एपिटैक्सियल एपी ग्रेफाइट बैरल ससेप्टर

एपिटैक्सियल एपी ग्रेफाइट बैरल ससेप्टर

एपिटैक्सियल एपी ग्रेफाइट बैरल ससेप्टरएक विशेष रूप से डिज़ाइन किया गया समर्थन और हीटिंग उपकरण है जिसका उपयोग डिपोजिशन या एपिटैक्सी प्रक्रियाओं जैसी विनिर्माण प्रक्रियाओं के दौरान सेमीकंडक्टर सब्सट्रेट्स को पकड़ने और गर्म करने के लिए किया जाता है।

इसकी संरचना आम तौर पर बेलनाकार या थोड़ा बैरल के आकार की होती है, सतह में वेफर्स रखने के लिए कई पॉकेट या प्लेटफ़ॉर्म होते हैं, यह हीटिंग विधि के आधार पर ठोस या खोखला डिज़ाइन हो सकता है।

एपीटैक्सियल बैरल ससेप्टर के मुख्य कार्य:

-सब्सट्रेट समर्थन: कई सेमीकंडक्टर वेफर्स को सुरक्षित रूप से रखता है;
-हीट स्रोत: हीटिंग के माध्यम से विकास के लिए आवश्यक उच्च तापमान प्रदान करता है;
-तापमान की एकरूपता: सबस्ट्रेट्स का एक समान ताप सुनिश्चित करता है;
-रोटेशन: तापमान और गैस वितरण एकरूपता में सुधार के लिए आमतौर पर विकास के दौरान घूमता है।

एपी ग्रेफाइट बैरल ससेप्टर का कार्य सिद्धांत:
- एपिटैक्सियल रिएक्टर में, बैरल ससेप्टर को आवश्यक तापमान (आमतौर पर सिलिकॉन एपिटेक्सी के लिए 1000℃-1200℃) तक गर्म किया जाता है;
-समान तापमान वितरण और गैस प्रवाह सुनिश्चित करने के लिए बैरल ससेप्टर घूमता है;
-रिएक्शन गैसें उच्च तापमान पर विघटित हो जाती हैं, जिससे सब्सट्रेट सतह पर एपिटैक्सियल परतें बन जाती हैं।

अनुप्रयोग:
-मुख्य रूप से सिलिकॉन एपिटैक्सियल विकास के लिए उपयोग किया जाता है
-GaAs, InP, आदि जैसे अन्य अर्धचालक सामग्रियों के एपिटेक्सी के लिए भी लागू।

वीईटी एनर्जी रासायनिक स्थिरता को बढ़ाने के लिए सीवीडी-एसआईसी कोटिंग के साथ उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट का उपयोग करती है:

वीईटी एनर्जी एपिटैक्सियल एपि ग्रेफाइट बैरल ससेप्टर के फायदे:

-उच्च तापमान स्थिरता;
-अच्छी तापीय एकरूपता;
-एक साथ कई सबस्ट्रेट्स को संसाधित कर सकते हैं, जिससे उत्पादन दक्षता में सुधार होगा;
-रासायनिक रूप से निष्क्रिय, उच्च शुद्धता वाले विकास वातावरण को बनाए रखना।