तरल चरण एपिटैक्सी एलपीई के लिए बैरल ससेप्टर

तरल चरण एपिटेक्सी एलपीई के लिए बैरल सुसेप्टर

ईपीआई (एपिटेक्सी)उन्नत अर्धचालकों के निर्माण में एक महत्वपूर्ण प्रक्रिया है। इसमें जटिल उपकरण संरचनाएं बनाने के लिए सब्सट्रेट पर सामग्री की पतली परतों का जमाव शामिल है। ईपीआई के लिए SiC लेपित ग्रेफाइट बैरल ससेप्टर को उनकी उत्कृष्ट तापीय चालकता और उच्च तापमान के प्रतिरोध के कारण आमतौर पर ईपीआई रिएक्टरों में ससेप्टर के रूप में उपयोग किया जाता है। साथसीवीडी-एसआईसी कोटिंग, यह संदूषण, क्षरण और थर्मल शॉक के प्रति अधिक प्रतिरोधी हो जाता है। इसके परिणामस्वरूप ससेप्टर का जीवनकाल लंबा हो जाता है और फिल्म की गुणवत्ता में सुधार होता है।

तरल चरण एपिटेक्सी एलपीई के लिए हमारे बैरल ससेप्टर के लाभ:
संदूषण में कमी:SiC की निष्क्रिय प्रकृति अशुद्धियों को ससेप्टर सतह पर चिपकने से रोकती है, जिससे जमा फिल्मों के दूषित होने का खतरा कम हो जाता है।
कटाव प्रतिरोध में वृद्धि:SiC पारंपरिक ग्रेफाइट की तुलना में क्षरण के प्रति काफी अधिक प्रतिरोधी है, जिससे रिसेप्टर का जीवनकाल लंबा हो जाता है।
बेहतर थर्मल स्थिरता:SiC में उत्कृष्ट तापीय चालकता है और यह महत्वपूर्ण विरूपण के बिना उच्च तापमान का सामना कर सकता है।
उन्नत फिल्म गुणवत्ता:बेहतर थर्मल स्थिरता और कम संदूषण के परिणामस्वरूप बेहतर एकरूपता और मोटाई नियंत्रण के साथ उच्च गुणवत्ता वाली जमा फिल्में बनती हैं।