Kao što je gore prikazano, tipično je
Prvo poluvrijeme:
Grijaći element (grijaća zavojnica): smješten oko cijevi peći, obično izrađen od otpornih žica, koristi se za zagrijavanje unutrašnjosti cijevi peći.
Kvarcna cijev: jezgra vruće oksidacijske peći, izrađena od kvarca visoke čistoće koji može izdržati visoke temperature i ostati kemijski inertan.
Dovod plina: nalazi se na gornjem ili bočnom dijelu cijevi peći, koristi se za prijenos kisika ili drugih plinova u unutrašnjost cijevi peći.
SS prirubnica: komponente koje spajaju kvarcne cijevi i plinovode, osiguravajući nepropusnost i stabilnost spoja.
Cijevi za dovod plina: Cijevi koje povezuju MFC s priključkom za opskrbu plinom za prijenos plina.
MFC (Kontroler masenog protoka): uređaj koji kontrolira protok plina unutar kvarcne cijevi kako bi se precizno regulirala potrebna količina plina.
Otvor: Koristi se za odzračivanje ispušnog plina iz unutrašnjosti cijevi peći prema van opreme.
Niži dio
Silikonske pločice u držaču: Silikonske pločice smještene su u posebnom držaču kako bi se osigurala ravnomjerna toplina tijekom oksidacije.
Držač pločice: Koristi se za držanje silikonske pločice i osigurava da silikonska pločica ostane stabilna tijekom procesa.
Postolje: Struktura koja drži držač silikonske pločice, obično izrađena od materijala otpornog na visoke temperature.
Dizalo: Koristi se za podizanje držača pločica u i iz kvarcnih cijevi za automatsko punjenje i pražnjenje silicijskih pločica.
Robot za prijenos pločica: nalazi se sa strane uređaja cijevi peći, koristi se za automatsko uklanjanje silikonske pločice iz kutije i postavljanje u cijev peći ili uklanjanje nakon obrade.
Vrtuljak za pohranu kazeta: vrtuljak za pohranu kazeta koristi se za pohranjivanje kutije sa silikonskim pločicama i može se rotirati za pristup robotu.
Kaseta s pločicama: kazeta s pločicama koristi se za pohranjivanje i prijenos silicijskih pločica za obradu.
Vrijeme objave: 22. travnja 2024