Ka'idar PECVD graphite jirgin ruwan ga hasken rana cell (shafi) | VET Energy

Da farko, muna bukatar mu saniPECVD(Tsarin Ruwan Ruwan Ƙirar Ruwan Plasma). Plasma shine haɓaka motsin thermal na kwayoyin halitta. Hadarin da ke tsakanin su zai sa kwayoyin iskar gas su zama ionized, kuma kayan za su zama cakuduwar ions masu kyau masu motsi da yardar rai, electrons da tsaka-tsakin tsaka-tsakin da ke mu’amala da juna.

 

An kiyasta cewa hasarar hasarar haske na haske a saman siliki ya kai kusan 35%. Fim ɗin anti-tunani zai iya inganta yawan amfani da hasken rana ta hanyar baturi, wanda ke taimakawa wajen ƙara yawan nauyin hoto na yanzu kuma don haka inganta ingantaccen juzu'i. A lokaci guda kuma, hydrogen da ke cikin fim ɗin yana wuce saman sel ɗin baturi, yana rage ƙimar sake haɗawa da junction na emitter, yana rage duhun halin yanzu, yana ƙara ƙarfin wutar lantarki mai buɗewa, kuma yana haɓaka ingantaccen canjin hoto. Matsakaicin zafin jiki nan take annealing a cikin ƙona-ta hanyar aiwatar da karya wasu Si-H da NH bond, da kuma 'yantar da H yana kara ƙarfafa wucewar baturi.

 

Tunda kayan siliki masu daraja na hotovoltaic babu makawa sun ƙunshi adadi mai yawa na ƙazanta da lahani, ƴan tsirarun dillalai na rayuwa da tsayin yaduwa a cikin siliki sun ragu, yana haifar da raguwar ƙarfin juzu'i na baturi. H na iya amsawa tare da lahani ko ƙazanta a cikin siliki, ta haka ne za a canza makaɗar makamashi a cikin bandgap zuwa band ɗin valence ko conduction band.

 

1. Ka'idar PECVD

Tsarin PECVD jerin janareta ne da ake amfani da suJirgin ruwan graphite PECVD da high-frequency plasma exciters. Ana shigar da janareta na plasma kai tsaye a tsakiyar farantin rufi don amsawa ƙarƙashin ƙarancin matsi da haɓakar zafin jiki. Gas masu aiki da ake amfani da su sune silane SiH4 da ammonia NH3. Wadannan iskar gas suna aiki akan siliki nitride da aka adana akan wafer siliki. Za'a iya samun fihirisar raɗaɗi daban-daban ta canza ƙimar silane zuwa ammonia. A lokacin aiwatar da ƙaddamarwa, ana samar da adadi mai yawa na atom ɗin hydrogen da ions hydrogen, wanda ke sa haɓakar hydrogen na wafer yana da kyau sosai. A cikin sarari da yanayin zafin jiki na digiri 480 na Celsius, an lulluɓe Layer na SixNy a saman wafer silicon ta hanyar gudanar daJirgin ruwan graphite PECVD.

 

3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2

 

2. Si3N4

Launin fim ɗin Si3N4 yana canzawa tare da kauri. Gabaɗaya, madaidaicin kauri shine tsakanin 75 da 80 nm, wanda ya bayyana shuɗi mai duhu. Fim ɗin Si3N4 mai haɓakawa ya fi kyau tsakanin 2.0 da 2.5. Yawancin lokaci ana amfani da barasa don auna ma'anar ta.

Kyakkyawan tasirin wucewar sararin samaniya, ingantaccen aikin anti-reflection na gani (kauri refractive index matching), ƙananan tsarin zafin jiki (rage yawan farashi yadda ya kamata), da ions H ions da aka haifar suna wuce saman siliki wafer.

 

3. Abubuwan gama-gari a cikin aikin rufe fuska

Kaurin fim: 

Lokacin ƙaddamarwa ya bambanta don kauri na fim daban-daban. Ya kamata a ƙara ko rage lokacin ƙaddamarwa daidai gwargwadon launi na sutura. Idan fim ɗin fari ne, ya kamata a rage lokacin ajiyewa. Idan ja ne, ya kamata a ƙara shi da kyau. Kowane jirgin ruwa na fina-finai ya kamata a tabbatar da shi sosai, kuma samfuran da ba su da lahani ba a yarda su shiga cikin tsari na gaba. Misali, idan rufin ba shi da kyau, kamar tabo masu launi da alamun ruwa, ya kamata a zaɓi mafi yawan fararen fata, bambancin launi, da fararen fata akan layin samarwa cikin lokaci. Fim ɗin nitride na silicon nitride mai kauri ne ke haifar da fatar fuskar, wanda za'a iya daidaita shi ta hanyar daidaita lokacin shigar fim; fim ɗin bambancin launi ya fi haifar da toshewar hanyar iskar gas, zubar da bututun quartz, gazawar microwave, da sauransu; Fararen tabo suna haifar da ƙananan ƙananan baƙar fata a cikin tsarin da ya gabata. Kulawa na tunani, refractive index, da dai sauransu, aminci na musamman gas, da dai sauransu.

 

Farin tabo a saman:

PECVD wani tsari ne mai mahimmanci a cikin sel na hasken rana kuma muhimmiyar alama ce ta ingancin ƙwayoyin rana na kamfani. Tsarin PECVD gabaɗaya yana kan aiki, kuma kowane rukuni na sel yana buƙatar kulawa. Akwai bututun murhun wuta da yawa, kuma kowane bututu gabaɗaya yana da ɗaruruwan sel (dangane da kayan aiki). Bayan canza sigogin tsari, sake zagayowar tabbatarwa yana da tsawo. Fasahar sutura ita ce fasahar da dukkanin masana'antar hoto ta ke ba da mahimmanci ga. Za a iya inganta ingancin ƙwayoyin hasken rana ta hanyar inganta fasahar sutura. A nan gaba, fasahar saman sel na hasken rana na iya zama ci gaba a cikin ingantaccen ka'idar ƙwayoyin rana.