta koristi se za pohranjivanje kutije sa silikonskim pločicama i može se rotirati za pristup robotu.

▪ Kaseta za vafle:

kazeta s pločicama koristi se za pohranjivanje i prijenos silicijevih pločica za obradu.