GaN na SiC ploči od 4 inča

Kratki opis:

VET Energy 4-inčna GaN na SiC pločica je revolucionarni proizvod u području energetske elektronike. Ova pločica kombinira izvrsnu toplinsku vodljivost silicij karbida (SiC) s velikom gustoćom snage i malim gubicima galij nitrida (GaN), što je čini idealnim izborom za izradu visokofrekventnih uređaja velike snage. VET Energy osigurava izvrsne performanse i konzistentnost pločice putem napredne MOCVD epitaksijalne tehnologije.

Pošaljite nam e-poštu Preuzmite kao PDF

Pojedinosti o proizvodu

Oznake proizvoda

Linija proizvoda VET Energy nije ograničena na GaN na SiC pločicama. Također pružamo širok raspon poluvodičkih materijala za supstrat, uključujući Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN supstrat, Epi Wafer, itd. Osim toga, također aktivno razvijamo nove širokopojasne poluvodičke materijale, kao što su galijev oksid Ga2O3 i AlN Wafer, kako bi se zadovoljila buduća potražnja industrije energetske elektronike za uređajima viših performansi.

VET Energy pruža fleksibilne usluge prilagodbe i može prilagoditi GaN epitaksijalne slojeve različitih debljina, različite vrste dopinga i različite veličine pločica prema specifičnim potrebama kupaca. Osim toga, također pružamo profesionalnu tehničku podršku i usluge nakon prodaje kako bismo pomogli kupcima da brzo razviju visokoučinkovite energetske elektroničke uređaje.

SPECIFIKACIJE VAFELA

*n-Pm=n-tip Pm-razred,n-Ps=n-tip Ps-razred,Sl=polu-izolacijski

Artikal	8-inčni	6-inčni			4 inča
Artikal	nP	n-Pm	n-Ps	SI	SI
TTV (GBIR)	≤6um	≤6um
Luk (GF3YFCD) - apsolutna vrijednost	≤15 μm	≤15 μm	≤25μm		≤15 μm
Iskrivljenje (GF3YFER)	≤25μm	≤25μm	≤40μm		≤25μm
LTV(SBIR)-10mmx10mm	<2μm
Wafer Edge	Košenje

POVRŠINSKA OBRADA

*n-Pm=n-tip Pm-razred,n-Ps=n-tip Ps-razred,Sl=polu-izolacijski

Artikal	8-inčni	6-inčni			4 inča
	nP	n-Pm	n-Ps	SI	SI
Površinska obrada	Dvostrano optičko poliranje, Si-Face CMP
Hrapavost površine	(10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm C-lice Ra≤ 0,5 nm			(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm C-lice Ra≤0,5nm
Rubni čipovi	Nije dopušteno (duljina i širina≥0,5 mm)
Uvlake	Nije dopušteno
Ogrebotine (Si-Face)	Kol.≤5,Kumulativno Duljina≤0,5×promjer pločice	Kol.≤5,Kumulativno Duljina≤0,5×promjer pločice			Kol.≤5,Kumulativno Duljina≤0,5×promjer pločice
Pukotine	Nije dopušteno
Isključivanje rubova	3 mm