चीन निर्माता SiC लेपित ग्रेफाइट MOCVD एपिटैक्सी ससेप्टर

संक्षिप्त वर्णन:

शुद्धता <5पीपीएम
‣ अच्छी डोपिंग एकरूपता
‣ उच्च घनत्व और आसंजन
‣ अच्छा संक्षारक और कार्बन प्रतिरोध

‣ व्यावसायिक अनुकूलन
‣ कम नेतृत्व समय
‣ स्थिर आपूर्ति
‣ गुणवत्ता नियंत्रण और निरंतर सुधार

नीलमणि पर GaN का एपिटैक्सी(आरजीबी/मिनी/माइक्रो एलईडी);
Si सबस्ट्रेट पर GaN की एपिटैक्सी(यूवीसी);
Si सबस्ट्रेट पर GaN की एपिटैक्सी(इलेक्ट्रॉनिक उपकरण);
सी सब्सट्रेट पर सी की एपिटैक्सी(एकीकृत परिपथ);
SiC सब्सट्रेट पर SiC की एपिटैक्सी(सब्सट्रेट);
InP पर InP की एपिटैक्सी

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उत्पाद विवरण

उत्पाद टैग

उच्च गुणवत्ता वाला MOCVD ससेप्टर चीन में ऑनलाइन खरीदें

इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों में उपयोग के लिए तैयार होने से पहले एक वेफर को कई चरणों से गुजरना पड़ता है। एक महत्वपूर्ण प्रक्रिया सिलिकॉन एपिटैक्सी है, जिसमें वेफर्स को ग्रेफाइट रिसेप्टर्स पर ले जाया जाता है। रिसेप्टर्स के गुणों और गुणवत्ता का वेफर की एपिटैक्सियल परत की गुणवत्ता पर महत्वपूर्ण प्रभाव पड़ता है।

एपिटैक्सी या एमओसीवीडी जैसे पतली फिल्म जमाव चरणों के लिए, वीईटी सब्सट्रेट्स या "वेफर्स" का समर्थन करने के लिए उपयोग किए जाने वाले अल्ट्रा-शुद्ध ग्रेफाइट उपकरण की आपूर्ति करता है। प्रक्रिया के मूल में, यह उपकरण, एमओसीवीडी के लिए एपिटेक्सी रिसेप्टर्स या सैटेलाइट प्लेटफॉर्म, पहले जमाव पर्यावरण के अधीन हैं:

उच्च तापमान।
उच्च निर्वात.
आक्रामक गैसीय पूर्ववर्तियों का उपयोग.
शून्य संदूषण, छीलने की अनुपस्थिति.
सफाई कार्यों के दौरान मजबूत एसिड का प्रतिरोध

वीईटी एनर्जी सेमीकंडक्टर और फोटोवोल्टिक उद्योग के लिए कोटिंग के साथ अनुकूलित ग्रेफाइट और सिलिकॉन कार्बाइड उत्पादों का वास्तविक निर्माता है। हमारी तकनीकी टीम शीर्ष घरेलू अनुसंधान संस्थानों से आती है, जो आपके लिए अधिक पेशेवर सामग्री समाधान प्रदान कर सकती है।

हम अधिक उन्नत सामग्री प्रदान करने के लिए लगातार उन्नत प्रक्रियाएं विकसित करते हैं, और एक विशेष पेटेंट तकनीक पर काम किया है, जो कोटिंग और सब्सट्रेट के बीच संबंध को मजबूत बना सकता है और अलग होने की संभावना कम कर सकता है।

हमारे उत्पादों की विशेषताएं:

1. 1700℃ तक उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध।
2. उच्च शुद्धता और तापीय एकरूपता
3. उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध: अम्ल, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मक।
4. उच्च कठोरता, सघन सतह, महीन कण।
5. लंबी सेवा जीवन और अधिक टिकाऊ

सीवीडी SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC के बुनियादी भौतिक गुणकलई करना
性质 / संपत्ति	典型数值 / विशिष्ट मूल्य
यह बहुत अच्छा है / क्रिस्टल की संरचना	एफसीसी β चरण多晶,主要为(111）取向
密度 / घनत्व	3.21 ग्राम/सेमी³
硬度 / कठोरता	2500 ग्राम वजन (500 ग्राम लोड)
晶粒大小 / अनाज आकार	2~10μm
纯度 /रासायनिक शुद्धता	99.99995%
热容 / ताप की गुंजाइश	640 जे·किग्रा^-1·के^-1
升华温度 / ऊर्ध्वपातन तापमान	2700℃
抗弯强度 / आनमनी सार्मथ्य	415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट
杨氏模量 /यंग का मापांक	430 जीपीए 4पीटी बेंड, 1300℃
导热系数 / थर्माएलप्रवाहकत्त्व	300W·m^-1·के^-1
热膨胀系数 / थर्मल विस्तार (सीटीई)	4.5×10^-6K^-1